電子光學(xué)微電子技術(shù)凈化工程設(shè)計方案解決方法

  電子光學(xué)微電子技術(shù)凈化工程之界定為將一定室內(nèi)空間范疇內(nèi)之空氣中的浮塵顆粒、有危害氣體、病菌等之空氣污染物清除，并將房間內(nèi)之溫度濕度、潔凈度等級、房間內(nèi)工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動及照明燈具、靜電感應(yīng)操縱在某一要求范疇內(nèi)，而所給于尤其設(shè)計方案之密閉空間。

  電子光學(xué)微電子技術(shù)凈化工程亦名潔凈室或清靜室，現(xiàn)階段已經(jīng)是半導(dǎo)體材料、精密制造、lcd屏生產(chǎn)制造、電子光學(xué)生產(chǎn)制造、pcb線路板生產(chǎn)制造和細(xì)胞生物學(xué)、藥業(yè)、食品類生產(chǎn)制造等領(lǐng)域必不可少的關(guān)鍵設(shè)備。近年來，因?yàn)榧夹g(shù)性之改革創(chuàng)新，針對商品的高精度化、細(xì)微型化之要求更加急切，如特大型積體電路之科學(xué)研究生產(chǎn)制造，已變成世界各地在智能科技上極其高度重視的新項(xiàng)目，可是我企業(yè)的設(shè)計構(gòu)思及施工工藝在領(lǐng)域中則處在領(lǐng)先水平。

  一、電子光學(xué)微電子技術(shù)凈化工程一般包含：

1、 無塵廠區(qū)

2、 無塵輔助間（包含工作人員凈化處理用地、原材料凈化處理專室和一部分日常生活專室等）不銹鋼風(fēng)淋室

3、 工業(yè)園區(qū)（包含辦公室、值勤、管理方法和歇息等）

4、 機(jī)器設(shè)備區(qū)（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)用、電氣設(shè)備用地、工業(yè)純水和高純度氣用地、熱冷機(jī)器設(shè)備用地）

  二、電子光學(xué)微電子技術(shù)凈化工程凈化處理基本原理：

  氣旋→初效空氣過濾網(wǎng)凈化處理→中央空調(diào)→中效過濾器空氣過濾網(wǎng)凈化處理→離心風(fēng)機(jī)排風(fēng)→管路→高效率空氣過濾網(wǎng)凈化處理出風(fēng)口→吹進(jìn)屋子→帶去浮塵病菌等顆粒物 → 送風(fēng)百葉窗簾→初效空氣過濾網(wǎng)凈化處理 反復(fù)之上全過程，就可以做到凈化處理目地。

  電子光學(xué)微電子器件潔凈工程凈化處理主要參數(shù)：換風(fēng)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓力差：主生產(chǎn)車間對鄰近屋子≥5Pa；均值風(fēng)力：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬天＞16℃；夏天 <26℃；起伏±2℃。

溫度45－65％；GMP顆粒劑生產(chǎn)車間環(huán)境濕度在50％上下為宜；電子器件生產(chǎn)車間環(huán)境濕度略高以防造成靜電感應(yīng)。噪音≤65dB（A）；新風(fēng)系統(tǒng)填補(bǔ)量是總送排風(fēng)量的10％－30％；光照強(qiáng)度300LX。

  三、電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程構(gòu)造原材料：
1、凈化處理凈化車間/工業(yè)廠房房墻、頂板才一般多采用50毫米厚的夾心彩鋼板生產(chǎn)制造，其特性為美觀、剛度強(qiáng)?；⌒螇?角、門、窗子等一般采用專用型空氣氧化鋁合金型材生產(chǎn)制造。
2、路面可采用環(huán)氧樹脂自流坪環(huán)氧地坪或高級耐磨損塑膠地板，有防靜電規(guī)定的，可采用防靜電型。
3、送回風(fēng)口用熱渡冷軋鋼板做成，貼凈化處理隔熱保溫效果非常的好的阻燃性型PF聚氨酯發(fā)泡塑料板材。
4、高效過濾器用不銹鋼板架構(gòu)，美觀清理，沖孔網(wǎng)板用噴漆鋁合金板，不銹蝕不粘塵，宜清理。

