半導(dǎo)體無塵凈化廠房管理方案,
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5．1．1 情況
5．1．1．1 半導(dǎo)體加工制造業(yè)務(wù)必在清潔的自然環(huán)境中開展，在施工現(xiàn)場務(wù)必遵照領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。本文檔列舉了這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功，當(dāng)場的每一位工作人員都務(wù)必遵循。
5．1．1．2 工程圖紙上針對工程施工的清潔基本建設(shè)議案將被申請強制執(zhí)行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業(yè)廠房內(nèi)的地區(qū)。
5．1．1．3 凈化室工程施工管理方案現(xiàn)階段關(guān)鍵對于一期主工業(yè)廠房內(nèi)的部分更新改造和改建，中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規(guī)章制度要求的標(biāo)準(zhǔn)開展管理方法。,
5．1．2 義務(wù)與責(zé)任
5．1．2．1 全部承包單位有義務(wù)保證 她們的職工都掌握這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程，而且在她們疏忽遵循或違背時給與學(xué)習(xí)培訓(xùn)和訓(xùn)煉。被分派到清潔基本建設(shè)地區(qū)的每名職工有責(zé)任和義務(wù)了解并遵循清潔基本建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。
5．1．2．2 承包單位承擔(dān)實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設(shè)地區(qū)開展查驗，并填好查驗明細(xì)。承包單位承擔(dān)出示凈化室所需物件，比如：腳套，純棉毛巾，軟墊和工作服。他也承擔(dān)出示每日實行清潔標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員和機器設(shè)備。
5．1．2．3 承包單位修建地區(qū)通道并對其開展管理方法。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區(qū)工作中的工作人員開展學(xué)習(xí)培訓(xùn)，并維護(hù)保養(yǎng)被容許在這里地區(qū)工作中的工作人員真實身份評定和管理方法。
5．1．2．4 逐漸環(huán)節(jié)，承包單位應(yīng)在每一個入口分配工作人員（除非是半導(dǎo)體企業(yè)在該入口分配有工作人員）以保證 本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的實行。  
5．1．2．5反復(fù)違背標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的經(jīng)銷商將被開除。,
5．1．3 議案實施方案
凈化室議案分成三一部分，每一部分相匹配工程施工的一個全過程。工程施工貼近竣工環(huán)節(jié)，不允許從外邊或清潔地區(qū)的工程施工場所帶到臟污。,
5．1．3．1第一部分
 第一部分關(guān)鍵對于直至關(guān)鍵工程施工進(jìn)行后。包含房頂，覆層，門和窗子。全部職工務(wù)必從工程圖紙上標(biāo)出的安全通道出入施工工地。每一個通道將會出現(xiàn)清理店。全部職工進(jìn)到務(wù)必維持鞋整潔。不允許穿獨特的服飾，職工的衣服褲子應(yīng)當(dāng)維持適度的整潔。當(dāng)場安全性標(biāo)準(zhǔn)務(wù)必時刻遵循。
 全部機器設(shè)備和原材料務(wù)必從一個通道進(jìn)到施工工地，而且維持整潔，不允許有殘片掉下。
 施工工地內(nèi)不允許進(jìn)食，抽煙，飲酒。
 每個班完畢時，務(wù)必清走全部廢棄物和廢品?？偠灾?，全部施工工地每日務(wù)必維持整潔。,
5．1．3．2第二一部分
 第二一部分關(guān)鍵對于直至gridline B西面清潔地區(qū)的內(nèi)外墻進(jìn)行。這時，只容許承包單位聘請的職工在清潔地區(qū)。別的經(jīng)銷商假如要進(jìn)到清潔地區(qū)，務(wù)必提早向承包單位提交申請，獲得容許后才可進(jìn)到。職工、機器設(shè)備和原材料的通道是歷經(jīng)威世半導(dǎo)體(西安市)有限責(zé)任公司管理者愿意的。
 gridlines 1和2中間的通往制成品庫房的內(nèi)門。
 gridlines 15和16中間的通往原材料庫房的內(nèi)門。
 其他通道務(wù)必歷經(jīng) 凈化工程承包單位的書面形式準(zhǔn)許。2個通道邊上可能為很可能導(dǎo)致環(huán)境污染的原材料提前準(zhǔn)備或解包預(yù)埋地區(qū)。進(jìn)入清潔地區(qū)以前，原材料和機器設(shè)備不允許有臟污或由掉下，而且應(yīng)當(dāng)用整潔的干抹布擦洗整潔。
 一切很有可能會導(dǎo)致環(huán)境污染的主題活動務(wù)必務(wù)必提早歷經(jīng)清潔工程承包商的準(zhǔn)許。這包含打磨砂紙打磨拋光，碾，開掘，演習(xí)，電焊焊接，激光切割和一切自來水或自噴工作中。承包單位要用一切很有可能的方式 防止環(huán)境污染。
 裝上的木地板務(wù)必用PVC板包裝維護(hù)。
 第一部分提及的必需的衣服褲子、腳套也是務(wù)必的。
 第二一部分議案實行期內(nèi)，清潔地區(qū)務(wù)必每日除塵。,
5．1．3．3 第三一部分
 第三一部分關(guān)鍵對于直至生產(chǎn)線所有完工。汽體鼓風(fēng)機電機將不斷運作以維護(hù)保養(yǎng)屋子的工作壓力規(guī)定。
 進(jìn)到的職工穿鞋子套和工作服裝。
 全部進(jìn)到清潔地區(qū)的原材料，專用工具和機器設(shè)備要用IPA和水的化合物擦洗。
 在第三一部分議案實行期內(nèi)，清潔地區(qū)每日得用有過濾系統(tǒng)的洗塵機器設(shè)備除塵。,
5．1．4 清潔安裝
 務(wù)必采用清潔對策維持安裝清潔。
 各種構(gòu)件如節(jié)令閘，外擴散體在進(jìn)到施工工地時要清潔而且拆下來包裝。內(nèi)部表層應(yīng)當(dāng)用IPA和水的化合物擦洗。
 清潔安裝全過程中，務(wù)必高度關(guān)注所采用的清潔對策的靠譜水平，針對防護(hù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)備一定要作到及時處理、馬上改正。,
5．1．5 最終清潔
 清潔地區(qū)的全部安裝進(jìn)行后，要開展最終清潔。清潔要用IPA和水的化合物擦洗。先清潔吊頂天花板，隨后是墻面，墻面應(yīng)從上向下，最終是路面。
 最終清潔進(jìn)行后，gridline B東邊根據(jù)的地區(qū)將是唯一進(jìn)到凈化室的安全通道。之前的原材料制成品庫房通道將被維護(hù)。
 最終清潔進(jìn)行后，一切進(jìn)到的人都務(wù)必根據(jù)威世半導(dǎo)體(西安市)有限責(zé)任公司當(dāng)場主管的準(zhǔn)許。,
5．1．6機器設(shè)備、物件進(jìn)到凈化室要求,
5．2 凈化廠房潔凈度等級按時檢驗規(guī)章制度/精確測量規(guī)范
5.2.1為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達(dá)到加工工藝規(guī)定，務(wù)必按時對清潔房間內(nèi)的潔凈度等級開展檢驗。
5.2.2檢驗檢測設(shè)備：激光器顆粒記數(shù)器
5.2.3檢驗周期時間：每星期一上午、中午對各清潔地區(qū)開展一次檢驗
5.2.4檢驗標(biāo)準(zhǔn)：靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈度等級檢測
5.2.5數(shù)據(jù)信息搜集整理：將每一次檢驗的結(jié)果鍵入中控室的電腦上中存儲，并在每一個季末（或下季度初）給各單位發(fā)該一季度的潔凈度等級紀(jì)錄數(shù)據(jù)圖表電子版通告給各單位。
5.2.6各清潔地區(qū)清潔等級規(guī)范：依照《半導(dǎo)體企業(yè)能源管理體系規(guī)范》規(guī)定實行。
地區(qū)、系統(tǒng)軟件名字 清潔級別規(guī)范 等同于ISO等級 等效于GB級別
K-1系統(tǒng) 片區(qū)地區(qū)
靜態(tài)數(shù)據(jù)一萬級   
K-1系統(tǒng)更新改造前為靜態(tài)數(shù)據(jù)十萬級   CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系統(tǒng) 包裹地區(qū) 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系統(tǒng) 搪錫地區(qū) 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系統(tǒng) 檢測地區(qū) 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系統(tǒng) 電鍍工藝地區(qū) 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
目前別的空調(diào)機組 舒適性空調(diào)系統(tǒng)軟件，無清潔規(guī)定   Not Applicable Not Applicable ,
5.2.7凈化室用空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件及機器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理方法與相對應(yīng)的安全操作規(guī)程、檢修規(guī)章制度等（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件和凈化室有關(guān)的公共動力裝置的機器設(shè)備、管道等管理方法維護(hù)保養(yǎng)，如，空氣過濾網(wǎng)、空調(diào)、部分油煙凈化器、制冷機組及離心水泵、反滲透設(shè)備、變電設(shè)備、安全性警報設(shè)備等）實行威世半導(dǎo)體(西安市)有限責(zé)任公司廠務(wù)部有關(guān)SOP文檔。,
5.2.8參照文檔
 FSD-SOP-01   《供電操作指導(dǎo)書及規(guī)范制度》
 FSD-SOP-4-1  《AHU系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-2  《洗氣塔操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-3  《鍋爐操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-4  《制冷機操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-06   《廠務(wù)部安全操作規(guī)程》
 FSD-SOP-07   《設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)流程》
 FSD-SOP-08   《消防系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-12   《廠務(wù)部運行管理制度》
 FSD-SOP-13   《市政動力能源中斷緊急應(yīng)變計劃》
 FSD-SOP-20   《廠務(wù)核心機組應(yīng)急切換操作指導(dǎo)書》
 ATD1210C    《能源管理標(biāo)準(zhǔn)》
 JVP1301C    《公共設(shè)施管理規(guī)定》,
5．3 凈化室工作人員管理方案
5．3．1 凈化室的員工管理包含：制訂職業(yè)管理者的崗位職責(zé)、凈化室工作人員的準(zhǔn)入條件規(guī)章制度、人員管理文化教育要求、進(jìn)到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理方法和撤出管理方案等。,
5．3．2 工作人員凈化處理與進(jìn)到
5.3.2.1在凈化車間內(nèi)諸多的污染物中，人是關(guān)鍵污染物之一，尤其是工作員在清潔自然環(huán)境中的主題活動，會顯著地提升清潔自然環(huán)境的環(huán)境污染水平。
5.3.2.2針對高級別清潔地區(qū)，應(yīng)嚴(yán)控進(jìn)到工作人員總數(shù)，并標(biāo)準(zhǔn)開展二次換衣。
5.3.2.3要得到工作環(huán)境所必須的氣體潔凈室等級或增加空氣過濾網(wǎng)的使用期限，對進(jìn)到 凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。
5.3.2.4為維持凈化室氣體潔凈度等級，應(yīng)盡量避免進(jìn)到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進(jìn)入凈化室的工作人員務(wù)必嚴(yán)苛地按照規(guī)定程序流程開展人身安全凈化處理。
5.3.2.五個人衣服褲子物件所有放進(jìn)指定的木柜里，除掉畫妝，換掉指定的服飾，按氣體潔凈室等級相對應(yīng)的脫衣次序脫衣，放在要求的衣櫥內(nèi)。
5.3.2.6進(jìn)到脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放在鞋架內(nèi)，嚴(yán)禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進(jìn)到更衣間。
5.3.2.7若企業(yè)中后期發(fā)展趨勢必須更高清潔等級規(guī)定的清潔地區(qū)（指高過ISO Class7等級）進(jìn)到前，必須設(shè)定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒（先用清潔洗潔劑清洗，再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風(fēng)干）。
5.3.2.8但凡交叉式環(huán)境污染的媒體，要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設(shè)備和高凈化處理包裝制品等。要按照規(guī)定戴手套和護(hù)指。,
5．3．3  凈化室工作員注意事項
5.3.3.1進(jìn)到凈化室的工作人員應(yīng)嚴(yán)格遵守人身安全凈化處理規(guī)章制度、線路和程序流程，所有人不可隨便變更。在清潔房間內(nèi)務(wù)必按照規(guī)定著衣、戴帽子、脫鞋。
5.3.3.2進(jìn)到清潔等級一萬級及其高過千級的清潔地區(qū)，務(wù)必最少歷經(jīng)二次換衣?？上葟囊淮胃麻g進(jìn)到，開展更鞋、脫外套、換潔凈服、佩戴口罩、遮陽帽（或清潔臉罩）后，歷經(jīng)過道進(jìn)到二次更衣間，開展二次換衣、更鞋、戴防靜電腕帶、佩戴口罩、戴帽，確定拆換結(jié)束后，進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室開展風(fēng)淋室后，才可以進(jìn)到千級及其高過千級的清潔地區(qū)。
5.3.3.3禁止不通過風(fēng)淋室而立即走旁通閥門進(jìn)到凈化室。旁通閥門只容許工作人員出到清潔間外及其產(chǎn)生緊急狀況時的出入。
5.3.3.3.1不銹鋼風(fēng)淋室應(yīng)用注意事項
A.不銹鋼風(fēng)淋室是工作員進(jìn)到凈化處理地區(qū)前開展人身安全凈化處理的專業(yè)設(shè)備，它能將身體表層吸咐著的浮塵用髙速氣旋吹去，使工作員沒有污染物進(jìn)到凈化處理地區(qū)，并能使凈化處理地區(qū)和非凈化處理地區(qū)具有氣閘功效。
B.不銹鋼風(fēng)淋室設(shè)置和情況：不銹鋼風(fēng)淋室在交付使用前務(wù)必進(jìn)行調(diào)節(jié)和設(shè)置，使之維持全自動風(fēng)淋室情況。
