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微信公眾號：武漢得創(chuàng)凈化設備有限公司
發(fā)布時間：2021-05-11 12:37 人氣： 來源：http://www.aozoc.com
（1992年9月11日公布，替代1988年6月5日公布的FED-STD-209E）
本限度經(jīng)美國聯(lián)邦政府服務項目質(zhì)監(jiān)總局、聯(lián)邦政府供貨服務項目司運營專員準許，供美國聯(lián)邦政府各組織 應用。
文件目錄
1. 局限及局限
1.1. 局限
1.2. 局限
2. 論文參考文獻
3. 界說
3.1. 飄浮粒子清理等級分類
3.2. 非動態(tài)性采樣
3.3. 校準
3.4. 清潔區(qū)
3.5. 清理室
3.5.1. 空態(tài)清理室（設備）
3.5.2. 靜態(tài)數(shù)據(jù)清理室（設備）
3.5.3. 動態(tài)性清理室（設備）
3.6. 凝聚力核電子計數(shù)器（CNC）
3.7. 離散變量粒子電子計數(shù)器（DPC）
3.8. 通道平面圖
3.9. 同軸線性
3.10. 均動態(tài)性采樣
3.11. 檢測
3.12. 非單邊流
3.13. 粒子
3.14. 粒子濃度值
3.15. 粒子尺寸
3.16. 學員漫衍
3.17. U外貌
3.18. 超微粒子
3.19. 單邊流
3.20. 相信限制（UCL）
3.21. 分辨
4. 飄浮粒子清理室等級分類和U外貌
4.1. 表I中列舉的潔凈度等級分類
4.1.1. 測量表I中列出粒子尺寸
4.1.2. 其他粒子尺寸的測量
4.2. 其他飄浮粒子潔凈度等級分類更換真是定標準
4.3. 外貌超微粒子濃度值的劃分（U外貌）
4.4. 懸浮粒子濃度的命名
4.4.1. 懸浮粒子潔凈度等級分類的明堂
4.4.2. U外貌的明堂
5. 懸浮粒子潔凈度的分辨和檢測
5.1. 懸浮粒子潔凈度的分辨
5.1.1. 頻率
5.1.2. 自然環(huán)境檢測標準
5.1.2.1. 分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況
5.1.2.2. 環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)
5.1.3. 粒子記數(shù)
5.1.3.1. 取樣點和數(shù)量：單邊流
5.1.3.2. 取樣點和數(shù)量：非單邊流
5.1.3.3. 取樣點的限定
5.1.3.4. 取樣量和取樣時間
5.1.3.4.1.表I各個其他單一取樣設計方案
5.1.3.4.2.其他等級或粒度的單一取樣設計方案
5.1.3.4.3.U外貌的單一取樣設計方案
5.1.3.4.4.持續(xù)取樣設計方案
5.1.4. 數(shù)據(jù)信息處理
5.2. 懸浮粒子潔凈度的檢測
5.2.1. 檢測設計方案
5.2.2. 檢測用的粒子記數(shù)
5.3. 測量懸浮粒子濃度的方法和設備
5.3.1. 超過就是5微米的粒子的記數(shù)
5.3.2. 低于5微米的粒子的記數(shù)
5.3.3. 超微粒子的記數(shù)
5.3.4. 粒子記數(shù)方法的局限性
5.3.5. 粒子記數(shù)方法的校準
5.4. 統(tǒng)計分析分析
5.4.1. 分辨的工程驗收標準
5.4.2. 決定工程驗收的籌算
5.4.2.1. 取樣點的均值粒子濃度
5.4.2.2. 均值的中值
5.4.2.3. 均值的限度差值
5.4.2.4. 均值的限度差值
5.4.2.5. 相信限制（UCL）
5.4.2.6. 取樣籌算
6. 獲得強烈推薦
7. 與論文參考文獻的分歧
8. 涉及到的美國聯(lián)邦政府組織
附則A
應用顯微鏡對懸浮粒子舉辦記數(shù)和測量
附則B
離散變量粒子電子計數(shù)器操作方法
附則C
均速及非均速取樣
附則D
超微粒子濃度測量方法
附則E
FED-STD-209E限度所接受的統(tǒng)計分析基本原理推理
附則F
持續(xù)取樣：一種分辨氣體潔凈度的可選擇方法
附則G
彌補信息內(nèi)容的源泉
注：本漢語翻譯并未囊括全部附則
1. 局限性及局限性
1.1 局限性
本文檔建立了由懸浮粒子成分來劃分氣體清理室和清潔區(qū)的氣體潔凈度的限度等級分類，并且出示了別的可選擇的等級分類方法。外貌了分辨氣體潔凈度的方法及其建立氣體潔凈度監(jiān)測方案的規(guī)定。也出示了明確和外貌超微粒子濃度的方法（U外貌法）。
1.2 局限性
本文檔技藝規(guī)定不適感用以清理室和清理區(qū)域內(nèi)應用的武器裝備、物件，除懸浮粒子的大小等級分類和數(shù)量外，本文檔對懸浮粒子的物理學、有機化學、放射性物質(zhì)或生命特征將未作外貌。在懸浮粒子濃度與有性命的懸浮粒子量中間沒有明確的關(guān)聯(lián)。為了更好地檢測及操縱別的方式的環(huán)境污染，除開對清理氣體供貨要檢測全部粒子空氣污染物并滿足所明確的限制值外，還須有別的專業(yè)規(guī)定。
2. 論文參考文獻
2.1. 《實驗概率論》Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart主編，John Wileg&Sons出版書籍，New York (1982).