  四、電子光學(xué)微電子技術(shù)潔凈工程解決方法:
  潔凈工程的設(shè)計過程中，應(yīng)提升對電子光學(xué)微電子技術(shù)領(lǐng)域潔凈工程方案設(shè)計剖析掌握,依據(jù)該工程項(xiàng)目是新創(chuàng)建工程項(xiàng)目或是是舊工業(yè)廠房改建工程，并融合其實(shí)際的生產(chǎn)工藝流程、生產(chǎn)工藝流程等規(guī)定明確其必須的潔凈度等級、溫度濕度。再依據(jù)該工程項(xiàng)目的詳細(xì)情況，另外也要充分考慮生產(chǎn)商的經(jīng)濟(jì)發(fā)展承受力，綜合性多種要素來明確采用哪種凈化處理計劃方案，那樣才可設(shè)計方案出一個能達(dá)到招標(biāo)方生產(chǎn)制造應(yīng)用規(guī)定、工程預(yù)算有效、經(jīng)濟(jì)發(fā)展環(huán)保節(jié)能好用的計劃方案。
  1、整體式氣體解決發(fā)電機(jī)組 制冷機(jī)組 高效過濾器：
  這是一個最傳統(tǒng)式的空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的方案設(shè)計。整體式氣體解決發(fā)電機(jī)組里帶有各種各樣作用段，如混和段、初效過慮段、表冷段、二次送風(fēng)段(或正中間段)、加溫段、增濕段、中效過濾器過慮段、離心風(fēng)機(jī)段等。其蓄冷由制冷機(jī)組給予。
  優(yōu)勢：A.氣體解決效果非常的好，因氣體歷經(jīng)集中化運(yùn)輸，在排風(fēng)全過程中被環(huán)境污染程度低。排風(fēng)的溫度、環(huán)境濕度的操縱較為精準(zhǔn);B.較為適用有集中化蓄冷的或者很大的工業(yè)廠房;C.中央空調(diào)冷熱原可與工業(yè)廠房一般空調(diào)機(jī)組共用或單獨(dú)冷熱原;D.檢修頻率較低;E.生產(chǎn)車間的噪音低。

  缺陷：A.必須有配套設(shè)施的冷凍機(jī)房或有置放水源熱泵機(jī)組的戶外室內(nèi)空間。另必須有置放整體式氣體解決發(fā)電機(jī)組的潔凈空調(diào)機(jī)房，如25000M3/h的整體式氣體解決發(fā)電機(jī)組，常見尺寸為6450×1850×2250毫米上下。針對舊工業(yè)廠房更新改造新項(xiàng)目而言較為艱難空出一個20-30┫的主機(jī)房的;B.工程造價高。

  特性：A.提議新風(fēng)系統(tǒng)歷經(jīng)集中化運(yùn)輸后再與送風(fēng)混和，那樣能夠降低表冷段的冷暴力壓力;B.這種計劃方案一般能夠可用潔凈度等級較高的如千級、百級或千級、十萬級等較低的凈化處理凈化車間/工業(yè)廠房。

  2、電子光學(xué)微電子技術(shù)領(lǐng)域潔凈工程方案設(shè)計剖析之水冷藏柜機(jī) 增加箱式風(fēng)機(jī) 高效過濾器
  與前種計劃方案較為，它是相對性非常簡單的中央空調(diào)計劃方案。它能夠大大的地變小主機(jī)房的總面積，水冷藏柜機(jī)能夠依據(jù)實(shí)際的狀況布局于較小主機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增加箱式風(fēng)機(jī)還可以布局于主機(jī)房內(nèi)或吊在主機(jī)房內(nèi)或在隔層內(nèi)。

  優(yōu)勢：A.氣體解決實(shí)際效果不錯的，解決之后的氣體在排風(fēng)全過程中被環(huán)境污染水平低。排風(fēng)的溫度、環(huán)境濕度操縱實(shí)際效果能夠做到不錯的操縱。關(guān)鍵在氣體解決發(fā)電機(jī)組(增加箱式風(fēng)機(jī))里開展操縱;B.布局靈便。內(nèi)置蓄冷;C.尺寸工業(yè)廠房、新老工業(yè)廠房都可用;D.檢修頻率較低;E.生產(chǎn)車間噪音低。

  缺陷：A.必須小總面積的主機(jī)房。必須有玻璃鋼冷卻塔、制冷離心水泵的放置部位;B.制冷機(jī)組與中央空調(diào)解決發(fā)電機(jī)組要集中化布局;
C.工程造價較低。特性：這類計劃方案能夠是一次送風(fēng)還可以是二次送風(fēng)，實(shí)際依據(jù)生產(chǎn)車間的尺寸狀況而定;這類計劃方案一般能夠適用潔凈度等級為百級、千級、十萬級等的凈化處理凈化車間/工業(yè)廠房。