C.不銹鋼風(fēng)淋室應(yīng)用
 使用人不用按一切鍵就可以開關(guān)門進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室內(nèi)，總數(shù)每一次限制三人,把門關(guān)好就可以全自動風(fēng)淋室,風(fēng)淋室時轉(zhuǎn)動人體360度, 等候離心風(fēng)機停止工作之后蜂長鳴，內(nèi)門開門鎖，客戶出不銹鋼風(fēng)淋室。
 按“照明燈具開”鍵就可以開啟房間內(nèi)照明燈具。
 不銹鋼風(fēng)淋室的全智能對所做設(shè)置有記憶力作用,關(guān)掉不銹鋼風(fēng)淋室開關(guān)電源再度開啟開關(guān)電源時不銹鋼風(fēng)淋室處在之前實際操作的最終設(shè)置情況。
 嚴(yán)禁一線使用人對機器設(shè)備的標(biāo)值設(shè)置開展變更，數(shù)據(jù)信息變更務(wù)必由技術(shù)專業(yè)的管理者開展。
 嚴(yán)禁使用人粗暴對不銹鋼風(fēng)淋室的門（紅外線磁力鎖）強制推拉門而毀壞機器設(shè)備。
 風(fēng)淋設(shè)備若因錯誤操作而毀壞，應(yīng)用單位應(yīng)按實體現(xiàn)毀壞緣故，并馬上報障。
一線員工在應(yīng)用全過程中發(fā)覺情況出現(xiàn)異常，應(yīng)該馬上通告主管機構(gòu)開展解決；并停用不銹鋼風(fēng)淋室。,
D.不銹鋼風(fēng)淋室一切正常/出現(xiàn)異常情況的定義：
1.不銹鋼風(fēng)淋室一切正常復(fù)位自查：開啟開關(guān)電源實際操作控制面板LED電子數(shù)碼顯示時間照亮，另外電腦上控制板做一次檢驗，二門是不是關(guān)掉，帶門開了則等候閉店，假如二門都關(guān)掉則全自動進(jìn)到一切正常運行狀態(tài)。,
2.一切正常運行狀態(tài)
 假如系統(tǒng)軟件處在不運行狀態(tài)：按電源總開關(guān)鍵使系統(tǒng)軟件處在運行狀態(tài)，LED被照亮。
 依照明開/關(guān)則不銹鋼風(fēng)淋室燈被照亮或滅掉，工作人員可依據(jù)必須循環(huán)系統(tǒng)挑選。
 系統(tǒng)軟件處在一切正常等候運行狀態(tài)時，不銹鋼風(fēng)淋室的雙扇門處在關(guān)掉未鎖情況。,
3.出現(xiàn)異常情況：噴頭發(fā)生很弱風(fēng)力、門不可以一切正常關(guān)掉或打開、開關(guān)電源實際操作控制面板無表明。,
5.3.3.3 .2 出入不銹鋼風(fēng)淋室步驟原理：
 進(jìn)到：當(dāng)內(nèi)門(紅外線磁力鎖)被開啟時，內(nèi)門（紅外線磁力鎖）全自動鎖閉。假如客戶進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室，歷經(jīng)紅外感應(yīng)器，離心風(fēng)機將全自動工作中一定時間，這時內(nèi)外門均鎖閉，離心風(fēng)機停止工作之后蜂長鳴，內(nèi)門開門鎖，客戶出不銹鋼風(fēng)淋室。開關(guān)門、閉店全部全過程完畢。
 撤出：當(dāng)外門被開啟時內(nèi)門全自動鎖閉，客戶閉店后，則內(nèi)外門均開門鎖，客戶能夠從任意門出不銹鋼風(fēng)淋室。開關(guān)門、閉店，全部全過程完畢。
5.3.3.4工作工作人員在清潔房間內(nèi)工作中時，姿勢要輕。嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，不允許蹦跳、玩耍及叫喊，未作多余的姿勢，未作高發(fā)塵和大幅的姿勢。
5.3.3.5工作工作人員在清潔房間內(nèi)工作中時，盡量減少工作人員集聚狀況。若某些工序無獨特合作要求，別的工序職工嚴(yán)禁集聚、看熱鬧與自身工序工作中無關(guān)緊要的別的工序一切正常工作中事情。
5.3.3.6為不影響氣旋，在工區(qū)上下游側(cè)不可放物件，生產(chǎn)制造實際操作一般應(yīng)在凈化工作臺或氣旋的上下游開展。
5.3.3.7不允許將與生產(chǎn)制造不相干和非常容易粉塵的物件帶到凈化室，禁止在清潔房間內(nèi)抽煙、飲食搭配和開展非生產(chǎn)性主題活動。
5.3.3.8身患下列幾類病癥的職工是不適合進(jìn)到凈化室的：呼吸道病癥（如比較嚴(yán)重的咳嗽有痰等，病人除開會散播病原菌、病毒感染外，還會繼續(xù)因干咳而造成很多的污穢顆粒物滲入清潔的空氣中）、皮膚疾?。ㄈ顼@著蛻皮、掉白屑的過敏性皮炎等）；對于以上情況若采用了靠譜的附加人凈對策時是能夠進(jìn)到凈化室的。,
5．3．4 凈化室工作人員撤出時要留意的事宜
5.3.4.1為了更好地避免再度進(jìn)到和來回工作對凈化室導(dǎo)致交叉式環(huán)境污染按照規(guī)定的次序撤出凈化室。
5.3.4.2凈化室工作人員在工作半途和工作結(jié)束在撤出到換衣區(qū)以前不可脫下潔凈服，進(jìn)到更衣間先脫凈化室用鞋，放在要求的場地。
5.3.4.3必需時把鞋脫掉前洗手消毒，把鞋脫掉后再摘下遮陽帽，放在要求處。
5.3.4.4脫潔凈服時不必碰觸木地板、餐桌和別的物件，針對潔凈服一般自下高于一切脫（自下高于一切就是指先把鞋脫掉、再脫衣、再除去遮陽帽和防護(hù)口罩），用衣服架掛在要求的住所。
5.3.4.5脫下潔凈服之后，如要再進(jìn)凈化室時，仍需按進(jìn)到凈化室的次序開展人凈。
5.3.4.6撤出10K以及下列等級凈化室時不用歷經(jīng)氣體吹淋。立即走旁通閥門撤出10K凈化室是容許的。
5.3.4.7不可以穿潔凈服尿尿及進(jìn)到機電設(shè)備間、庫房等非清潔地區(qū)。,
, 5．4．潔凈服管理方案 
潔凈服的管理方法包含：潔凈服購置和制做(含原材料挑選)、潔凈服應(yīng)用管理方法、潔凈服的清理要求等。 
5．4．1 潔凈服購置和制做 
5.4.1.1 潔凈服務(wù)必采用由技術(shù)專業(yè)生產(chǎn)廠家制做的合格產(chǎn)品。 
5.4.1.2 潔凈服務(wù)必達(dá)到加工工藝對清潔/抗靜電等的所有規(guī)定。  ,
5．4．2 潔凈服應(yīng)用管理方法基本準(zhǔn)則 
5.4.2.1 工作人員進(jìn)到凈化室最先由本人潔凈服專用型柜或收納整理處取下潔凈服，若潔凈服并未開封市，需細(xì)心割開包裝取出服飾，不沾帶包裝料碎渣。 
5.4.2.2 穿衣服時，不必使衣服褲子碰觸木地板、餐桌、桌椅等物件，不必臟污衣袖和褲腳衣擺，姿態(tài)要維持站立，按從上到下次序穿衣服［戴帽子→穿衣服（分體式潔凈服先上衣外套后牛仔褲子）→穿鞋子］，必需時需設(shè)定專用型的穿衣服臺。 
5.4.2.3 戴兜帽和遮陽帽時要把秀發(fā)所有遮擋住，頭頂部牢牢地地包在兜帽內(nèi)。 
5.4.2.4 若不穿清潔鞋而采用替代腳套的臨時性對策，穿鞋子套時要把褲腳衣擺牢牢地地裹在腳套內(nèi)。 
5.4.2.5 在沒有違背潔服應(yīng)用管理方法基本準(zhǔn)則前提條件下，生產(chǎn)流水線可優(yōu)化出好用的和可執(zhí)行性強的實際要求。  ,
5．4．3 潔凈服的清理要求 
5.4.3.1 潔凈服的清理若采用外委方式，清潔公司應(yīng)取西天取經(jīng)調(diào)查達(dá)標(biāo)的技術(shù)專業(yè)清潔公司。 
5.4.3.2 潔凈服的清潔液不可對潔凈服的特性有影響；潔凈服的布料清理后不允許有起絲、掉渣。 
5.4.3.3 清理后的衣服抗靜電紡織物特性不可被毀壞，若被毀壞，應(yīng)立即損毀或退級應(yīng)用，退級應(yīng)用應(yīng)該有顯著標(biāo)識且禁止在有抗靜電規(guī)定的地區(qū)內(nèi)應(yīng)用。 
5.4.3.4 清理進(jìn)行的潔凈服應(yīng)開展靠譜包裝后運輸及儲放，防止與外部的交叉式環(huán)境污染。  ,
5．5 凈化室貨運物流/清潔房間內(nèi)機器設(shè)備及安全工器具管理方案 
5．5．1 物流信息管理包含：進(jìn)到凈化室的原材料準(zhǔn)入條件規(guī)章制度，原材料的清除和清理要求、廢料管理方案等。  ,
5.5.1.1 為避免空氣污染物帶到凈化室(區(qū))，全部送進(jìn)凈化室(區(qū))的各種各樣原材料、原輔材料、機器設(shè)備、安全工器具包裝制品等均需按要求開展外包裝盒清除、吹凈，合理地消除外表層的粒子。 
5.5.1.2 在凈化車間內(nèi)依據(jù)氣體潔凈室等級、商品生產(chǎn)制造的規(guī)定設(shè)定必需的原材料凈化處理設(shè)備，包含外包裝盒清除室，氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)等。  (參照凈化室： http://www.aozoc.com/)
5.5.1.3 原材料在外包裝盒清除室拆卸外包裝盒、裝進(jìn)清潔器皿內(nèi)或當(dāng)外包裝盒不可以拆卸時，對其擦洗消除灰塵或選用別的消除空氣污染物的方法對機器設(shè)備、器皿專用工具開展清理解決，并使清除前后左右的原材料以一定標(biāo)示給予差別。 
5.5.1.4 清潔地區(qū)的專用型資金周轉(zhuǎn)小轎車、資金周轉(zhuǎn)盒務(wù)必有清楚的標(biāo)示，和非清潔資金周轉(zhuǎn)小轎車有顯著的區(qū)別標(biāo)志，嚴(yán)禁互用。 
5.5.1.5 對清除外包裝盒后的原材料應(yīng)歷經(jīng)氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)才可以進(jìn)到凈化室(區(qū))，氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)的功效與工作人員凈化處理用氣閘室類似，用以維持凈化室的氣體潔凈度等級和清潔房間內(nèi)務(wù)必的工作壓力。 
5.5.1.6 不銹鋼傳遞窗(柜)應(yīng)達(dá)到以下規(guī)定。兩邊門邊設(shè)窗，能看到內(nèi)部和兩邊；保證 兩邊門不可以另外打開（可根據(jù)兩邊門邊設(shè)連鎖加盟設(shè)備或根據(jù)嚴(yán)格要求來完成）；不銹鋼傳遞窗內(nèi)規(guī)格可融入運送原材料的尺寸及凈重，密封性好并必須的抗壓強度；依據(jù)主要用途的不一樣可設(shè)定室內(nèi)燈、除菌設(shè)備。  ,
5．5．2 清潔房間內(nèi)機器設(shè)備及安全工器具管理方法包含：機器設(shè)備及安全工器具的搬進(jìn)管理方法，清理和清理要求，機器設(shè)備及安全工器具的撤出管理方法等。 
5.5.2.1 工藝技術(shù)進(jìn)到清潔地區(qū)前，應(yīng)事前確立運送線路，消除機器設(shè)備運送安全通道上的阻礙物，包含對主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板的拆裝，并做好隔離防護(hù)對策，盡量防止毀壞清潔地區(qū)的自然環(huán)境；若機器設(shè)備搬進(jìn)很有可能對生產(chǎn)制造導(dǎo)致環(huán)境污染，應(yīng)提早分配部分停工相互配合機器設(shè)備搬進(jìn)。 
5.5.2.2 隔離防護(hù)的設(shè)備務(wù)必保證 嚴(yán)實靠譜，可以合理操縱空氣污染物的外擴散，并留意監(jiān)管其完好無損情況，若有損壞，立即修復(fù)使嚴(yán)實完好無損。 
5.5.2.3 機器設(shè)備進(jìn)到清潔地區(qū)前，務(wù)必先在緩沖區(qū)域（或緩沖地帶）開展完全的清理和擦洗。 
5.5.2.4 在開展機器設(shè)備、原材料運送的全過程中，要嚴(yán)苛開展清潔操縱，機器設(shè)備進(jìn)生產(chǎn)車間前留意在清潔緩沖區(qū)域（或臨時性緩存過道）的有關(guān)清理工作中。特別是在留意不可穿潔凈服經(jīng)機器設(shè)備、原材料安全通道門到室外，這般歷經(jīng)交叉式環(huán)境污染過的衣服褲子、腳套、遮陽帽再度無一切對策又進(jìn)到凈化室，會導(dǎo)致凈化室交叉式環(huán)境污染。 
5.5.2.5 在機器設(shè)備、原材料運送期內(nèi)應(yīng)盡量防止妥協(xié)接納很有可能發(fā)生的自然環(huán)境振蕩，對工作人員、機器設(shè)備、原材料凈化處理管控應(yīng)嚴(yán)苛開展操縱。一定要嚴(yán)控空氣污染物外擴散，尤其是交叉式環(huán)境污染的狀況，不然會出現(xiàn)高效送風(fēng)口（HEPA）的環(huán)境污染損害，及其附加的清潔清除花費。 
5.5.2.6 如下圖所顯示，在凈化室準(zhǔn)許入口設(shè)定清潔緩存/管控間，一切進(jìn)到清潔房間內(nèi)的物件務(wù)必歷經(jīng)緩沖間。 
5.5.2.7 物件進(jìn)到凈化室的步驟。 
戶外預(yù)清理→傳到緩沖區(qū)域→緩沖區(qū)域內(nèi)最后清理→傳到清潔房間內(nèi) 
 最先，戶外、緩沖間（或臨時性緩存過道）、清潔房間內(nèi)都有一支搬運組（共三組）候命，這三組工作人員依據(jù)分別的自然環(huán)境身穿不一樣的服飾：戶外身穿一般工作服裝，緩沖間內(nèi)身穿清理的服飾并配戴腳套，清潔房間內(nèi)身穿詳細(xì)的潔凈服，含有防護(hù)口罩和膠手套等，這三組人互不可以進(jìn)到其他人的工作中地區(qū)。 
 當(dāng)有機器設(shè)備、物件必須運送時，最先戶外組工作人員對物件開展預(yù)清理，隨后開啟緩沖間室兩側(cè)的門（或機器設(shè)備預(yù)埋出入外門），將物件傳到緩沖區(qū)域。務(wù)必確保，在開啟緩沖間戶外邊門（或機器設(shè)備預(yù)埋出入外門）時，凈化室側(cè)的門處在關(guān)掉情況。 
 緩沖區(qū)域（或臨時性緩存過道）的那組工作人員對物件開展最后的清理，并且用整潔的清潔布檢驗達(dá)標(biāo)后，開啟凈化室側(cè)的門，將物件傳到清潔房間內(nèi)。這般才標(biāo)準(zhǔn)的完成了物件傳輸和清理的全過程。 
5.5.2.8 機器設(shè)備搬進(jìn)進(jìn)行并到位后，立即清理機器設(shè)備地區(qū)的臟物、拆卸隔離防護(hù)對策、修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板，并對機器設(shè)備搬進(jìn)地區(qū)及周邊地區(qū)開展完全的清理和清理，使達(dá)到清潔。 
5.5.2.9 拆卸隔離防護(hù)對策應(yīng)留意操縱防止交叉式環(huán)境污染，修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板應(yīng)確保排架結(jié)構(gòu)的密封性，密封性裝飾條要確保合理密封性，膠密縫應(yīng)修復(fù)嚴(yán)實整平。 
5.5.2.10 中小型安全工器具搬進(jìn)管理方法必須達(dá)到物流信息管理規(guī)定。 
5.5.2.11 大中型安全工器具搬進(jìn)管理方法可參考工藝技術(shù)搬進(jìn)管理方法規(guī)定實行。 
5.5.2.12 機器設(shè)備自身的清理和清理由生產(chǎn)制造單位及維護(hù)保養(yǎng)單位開展要求的定編及實行，但其穩(wěn)定性務(wù)必達(dá)到清潔規(guī)定。 
5.5.2.13 機器設(shè)備和大中型安全工器具的撤出與搬進(jìn)管理方法相近，也應(yīng)事前確立運送線路，消除機器設(shè)備運送安全通道上的阻礙物，包含對主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板的拆裝，并做好隔離防護(hù)對策，盡量防止毀壞清潔地區(qū)的自然環(huán)境；若機器設(shè)備撤出很有可能對生產(chǎn)制造導(dǎo)致環(huán)境污染，應(yīng)提早分配部分停工相互配合機器設(shè)備撤出。 
5.5.2.14 機器設(shè)備和大中型安全工器具撤出后，立即清理機器設(shè)備地區(qū)的臟物、拆卸臨時性隔離防護(hù)對策、修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板，并對機器設(shè)備撤出地區(qū)及周邊地區(qū)開展完全的清理和清理，使達(dá)到清潔。  ,
5．6  凈化室清理、清理和殺菌管理方案 
5．6．1凈化車間及凈化車間過道清理操作流程見下表： 