2.2. 《懸浮微粒子技藝：懸浮微粒子脾氣、情況及測量》Hinds, W. C.主編，John Wileg&Sons出版書籍，New York (1982).
2.3. 《聯(lián)邦政府推薦常用公制單元》FED-STD-376，強烈推薦應用國際性模塊制（SI），在國際性模塊與英國習用模塊相排斥時，國際性模塊制優(yōu)先選擇。
3. 界說
3.1.懸浮粒子的潔凈度等級分類
潔凈度是由每立方（每立方英寸）空氣中所帶有較大 容許微粒子數(shù)量來明確的，其等級分類確立見表I，其測量見5.4節(jié)中的幾率方法。國際性模塊制中等級分類名字是由每立方空氣中帶有0.5μm或更高粒子的較大 容許數(shù)之常用對數(shù)來提示的，而螺紋公稱直徑模塊（英國習用）等級分類名字則源自每立方英寸空氣中帶有0.5μm或更高粒子的較大 容許數(shù)。
3.2.非動態(tài)性取樣
在挪動空氣的平均速率差別于氣體進到采樣器通道平均速率的取樣情況下，因為粒子慣性力，非動態(tài)性取樣會使試品中的粒子濃度差別于所取樣空氣中的粒子濃度。
3.3.校準
將精確度不明的測量限度或儀器設備與另一精確度已經(jīng)知道的測量限度或儀器設備相對性照，用于檢驗、調(diào)整、敘述或根據(jù)調(diào)節(jié)來清除精確度不明的限度或儀器設備在精確度上的差值。
3.4.清潔區(qū)
指其中懸浮粒子濃度被控制在某一特殊的清理等級內(nèi)的某一限定室內(nèi)空間。
3.5.清理室
制其中懸浮粒子濃度被控制的屋子，它可囊括一個或好幾個清潔區(qū)。
3.5.1.空態(tài)清理室（設備）
指已完工并提前準備投用的清理室，在其中全部公共服務設施均已接入并抵達作用規(guī)定，但房間內(nèi)沒有生產(chǎn)制造武器裝備和實際操作員工。
3.5.2.靜態(tài)數(shù)據(jù)清理室（設備）
指已完工并安裝好全部服務項目武器裝備及生產(chǎn)制造武器裝備，可以或已經(jīng)運作的清理室，但房間內(nèi)無實際操作員工。
3.5.3.動態(tài)性清理室（設備）
指一切正常運作的清理室，亦即房間內(nèi)全部公共服務設施、生產(chǎn)制造武器裝備及事兒員工已經(jīng)一切正常運作時的清理室。
3.6. 凝聚力核電子計數(shù)器（CNC）
一種用以對超過或即是0.01μm的小懸浮粒子記數(shù)的儀器設備，它憑借電子光學方法來測量由蒸汽凝聚力在微粒子上而產(chǎn)生的液體。
3.7. 離散變量粒子電子計數(shù)器（DPC）
一種可以辨別離散變量粒子的儀器設備，它類似電子光學粒子電子計數(shù)器和凝聚力核電子計數(shù)器。
3.8. 通道平面圖
指垂直平分單邊氣旋的平面圖，這一平面圖就取決于大家很感興趣的地區(qū)（無新奇表明即專指事兒區(qū)）的上升氣流內(nèi)，且這一平面圖與垂直平分這一氣旋偏重的清潔區(qū)橫剖面具備同樣的總面積。
3.9. 同軸線性
指采樣器通道的氣旋偏重與被取樣單邊氣旋的偏重同樣的取樣情況。
3.10. 均動態(tài)性取樣
指在同軸線取樣情況下，進到采樣器入語氣流的均值度與測定單邊氣旋的平均速率同樣的情況。
3.11. 檢測
指在清理室或清理區(qū)域內(nèi)對懸浮粒子濃度以及他有關(guān)情況的常規(guī)測量。
3.12. 非單邊流
指與單邊流界說不符合的氣旋，之前稱之為“漩渦”或“非層.流”。
3.13. 粒子
一樣平常規(guī)格為0.001~1000μm的固態(tài)、液態(tài)或非均相參雜化學物質(zhì)。
3.14. 顆粒濃度值
模塊容積空氣中所帶有的離散變量顆粒的數(shù)量。
3.15. 顆粒規(guī)格
應用光學顯微鏡調(diào)查時，在調(diào)查平面圖上見到的顆粒視在較大 線形長短，或由自動儀器測出的顆粒的當量直徑。（當量直徑就是指對體會用詳盡和被測顆粒同樣體現(xiàn)的已經(jīng)知道特點的參照圓球直徑。）
3.16. 學員漫衍
漫衍涵數(shù)為：t=（樣本均值-整體平均值）/樣本均值的限度差值
該式是以正態(tài)（高斯函數(shù)）漫衍取樣得到的，臨界點表可從統(tǒng)計學教材中尋找（見2.1節(jié)）
3.17. U外貌
指超微顆粒的較大 濃度值（每立方空氣中顆粒數(shù)），U外貌可適度用做為相信限制、當場均值的限制或者一樣做為當場均值與相信限制。U外貌不會受到飄浮顆粒清理級其他限定，它適用單獨清理等級的飄浮顆粒也可用以好幾個清理等級相參雜的飄浮顆粒。
3.18. 超微顆粒
