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潔凈室靜電測(cè)試內(nèi)容有哪些？

發(fā)布時(shí)間：2021-05-08 12:37 人氣： 來源：http://www.aozoc.com

ISO 14644_2006  Cleanrooms and associated controlled environments,
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,ISO 14644_2006  Cleanrooms and associated controlled environments,凈化室靜電感應(yīng)檢測(cè)內(nèi)容關(guān)鍵包含：
1 泄露電阻器
2 系統(tǒng)軟件接地線電阻
3 容積電阻器
4 表面電阻率
4 系統(tǒng)軟件電阻器


凈化室靜電感應(yīng)檢測(cè)" alt="凈化室靜電感應(yīng)檢測(cè)" />
GB50591-2010 《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》     
GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》

ISO 14644_2006  Cleanrooms and associated controlled environments



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