5．6．1-（A）凈化車間清理操作流程 
專用工具 吸塵機、抗靜電塵推、長塑料軟管、毛刷、簸箕、 
抗靜電塵推碎布、滑軌、人字梯、抗靜電去塵布 
耗品抗靜電去塵劑、抗靜電清潔液。 
清理位置 ,1、 生產(chǎn)車間墻； 
2、 窗門、鐵皮文件柜、路面 ,
具體步驟方式  
1、  用滑軌相互配合去塵布，由上而下，開展墻面清理，對環(huán)境污染偏重的部分用掉塵布沾取小量純抗靜電清潔液擦 ，用掉塵布揩拭整潔。 
2、  用滑軌不方便的部分，運用人字梯按跟上面一樣的操作步驟清理墻壁（如木柜的上邊）。 
3、  墻壁清理結(jié)束后，用吸塵機加塑料軟管汲取工廠地面的煙塵，吸塵機應(yīng)置生產(chǎn)車間的過道上，塑料軟管進(jìn)生產(chǎn)車間，除塵扒頭應(yīng)從左往右，先遠(yuǎn)后近的地區(qū)開展除塵，除塵的地區(qū)不可以有間距，以防漏吸（脫鞋套）。 
4、  除塵結(jié)束后，用塵推依照除塵的操作步驟開展，部分環(huán)境污染偏重的地區(qū)運用去塵布沾取小量純抗靜電去塵劑，用濕去塵布清理，隨后用干抗靜電去塵布揩干。 
5、  窗門里側(cè)、木柜等配件的清理用掉塵布相互配合抗靜電清潔液先弄之后開展清除。 
6、  梳理專用工具，按時將吸塵機塵盒拆換（地址：生產(chǎn)車間外）。 
7、  生產(chǎn)車間內(nèi)須收購 的廢棄物置放在抗靜電車?yán)铮瑥纳a(chǎn)車間北門運到制成品庫大門口（通告外場清潔員策應(yīng)），并歸類集中化至制成品庫位。 
8、  生產(chǎn)車間廢棄物實際清除程序流程見后附文檔。 
備注名稱 之上常用專用工具及耗品均應(yīng)合乎威世企業(yè)規(guī)定要求。 