指規(guī)格局限性約莫從0.02μm到附則D中外貌的離散變量顆粒計數(shù)器（DPC）的測量值限制中間的顆粒，超微顆粒在籌算上是根據(jù)電子計數(shù)器高效率與附則D中的顆粒規(guī)格之比以明確的。
3.19. 單邊流
指一般 具備平行面的氣旋線以單一偏重健身運動并均速根據(jù)其橫剖面的氣旋。之前稱之為“層.流”。
3.20. 相信限制（UCL）
若是平均值是以正態(tài)（高斯函數(shù)）漫衍中取樣得到的，而按給出值信度（本限度中取95%）下籌算個人所得的估算限制將超過實際平均值，則稱這一平均值估算限制為相信限制。
3.21. 分辨
指在清理室或清理區(qū)域內(nèi)按飄浮顆粒潔凈度漫衍界限、U外貌或別的相關(guān)劃分，明確氣體的潔凈度的過程。
4. 飄浮顆粒清理室等級分類和U外貌
氣體潔凈度的分辨按本限度第5節(jié)應用一個新奇限定的等級分類系統(tǒng)軟件。
本單位明確了氣體潔凈度的等級分類限度，每一潔凈度等級對飄浮顆粒規(guī)格局限性和濃度值均有限定（見表I）。另外，為了更好地明確根據(jù)顆粒規(guī)格變化的限度等級分類和其他更換的（非限度）等級分類，也制定了劃分。除此之外，還出示了應用超微顆粒濃度值（U外貌）外貌氣體潔凈度的基本概念。
給出的專業(yè)名詞系統(tǒng)軟件合適外貌全部潔凈度等級分類和U外貌。
4.1. 表I中列舉的潔凈度等級分類
飄浮顆粒潔凈度等級分類列于表I中，氣體潔凈度的分辨則根據(jù)對表I中的一種或多種多樣顆粒規(guī)格或其他劃分顆粒規(guī)格的測量來進行，詳述如下：
4.1.1. 測量表I中列出顆粒規(guī)格
根據(jù)測量表I中的某一等級列出的一種或多種多樣顆粒規(guī)格來進行分辨，并應用4.4.1.中上述的明堂抄錄敘述。倘若測出的顆粒濃度值是按4.5節(jié)的統(tǒng)計分析分析明確的，并在表I列出相匹配級劃分的任一顆粒濃度值的界限內(nèi)，則認為飄浮顆粒潔凈度滿足該級。
4.1.2. 其他顆粒規(guī)格的測量
也可根據(jù)測量表I中列出以外的別的顆粒的規(guī)格來進行分辨，并按下列限定標準來舉辦：別的粒度或規(guī)格挑選務必在表I所標出級其他規(guī)格局限性內(nèi)。倘若測出的顆粒濃度值是按5.4節(jié)的統(tǒng)計分析分析明確的，并且每一選中的別的顆粒的粒度也不超越表I中得出的下一級很大粒度的界限，則認為飄浮顆粒潔凈度滿足該級。
4.2. 其他飄浮顆粒潔凈度等級分類更換真是定標準
在獨特主要用途的情況下還可以界說差別于表I中列出潔凈度等級分類的別的等級（如M2.2級、M4.3級及M6.四級（5600~7000級））。與表I中列出的潔凈度等級同樣，別的等級的等級分類名字明確也是建立在對0.5μm及之上顆粒濃度值的界限上。別的規(guī)格顆粒的濃度值界限可在表I中按鄰近的潔凈度等級濃度值界限一樣的占比得到，此界限還可以根據(jù)表I論文腳注內(nèi)的類似化學方程籌算出去。一樣，針對潔凈度等級超越M1或1級的情況。顆粒規(guī)格差別于0.5μm的顆粒濃度值界限與M1或1級的濃度值界限具備同樣的占比。
表I 飄浮顆粒潔凈度等級分類
對每一分級名字均得出了其等級分類界限，此界限強調(diào)的特殊飄浮顆粒濃度值（模塊容積顆粒數(shù)）均超過就是表格中所列舉的顆粒規(guī)格。
| 等級分類名字 |
等級分類界限 |
||||||||||
| 0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
5.0μm |
|||||||
| 模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
模塊容積 |
|||||||
| SI |
螺紋公稱直徑 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
M3 |
Ft3 |
| M1 |
1 |
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
-- |
-- |
| M1.5 |
14240 |
35.0 |
265 |
7.50 |
1069 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
-- |
-- |
|
| M2 |
3500 |
99.1 |
757 |
21.4 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