  3、電子光學(xué)微電子技術(shù)領(lǐng)域潔凈工程方案設(shè)計剖析之分體式空調(diào)柜機(jī) FFU正壓送風(fēng)口
  它是最簡單的一個中央空調(diào)計劃方案。是立即將分體式空調(diào)柜機(jī)布局于生產(chǎn)車間內(nèi)，并且用彩剛圍護(hù)結(jié)構(gòu)起來，在柜式空調(diào)送風(fēng)口處再在彩鋼瓦上切送風(fēng)口(帶初效濾網(wǎng));KLC離心風(fēng)機(jī)過慮模塊FFU勻稱布局于天花板吊頂。這一計劃方案適用對房間內(nèi)溫度濕度精密度規(guī)定不太高的凈化車間。

  優(yōu)勢：A.不用占有主機(jī)房總面積，布局很靈便的;B.能夠達(dá)到氣體的潔凈度等級;C.工程造價最少。這般類凈化車間初項(xiàng)目投資約必須四十萬;D.排風(fēng)勻稱度好。

  缺陷：A.溫度濕度操縱較弱;B.能夠達(dá)到氣體的潔凈度等級;C.FFU的檢修頻率高。

  五、電子光學(xué)微電子技術(shù)領(lǐng)域潔凈工程方案設(shè)計剖析之凈化車間的特性

  A、凈化車間的 潔凈度等級:

  LCD制屏的簡單步驟為：清理→包裝印刷趨向膜→摩擦→密封性包裝印刷層散播隔墊物→組成→畫線和激光切割→LC引入→貼偏振片→制屏全檢。在本設(shè)計方案里就是指尾端加工工藝的一些凈化車間，其凈化處理潔凈度等級一般為百級或千級或十萬級。背光屏類凈化車間主要是這產(chǎn)品的沖壓模具生產(chǎn)車間、拼裝等凈化車間，其潔凈度等級一般為千級或十萬級。

  B、室內(nèi)空氣質(zhì)量主要參數(shù)規(guī)定 ：

(1)、溫度濕度規(guī)定：溫度一般為24 2℃，空氣濕度為55 5%。
(2)、排風(fēng)量大。因?yàn)檫@類生產(chǎn)車間內(nèi)，工作人員比較多，能夠依據(jù)下列標(biāo)值應(yīng)取以下的最高值：非單邊流凈化室總送排風(fēng)量的10-30%;賠償房間內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)和維持房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量;確保房間內(nèi)每個人每鐘頭的新鮮 氣量≥40m3/h。
(3)、排風(fēng)量大。為了更好地達(dá)到無塵房間內(nèi)的潔凈度等級及濕熱均衡，必須很大的送排風(fēng)量，就300平米的生產(chǎn)車間，吊頂高度為2.5米的，如果是千級，送排風(fēng)量就必須300×2.5×30=22500M3/h的送排風(fēng)量(換風(fēng)，是≥25次/h);如果是十萬級，送排風(fēng)量就必須300×2.5×20=15000M3/h的送排風(fēng)量(換風(fēng)，是≥15次/h)。

  六、電子光學(xué)微電子技術(shù)領(lǐng)域潔凈工程設(shè)計方案計劃方案剖析

  針對基本電子器件工業(yè)廠房凈化室中央空調(diào)的設(shè)計方案，應(yīng)依據(jù)電子器件工業(yè)廠房的生產(chǎn)工藝流程規(guī)定及招標(biāo)方的經(jīng)濟(jì)發(fā)展標(biāo)準(zhǔn)來采用哪一種空調(diào)設(shè)計計劃方案，以達(dá)到生產(chǎn)工藝流程的規(guī)定做為前提條件。依據(jù)過去工作經(jīng)驗(yàn)，針對規(guī)定高的能夠采用整體式氣體解決發(fā)電機(jī)組集中化運(yùn)輸?shù)闹醒肟照{(diào)計劃方案;針對規(guī)定不太高的，又要初項(xiàng)目投資低的，能夠采用柜式空調(diào) FFU?？偠灾?，實(shí)際的計劃方案挑選依據(jù)詳細(xì)情況而定。