5．6．1-（B）凈化車間過道操作流程 
專用工具 抗靜電塵推、擦地機、吸水器、長塑料軟管、掃把、人字梯、抗靜電去塵布、抗靜電塵推碎布 
耗品 抗靜電蠟、抗靜電清潔液、抗靜電去塵劑 
清理 位置 1、墻壁；2、窗門；3、消防設(shè)備；4、路面 
具體步驟方式  
1、A)用滑軌相互配合去塵布，由上而下，由左向右，開展墻面清理，對環(huán)境污染偏重的部分用純抗靜電清潔液，用掉塵布揩拭整潔。 
   B)用滑軌不方便的部分，運用人字梯按跟上面一樣的操作步驟清理墻壁；針對熟石膏墻墻面用吸塵機由上而下汲取塵土。 
2、用掉潮塵布相互配合抗靜電清潔液先弄之后，由左至右開展清除。 
3、用無塵擦拭布由上方、兩側(cè)及里面所有擦洗整潔，梳理好安防設(shè)備并查驗有沒有毀壞，完好無損后把手關(guān)掉； 
4、用抗靜電塵推由一側(cè)，先后推塵清理。 
拋光打蠟程序流程 用上蠟水優(yōu)先起蠟，用吸塵吸水機吸凈殘蠟，用清理拖把脫干后拖凈路面，等路面完全吹干，再打靜電地板蠟（具體做法和流程詳細(xì)5．6．2條）。 
備注名稱 之上常用專用工具及耗品均應(yīng)合乎企業(yè)規(guī)定要求。已經(jīng)清理的地區(qū)應(yīng)設(shè)定標(biāo)示牌，且清理工作中不可與威世職工的一切正常工作中矛盾。 