-- |
-- |
|
| M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.0 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
-- |
-- |
| M3 |
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
-- |
-- |
|
| M3.5 |
100 |
-- |
-- |
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
-- |
-- |
| M4 |
-- |
-- |
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
-- |
-- |
|
| M4.5 |
1000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
100000 |
2830 |
618 |
17.5 |
|
| M5.5 |
10000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
353000 |
10000 |
2470 |
70.0 |
| M6 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
|
| M6.5 |
100000 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
3530000 |
100000 |
24700 |
700 |
| M7 |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
-- |
10000000 |
283000 |
61800 |
1750 |
|
表I所顯示潔凈度分級界限只求分級界說的目地而明確，在一切獨特情況下不提示從而所建立的粒度規(guī)格漫衍。
中央級其他濃度值界限可類似根據(jù)下式籌算：
正離子數(shù)/m3=10M(0.5/d)2.2
式中M為國際性模塊（SI）制中分級的特殊數(shù)據(jù)名字，d是顆粒規(guī)格（模塊為μm）。
或 正離子數(shù)ft3=Nc(0.5/d)2.2
式中Nc為螺紋公稱直徑模塊中分級的特殊數(shù)據(jù)名字，d是顆粒規(guī)格（模塊為μm）。
取名和外貌潔凈度分級時強烈推薦應用國家標準模塊（SI）制的名字和模塊，但螺紋公稱直徑（英國習用）模塊也可應用。
當用國際性制模塊提示時，分級的特殊數(shù)據(jù)名字是由每立方空氣中帶有的0.5μm及之上顆粒的較大 容許數(shù)之常用對數(shù)值（以10為底，末尾數(shù)求整到第一位小數(shù)）得到的，當用螺紋公稱直徑（英國習用）模塊提示時，分級的特殊數(shù)據(jù)名字則由每立方英寸空氣中所帶有的超過或即是0.5μm顆粒的較大 規(guī)定值得到的。
(a) 針對潔凈度分級低于M4.5級（1000級）的別的等級，其濃度值可根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的顆粒來明確，按劃分此顆粒規(guī)格局限性就可以是超過或即是0.5μm又但是超過或就是5μm或二種均可。
(b) 針對潔凈度分級超過M4.5級（1000級）又低于3.5級（100級）的別的等級，其明確能夠根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的一種或多種多樣得到的，按劃分此顆粒規(guī)格局限性能夠是超過或即是0.2μm、超過或即是0.3μm、超過或即是0.5μm。
(c) 針對潔凈度分級低于M3.5級（100級）的別的等級，其明確能夠根據(jù)測量下列顆粒規(guī)格局限性內(nèi)的一種或多種多樣得到的，按劃分此顆粒規(guī)格局限性能夠是超過或即是0.1μm、超過或即是0.2μm、超過或即是0.3μm及超過或即是0.5μm。
4.3. 外貌超微顆粒濃度值的劃分（U外貌）
按劃分，U外貌用于提示超顆粒濃度值時可按3.17節(jié)的劃分。U外貌可以用來彌補潔凈度分級的界說，也可獨立應用。U外貌的明堂將在4.4.2節(jié)中表明。
4.4. 飄浮顆粒濃度值的取名
4.4.1.飄浮顆粒潔凈度分級的明堂
各潔凈度分級可應用“X級（在Yμm）”的明堂來提示，這時X意味著飄浮顆粒潔凈度分級的特殊數(shù)自名字，Y意味著顆粒規(guī)格或與劃分濃度值（分級）界限相對性應的顆粒規(guī)格。
比如：“M2.5級（在0.3μm和0.5μm）即指每立方空氣中帶有0.3μm之上的顆粒不超越1060個，0.5μm之上的顆粒不超越353個。
“100級（在0.5μm）即指每立方英寸空氣中帶有0.5μm之上的顆粒不超越一百個。
4.4.2.U外貌的明堂
U外貌可獨立應用或做為飄浮顆粒潔凈度等級分類明確的彌補。因為超微顆粒的低限早已為應用的武器裝備所決定，因此對U外貌無須劃分顆粒規(guī)格（參照3.18節(jié)及附則D）。
U外貌可應用明堂“U（X）”來提示。這兒X為每立方空氣中超微顆粒的較大 濃度值。
比如“U（20）”提示每立方空氣中超微顆粒不超越20個?！癕1.5級（在0.3μm）,U(2000)”則提示每立方空氣中0.3μm顆粒不超越106個，超微顆粒不超越2000個。
5. 飄浮顆粒潔凈度的分辨和檢測
5.1. 飄浮顆粒潔凈度的分辨
憑據(jù)4節(jié)界說，分辨是明確一個清理室或清理區(qū)域內(nèi)的氣體是不是滿足飄浮顆粒潔凈度等級分類界限或U外貌（或二者均滿足）的過程。應在5.11~5.14節(jié)中上述的標準下，根據(jù)對飄浮顆粒濃度值的測量來進行分辨。顆粒規(guī)格或為分辨而舉辦測量的顆粒規(guī)格理應按劃分應用4.4節(jié)中所外貌的類似明堂提示。
5.1.1. 頻率
分辨檢測應在考研初試之后按一定間距或別的劃分按時舉辦。
5.1.2. 自然環(huán)境檢測標準
潔凈度等級分類的分辨應在囊括下列劃分的實際操作標準下根據(jù)測量顆粒濃度值來進行。
5.1.2.1. 分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況
分辨過程中清理室或清潔區(qū)的情況應標出“空態(tài)”、“靜態(tài)數(shù)據(jù)”、“動態(tài)性”或別的劃分情況。
5.1.2.2. 環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)
應當記錄在分辨過程中與清理室和清潔區(qū)相關(guān)的測量及調(diào)查的實際環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，該類主要參數(shù)能夠囊括（但不但僅限于此）氣體壓力、換風、房間內(nèi)標準氣壓、彌補排風量、單邊流平面度、氣體繞度、溫度、環(huán)境濕度或漏點、房間內(nèi)震動，除此之外，房間內(nèi)員工及武器裝備流動性情況也應標明。
5.1.3. 顆粒記數(shù)
分辨清理室和清潔區(qū)的潔凈度按適度的顆粒計數(shù)法或5.3節(jié)中上述方法或按別的劃分的方法舉辦，適度的取樣詳細地址和取樣設計方案應當從下列表明中挑選。
5.1.3.1. 取樣點和數(shù)量：單邊流
對單邊流，取樣點應在全部清潔區(qū)的通道平面圖上均值漫衍，清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定或有獨特劃分的以外。對單邊流清潔區(qū)的分辨所規(guī)定的最少取樣點數(shù)量應是下列（a）、(b)中的小點的。
（a）、國際性模塊（SI）制：A/2.32
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平米）。
螺紋公稱直徑模塊（英國習用）：A/25
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平方米）。
（b）、國際性模塊（SI）制：A*64（10M）0.5
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平米）,M是表I中列出國際性模塊制潔凈度等級分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
螺紋公稱直徑模塊（英國習用）：A/（Nc）0.5
這兒A就是指通道平面圖的總面積（模塊為平方米），M是表I中列出國際性模塊制潔凈度等級分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
取樣點數(shù)量一般 求整到下一個上位整數(shù)金額。
5.1.3.2.取樣點和數(shù)量：非單邊流