5．6．2  路面拋光打蠟的方式 和程序流程 
5．6．2．1 必須提前準(zhǔn)備的設(shè)備和專用工具、清潔液： 
 洗地車；吸塵機；研磨拋光機；大規(guī)模工作需配置洗地機  
   拖布、蠟拖、拖布扭干器、水推
   除蠟劑、中性化多用途清潔液
 除蠟墊（灰黑色）、清理墊（鮮紅色、乳白色）、打磨拋光墊（乳白色） 
5．6．2．2 假如路面早已打了蠟，且蠟面已無光澤或是早已損壞發(fā)生斑駁陸離和掉下來，在拋光打蠟前就必須對凈化室路面先開展除蠟。 
除蠟的方式 及步驟以下： 
用拖布將除蠟劑勻稱涂在蠟的表層，功效五分鐘后見到奶白色泡沫塑料愈來愈多，就可以用配有除蠟墊的洗地車清理路面 → 用洗地車清理路面直到看不見蠟層，假如蠟層偏厚，一次很有可能除不干凈，必須再用除蠟劑除第二次，用吸塵吸水機將水吸走 → 用拖布和冷水將路面拖試整潔，一定要多拖拭幾次，保證 路面不會再帶有除蠟劑的殘余液，以防危害再次拋光打蠟的實際效果 
5．6．2．3 假如路面沒有打了蠟，可立即用兌有多用途清潔液的水溶液（按1：40的占比加上），用配有洗地氈的洗地車清理路面，隨后將路面拖拭整潔，待路面徹底干躁后逐漸拋光打蠟。 
5．6．2．4 拋光打蠟的程序流程 
提前準(zhǔn)備： 
將適當(dāng)?shù)念I(lǐng)地蠟倒進(jìn)拖布扭干器中，將蠟拖自來水潮濕并扭干。 → 依照由邊向內(nèi)由里到外的標(biāo)準(zhǔn)，讓蠟拖按∞形運作，留意蠟拖每一次沾蠟不能過多也不能太少，勻稱擦抹，不必漏抹。 → 三十分鐘后確定安全性干躁后再按一樣的作法打面蠟2遍。干躁的規(guī)范：不粘手，不粘腳。 → 徹底干躁后可進(jìn)到打磨拋光的程序流程：應(yīng)挑選轉(zhuǎn)速比1500轉(zhuǎn)之上的研磨拋光機和20#乳白色打磨拋光墊開展打磨拋光，打磨拋光時要漸漸地運作，打磨拋光后這時的色度沒有做到最亮，24小時后再做一次打磨拋光其色度可做到90。 