對非單邊流，取樣點應在清潔區(qū)水準偏重均布，但獨特劃分的可在豎直偏重布署，清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定的以外。
對非單邊流清潔區(qū)的分辨所規(guī)定的最少取樣點數(shù)量應就是：
國際性模塊（SI）制：A*64/（10M）0.5
這兒A就是指清潔區(qū)的路面總面積（模塊為平米），M是表I中列出國際性模塊（SI）制潔凈度等級分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
螺紋公稱直徑（英國習用）：A/（Nc）0.5
這兒A就是指清潔區(qū)的路面總面積（模塊為平米），Nc是表I中列出螺紋公稱直徑模塊潔凈度等級分類的特殊數(shù)據(jù)名字。
取樣點嫻熟一般 求整到下一個上位整數(shù)金額。
5.1.3.3.取樣點的限定
一切清潔區(qū)的取樣點不少于兩個，除在清理區(qū)域內(nèi)受武器裝備限定外，取樣點應在清理地區(qū)內(nèi)均值漫衍，每一個取樣點最少取樣一次（見5.1.3.1節(jié)或5.1.3.2節(jié)），每一個取樣點取樣可超過一次，且差其他取樣點會有差其他取樣頻次。但每一個清理區(qū)域內(nèi)總?cè)宇l次不少于5次。
在適度的時刻，取樣部位超過所規(guī)定的至少取樣點的取樣將增加平均值和其相信限制平均值的精確度。
5.1.3.4.取樣量和取樣時間
取樣的空宇量和取樣時間憑據(jù)以下適度的階段明確。
5.1.3.4.1.表I各個其他單一取樣設計方案
倘若對每一個劃分的顆粒規(guī)格，顆粒濃度值均在該潔凈度等級分類的界限內(nèi)，則對每一個取樣點每一次取樣的被測空宇量務必是至少能測到20個顆粒的有效空宇量。
下邊的公式計算出示了一個被取樣的最少空宇量的均值籌算公式計算，此公式計算可做為表I中列出的每模塊容積顆粒數(shù)量的有關(guān)歸屬于單位。
V=20個顆粒/[表I中的等級分類界限（顆粒數(shù)量/容積）]
氣體的取樣容積應不少于0.00283M3（0.1立方英寸），除此之外，取樣容積的籌算實際效果不可求整。
很大的取樣容積可能減少各取樣值中間的差別，但取樣容積不可以大到使取樣時間越來越不切實際。取樣容積無須在全部取樣點都同樣。但是顆粒濃度值要以每立方（立方英寸）空氣中的顆粒數(shù)量記錄敘述，而與取樣容積不相干。取樣容積也應記錄。在取樣容積超過最少取樣容積時將提升 取樣平均值兩者之間相信限制平均值的精確度。
取樣時間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
5.1.3.4.2.其他等級或粒度的單一取樣設計方案
按4.2節(jié)劃分，為了更好地分辨氣體是不是滿足別的潔凈度等級分類界限需要的最少取樣容積，務必憑據(jù)5.1.3.4節(jié)上述的方法，由表I中列出的鄰近潔凈度等級分類的取樣容積所決定。
按4.2節(jié)上述，對別的顆粒規(guī)格測量的分辨需要的最少取樣容積，務必憑據(jù)5.1.3.4.1節(jié)上述的方法，由表I中列出的鄰近潔凈度等級分類的取樣容積所決定。
取樣時間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
對相關(guān)取樣容積的別的考慮，一樣適用以上情況，詳細5.1.3.4.1節(jié)上述。
5.1.3.4.3.U外貌的單一取樣設計方案
分辨超微顆粒濃度值需要的取樣容積是在劃分U外貌標準下能測得至少20個顆粒的有效氣體容積，最少容積（立方）由20/U(x)籌算得到，籌算實際效果不必求整，但一切標準下都不可低于0.00283立方。
取樣時間可根據(jù)取樣容積除于取樣速度來籌算得到。
5.1.3.4.4.持續(xù)取樣設計方案
分辨潔凈度等級在M2.5級及之上（10級之上）的氣體的另一種方法是應用附則F中上述的持續(xù)取樣方法（持續(xù)取樣是分辨潔凈度等級在M2.5級及之上的氣體的一種可選方法），持續(xù)取樣的優(yōu)勢是它有可能明顯地減少每一個取樣點的取樣容積，另外也減少取樣時間。
5.1.4. 數(shù)據(jù)信息處理
5.2 飄浮顆粒潔凈度的檢測
分辨以后，倘若有劃分，則應在運作時期對清理室或清理區(qū)域內(nèi)飄浮顆粒的潔凈度舉辦檢測。為了更好地表明飄浮顆粒潔凈度的變化趨于，對5.1.2.2節(jié)中列出的別的環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)也可按劃分舉辦檢測。
5.2.1. 檢測設計方案
檢測設計方案應憑據(jù)飄浮顆粒潔凈度等級和生產(chǎn)制造過程及物質(zhì)愛惜對環(huán)境污染操縱的必須水準來制定，檢測設計方案應劃分檢測頻率、實際操作標準、顆粒計數(shù)方法、取樣點以及數(shù)量、取樣容積以及數(shù)據(jù)信息處理方法。
5.2.2. 檢測用的顆粒記數(shù)
按劃分，檢測設計方案中的顆粒計數(shù)應接受5.3節(jié)的一種方法舉辦，顆粒濃度值的測量應在全部清理區(qū)域內(nèi)，或在潔凈度規(guī)定新奇重要的地區(qū)，或是在測量分辨檢測中發(fā)覺顆粒濃度值較高的地區(qū)舉辦。
5.3. 測量飄浮顆粒濃度值的方法和設備
測量飄浮顆粒濃度值的方法和設備應憑據(jù)顆粒規(guī)格和規(guī)定的粒度來挑選，除開有別的劃分的，下邊的方法適用分辨空氣中飄浮顆粒的潔凈度和U外貌，一樣也適用氣體潔凈度的檢測。若是確認別的的顆粒計數(shù)方法或武器裝備及其別的的方法和武器裝備的組成的精確度和可重復性就是或好于下列方法和武器裝備的，那麼還可以接受。
用于明確飄浮顆粒濃度值的武器裝備應按劃分憑據(jù)生產(chǎn)廠家的表明精確維護保養(yǎng)并按時驗證。
5.3.1. 超過就是5微米的顆粒的記數(shù)
針對超過就是5μm的顆粒，其濃度值明確應應用附則A中的方法（應用顯微鏡對飄浮顆粒舉辦記數(shù)和測量）。
此外，若是下邊上述的樣版互聯(lián)網(wǎng)、傳輸和測量過程都滿足劃分規(guī)定，那麼能夠應用離散變量顆粒記數(shù)器。憑據(jù)附則B中的方法（離散變量顆粒記數(shù)器操作方法），針對超過5μm的顆粒，離散變量顆粒計數(shù)器的記數(shù)高效率是可明確的。離散變量顆粒記數(shù)器僅有在超過5μm的顆粒記數(shù)時才華應用。
不管應用哪種方法，抽樣口規(guī)格、抽樣速度及抽樣口精準定位的挑選應容許均速取樣互聯(lián)網(wǎng)。均速取樣是應優(yōu)先選擇接受的，但是若是均速取樣不可以完成時，取樣差值的估計可根據(jù)應用附則C（均速及非均速取樣）中的方法得到?？v使在采樣器通道立即遭遇注入氣旋（同軸線取樣）的時刻，倘若入語氣流速度差別于采樣器周邊的氣旋速度，也將人為因素地導致在入口周邊的顆粒濃度值的增加或減少。其公式計算也適用籌算此類非均值取樣在調(diào)查測量顆粒濃度值時需產(chǎn)生的危害（參照例2.2和附則C）。針對超過即是0.5μm的顆粒，當這類人為因素導致的濃度值調(diào)整低于5%時，能夠忽略。但針對超過就是5μm的顆粒，當預見到這類人為因素導致的濃度值變化超越5%時，則應記錄這一基因突變的增減量，在同飄浮顆粒潔凈度等級分類界限對比前，務必校準這一標值。
5.3.2. 低于就是5微米的顆粒的記數(shù)
低于就是5微米顆粒的濃度值憑據(jù)附則B中的方法應用離散變量顆粒計數(shù)器來明確。粒度大小數(shù)據(jù)信息應按用限度顆粒校準的當量直徑記錄。
前邊提及（見5.3.1節(jié)）對低于即是0.5微米的顆粒,由非均值取樣產(chǎn)生的差值低于5%，但是對超過就是5微米的顆粒則會產(chǎn)生明顯的差值。倘若要對顆粒規(guī)格在0.5μm到5μm局限性內(nèi)的一種或多種多樣顆粒舉辦分辨，那麼由非均值取樣產(chǎn)生的差值則會隨顆粒規(guī)格的擴大而增加，這時必須對非均值取樣舉辦校準。
5.3.3. 超微顆粒的記數(shù)
超微顆粒濃度值由附則D中的方法（超微顆粒濃度值測量方法）來明確。
5.3.4 . 顆粒記數(shù)方法的局限性
在統(tǒng)一取樣點應用離散變量顆粒計數(shù)器舉辦氣體取樣記數(shù)時，差別設計方案構(gòu)造或事兒基本原理的電子計數(shù)器會產(chǎn)生差其他數(shù)據(jù)信息，乃至剛經(jīng)過校準的同樣設計方案的儀器設備對一樣的氣體舉辦取樣時，也會產(chǎn)生很大的差別。以是在對比差別儀器設備的測量實際效果時要重視這一點。
應用離散變量顆粒計數(shù)器時，不可超越生產(chǎn)廠家所劃分的顆粒濃度值或顆粒規(guī)格的限制。
因為顯微鏡記數(shù)和測量的顆粒規(guī)格是根據(jù)顆粒的視覺效果較大 線形規(guī)格，而離散變量顆粒計數(shù)器所測出的顆粒規(guī)格是根據(jù)比照限度顆粒直徑的當量直徑。以是由這二種方法測出的顆粒濃度值數(shù)據(jù)信息是差其他，因此不可以混在一起應用。