5．6．3   凈化車間垃圾清運程序流程 
5．6．3．1 保潔服務(wù)工作人員在運輸清潔區(qū)域內(nèi)的廢棄物前，通告保衛(wèi)人員，在保衛(wèi)人員的監(jiān)管下執(zhí)行將清潔區(qū)域內(nèi)的廢棄物運輸?shù)膶嶋H操作。 
5．6．3．2 生產(chǎn)車間內(nèi)的清潔員從生產(chǎn)車間內(nèi)把配有廢棄物的垃圾箱置放專用型抗靜電車，從生產(chǎn)車間北門運到原料庫大門口。 
5．6．3．3 將廢棄物亂倒至原料庫大門口的臨時性垃圾池的垃圾箱內(nèi)。 
5．6．3．4 通告外場清潔員策應(yīng)。（注：每天早上8點清倒一次，中午4點清倒一次） 
5．6．3．5 外場清潔員將生產(chǎn)車間內(nèi)的垃圾箱拉出原料庫位邊門，將垃圾清倒進(jìn)已準(zhǔn)備好的資金周轉(zhuǎn)垃圾箱內(nèi)。 
5．6．3．6 生產(chǎn)車間內(nèi)的垃圾箱再次進(jìn)到生產(chǎn)車間內(nèi)，務(wù)必清理整潔后（包含垃圾箱底端車轱轆），再放入特定部位。 
5．6．3．7 外場清潔員把資金周轉(zhuǎn)垃圾箱運到生產(chǎn)車間外的垃圾池開展清除。 
5．6．3．8 凈化車間垃圾清運常見問題 
 需傾倒垃圾時，原料庫位門與內(nèi)門不可以另外開啟。
 外場工作人員不可以進(jìn)到生產(chǎn)車間，生產(chǎn)車間工作人員不可以擺脫戶外。 
 車輛不可以內(nèi)外穿梭，只有清運貨箱。
5．6．4  凈化室清理、清理和殺菌管理方案參照文檔： 
承擔(dān)清洗服務(wù)的單位，應(yīng)依據(jù)企業(yè)具體情況制訂清洗服務(wù)方案，確立實際的清理內(nèi)容、周期時間、次數(shù)及其相匹配產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。本文檔未作關(guān)鍵點敘述處，可執(zhí)行程序《FSD-SOP-19 清潔服務(wù)內(nèi)容及質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》及《FSD-SOP-21 清潔工作化學(xué)用品管理規(guī)定》規(guī)定。  ,
5．7 凈化室凈化室安全工作 
凈化室安全工作，早已包含在《FSD-SOP-8-2 消防火警處理規(guī)程》內(nèi)，必須嚴(yán)格遵守。  ,
6．0 版本號變更紀(jì)錄 , 半導(dǎo)體材料潔凈凈化車間管理方案,