5.3.5. 顆粒記數(shù)方法的校準
全部的儀器設備應按劃分，用已經(jīng)知道的參照限度，根據(jù)容許的程序流程舉辦校準。校準應囊括（但不但僅限于此）水流量和粒度等，在分辨中的每一次粒度測量都應舉辦相關(guān)粒度層面的校準。
5.4. 統(tǒng)計分析分析
為分辨氣體飄浮顆粒潔凈度界限或U外貌所舉辦的飄浮顆粒濃度值數(shù)據(jù)信息的互聯(lián)網(wǎng)和統(tǒng)計分析分析應按下邊規(guī)定舉辦。該統(tǒng)計分析分析僅與隨機偏差（欠缺周全度）相關(guān)并非偶然性差值（差值），如不正確校準。
此限度中的統(tǒng)計分析方法基本原理在附則E中得出。
5.4.1. 分辨的工程驗收標準
在每一個取樣點測到的顆粒濃度值均值落在或好于潔凈度等級分類界限或U外貌的時刻，則清理室或清理區(qū)域內(nèi)氣體滿足飄浮顆粒潔凈度等級分類的工程驗收標準。除此之外，若是當場取樣點數(shù)量低于10個，這種均值的平均值之95%相信限制務必落在或好于潔凈度等級分類界限或U外貌。
5.4.2. 決定工程驗收的籌算
5.4.2.1.取樣點的均值顆粒濃度值
在某取樣點處，顆粒濃度值的均值A為該取樣點初各次取樣的顆粒濃度值Ci之和，除于該點的取樣頻次N，或如式（5-1）所顯示。僅有在取樣一次時，均值顆粒濃度值才與所測到的顆粒濃度值同樣。
A =（C1 C2 …… CN）/N （式5-1）
5.4.2.2.均值的中值
均值的中值M為單獨均值Ai之和除于取樣等級L，如式（5-2）所顯示。全部取樣點的權(quán)重計算同樣，不思量各取樣點的取樣頻次多個。
M =（A1 A2 …… AL）/L （式5-2）
5.4.2.3.均值的限度差值
均值的限度差值SD就是各單獨均值與中值的差的平方和（Ai-M）2，除于取樣等級L減去1的商的平方根，如式（5-3）所顯示。
SD =[(A1-M)2 (A2-M)2 …… (AL-M)2]1/2 式（5-3）
5.4.2.4.均值的限度差值
均值平均值的限度差值SE就是限度差值SD除于取樣等級的平方根，如式（5-4）所顯示。
SD=SD/L1/2 （式5-4）
5.4.2.5.相信限制
均值之平均值M的95%相信限制由M再加上適度的相信限制（UCL）指數(shù)（見表II）與限度差值的相乘來明確，如式（5-5）所顯示。
UCL=M （UCL指數(shù) SE） （式5-5）
表II 95%相信限制的相信指數(shù)
| 取樣指數(shù)L |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
>9* |
| 95%相信指數(shù) |
6.31 |
2.92 |
2.35 |
2.13 |
2.02 |
1.94 |
1.90 |
1.86 |
NA |
*當取樣等級超越9時，相信限制的籌算已不會再規(guī)定（見5.4節(jié)）。
5.4.2.6.取樣籌算
取樣籌算由附則E得出。
6. 獲得強烈推薦
當某聯(lián)邦政府組織 認為此限度不可以滿足其基本上要求必須時，應注明對本限度的獲得必須并附以適度的確認寄至美國聯(lián)邦政府服務項目質(zhì)監(jiān)總局，確認中應強調(diào)哪單位不能滿足基本上必須。提議可寄至服務總局（GSA）、產(chǎn)品商業(yè)服務中間（GPCC）、聯(lián)邦供應服務處（FSSED）、聯(lián)邦供應服務企業(yè)工程處（FSED），819Talor街，F(xiàn)ort Worth,TX76102。服務總局將接受適度行動并通告提議組織 。
7. 與論文參考文獻的分歧
當本限度中談及的技藝規(guī)定與所參照的參考文獻中的規(guī)定產(chǎn)生分歧時，應接受本限度中的規(guī)定。但應將此分歧的脾氣一式二份遞交聯(lián)邦政府部門服務總局、產(chǎn)品商業(yè)服務中間、聯(lián)邦供應服務司工程處、819Talor街，F(xiàn)ort Worth,TX76102。
8. 涉及到的聯(lián)邦政府部門
國家商務部
外交部，國防安全助手秘書辦公室
海軍
水師
航空兵
能源部門
環(huán)境衛(wèi)生與公共性服務部
交通運輸部
服務稅務局
我國航天航空整治局
核整治聯(lián)合會
英國聯(lián)邦限度209E限度-清理室和清潔區(qū)的自然環(huán)境操縱規(guī)定由whwccj翻譯片梳理.
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