半導(dǎo)體材料潔凈凈化車間管理制度

目     錄

1.0  凈化車間管理方法的目地
2.0  凈化車間管理方法的標(biāo)準(zhǔn)
3.0  應(yīng)用領(lǐng)域
4.0  專業(yè)術(shù)語
5.0  管理流程
5．1   凈化車間工程施工管理制度
5．2   凈化車間潔凈度等級按時檢驗規(guī)章制度/精確測量規(guī)范
5．3   凈化車間工作人員管理制度
5．4    凈化車間潔凈服管理制度
5．5   凈化車間貨運物流/清潔房間內(nèi)機器設(shè)備及安全工器具管理制度
5．6   凈化車間清理、清理和殺菌管理方法
5．7   凈化車間凈化室安全工作
6.0  版本號變更紀(jì)錄

1．0 凈化車間管理方法的目地

半導(dǎo)體材料商品生產(chǎn)過程對生產(chǎn)車間有確立的清潔規(guī)定，為了更好地達(dá)到生產(chǎn)工藝流程必須、確保產(chǎn)品品質(zhì)、生產(chǎn)安全，務(wù)必對凈化室的自然環(huán)境、工作人員、原材料、機器設(shè)備、生產(chǎn)過程等開展操縱。

2．0 凈化車間管理方法的標(biāo)準(zhǔn)

2.1進(jìn)到凈化室的管理方法，包含對凈化室工作員進(jìn)到、原材料進(jìn)到、各種機器設(shè)備的搬進(jìn)及其有關(guān)的機器設(shè)備、管道的維護(hù)保養(yǎng)管理方法，應(yīng)保證不可將粒子、微生物菌種帶到凈化室。
2.2實際操作管理方法技術(shù)性，對清潔房間內(nèi)工作人員用潔凈服的制做、衣著和清理；實際操作工作人員的挪動和姿勢；房間內(nèi)機器設(shè)備及家裝材料的挑選和清理、滅茵等，盡量地降低、避免清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育等。
2.3嚴(yán)苛各種機器設(shè)備、設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理方法，制訂相對應(yīng)的安全操作規(guī)程，確保各種機器設(shè)備、設(shè)備按要求一切正常運行，包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件、各種水汽電系統(tǒng)軟件、生產(chǎn)制造工藝技術(shù)和安全工器具(夾具工裝)等。以保證 商品生產(chǎn)工藝流程規(guī)定和氣體潔凈室等級。
2.4清理、殺菌管理方法，對清潔房間內(nèi)的各種機器設(shè)備、設(shè)備的清理、滅茵及其方式 、周期時間和查驗作確立的要求，避免、捎除清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育。
2.5凈化室自然環(huán)境操縱的內(nèi)容包含：空氣過濾、清潔工程建筑、與商品直接接觸的水或汽體或化工品和生產(chǎn)線設(shè)備、安全工器具等的空氣污染物操縱及其微震動、噪音、靜電感應(yīng)的操縱、避免等。

3．0 應(yīng)用領(lǐng)域 

半導(dǎo)體公司全部清潔廠區(qū)及清潔輔助間(包含工作人員凈化處理專室、原材料凈化處理專室和有關(guān)日常生活專室等)、生產(chǎn)車間內(nèi)工業(yè)園區(qū)(包含一部分辦公室、值勤、管理方法和休息室等)和未來新創(chuàng)建、改造、改建的凈化車間以及輔助用地。

4．0 專業(yè)術(shù)語

清潔廠區(qū)  是凈化車間的關(guān)鍵一部分，對清潔等級有明文規(guī)定的地區(qū)。
清潔輔助間  是凈化車間不能缺乏的必不可少屋子。清潔輔助間對凈化車間的平面圖密切相關(guān)，對凈化車間的修建產(chǎn)生危害和建成投產(chǎn)后能不能達(dá)到商品生產(chǎn)制造的必須及其能不能靠譜地避免生產(chǎn)過程的環(huán)境污染或交叉式環(huán)境污染尤為重要。
工業(yè)園區(qū)      是 凈化車間內(nèi)的商品生產(chǎn)過程的企業(yè)生產(chǎn)管理、技術(shù)水平的管理用地和必需的實際操作工作人員的歇息、褔?yán)玫亍?
機器設(shè)備區(qū)      即空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件、公共動力裝置等用地，是凈化車間的關(guān)鍵構(gòu)成部分。

5．0 管理流程

5．1 凈化車間凈化室工程施工管理制度

5．1．1 情況
5．1．1．1 半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)務(wù)必在清潔的自然環(huán)境中開展，在施工現(xiàn)場務(wù)必遵照領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。本文檔列舉了這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功，當(dāng)場的每一位工作人員都務(wù)必遵循。
5．1．1．2 工程圖紙上針對工程施工的清潔基本建設(shè)議案將被申請強制執(zhí)行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業(yè)廠房內(nèi)的地區(qū)。
5．1．1．3 凈化室工程施工管理制度現(xiàn)階段關(guān)鍵對于一期主工業(yè)廠房內(nèi)的部分更新改造和改建，中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規(guī)章制度要求的標(biāo)準(zhǔn)開展管理方法。

5．1．2 義務(wù)與責(zé)任
5．1．2．1 全部承包單位有義務(wù)保證 她們的職工都掌握這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程，而且在她們疏忽遵循或違背時給與學(xué)習(xí)培訓(xùn)和訓(xùn)煉。被分派到清潔基本建設(shè)地區(qū)的每名職工有責(zé)任和義務(wù)了解并遵循清潔基本建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。
5．1．2．2 承包單位承擔(dān)實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設(shè)地區(qū)開展查驗，并填好查驗明細(xì)。承包單位承擔(dān)出示凈化室所需物件，比如：腳套，純棉毛巾，軟墊和工作服。他也承擔(dān)出示每日實行清潔標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員和機器設(shè)備。
5．1．2．3 承包單位修建地區(qū)通道并對其開展管理方法。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區(qū)工作中的工作人員開展學(xué)習(xí)培訓(xùn)，并維護(hù)保養(yǎng)被容許在這里地區(qū)工作中的工作人員真實身份評定和管理方法。
5．1．2．4 逐漸環(huán)節(jié)，承包單位應(yīng)在每一個入口分配工作人員（除非是半導(dǎo)體公司在該入口分配有工作人員）以保證 本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的實行。  
5．1．2．5反復(fù)違背標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的經(jīng)銷商將被開除。

5．1．3 議案實施方案
凈化室議案分成三一部分，每一部分相匹配工程施工的一個全過程。工程施工貼近竣工環(huán)節(jié)，不允許從外邊或清潔地區(qū)的工程施工場所帶到臟污。

5．1．3．1第一部分
 第一部分關(guān)鍵對于直至關(guān)鍵工程施工進(jìn)行后。包含房頂，覆層，門和窗子。全部職工務(wù)必從工程圖紙上標(biāo)出的安全通道出入施工工地。每一個通道將會出現(xiàn)清理店。全部職工進(jìn)到務(wù)必維持鞋整潔。不允許穿獨特的服飾，職工的衣服褲子應(yīng)當(dāng)維持適度的整潔。當(dāng)場安全性標(biāo)準(zhǔn)務(wù)必時刻遵循。
 全部機器設(shè)備和原材料務(wù)必從一個通道進(jìn)到施工工地，而且維持整潔，不允許有殘片掉下。
 施工工地內(nèi)不允許進(jìn)食，抽煙，飲酒。
 每個班完畢時，務(wù)必清走全部廢棄物和廢品?？偠灾?，全部施工工地每日務(wù)必維持整潔。

5．1．3．2第二一部分
 第二一部分關(guān)鍵對于直至gridline B西面清潔地區(qū)的內(nèi)外墻進(jìn)行。這時，只容許承包單位聘請的職工在清潔地區(qū)。別的經(jīng)銷商假如要進(jìn)到清潔地區(qū)，務(wù)必提早向承包單位提交申請，獲得容許后才可進(jìn)到。職工、機器設(shè)備和原材料的通道是歷經(jīng)威世半導(dǎo)體材料(西安市)有限責(zé)任公司管理者愿意的。
 gridlines 1和2中間的通往制成品庫房的內(nèi)門。
 gridlines 15和16中間的通往原材料庫房的內(nèi)門。
 其他通道務(wù)必歷經(jīng)凈化工程承包單位的書面形式準(zhǔn)許。2個通道邊上可能為很可能導(dǎo)致環(huán)境污染的原材料提前準(zhǔn)備或解包預(yù)埋地區(qū)。進(jìn)入清潔地區(qū)以前，原材料和機器設(shè)備不允許有臟污或由掉下，而且應(yīng)當(dāng)用整潔的干抹布擦洗整潔。
 一切很有可能會導(dǎo)致環(huán)境污染的主題活動務(wù)必務(wù)必提早歷經(jīng)清潔工程承包商的準(zhǔn)許。這包含打磨砂紙打磨拋光，碾，開掘，演習(xí)，電焊焊接，激光切割和一切自來水或自噴工作中。承包單位要用一切很有可能的方式 防止環(huán)境污染。
 裝上的木地板務(wù)必用PVC板包裝維護(hù)。
 第一部分提及的必需的衣服褲子、腳套也是務(wù)必的。
 第二一部分議案實行期內(nèi)，清潔地區(qū)務(wù)必每日除塵。

5．1．3．3 第三一部分
 第三一部分關(guān)鍵對于直至生產(chǎn)線所有完工。汽體鼓風(fēng)機電機將不斷運作以維護(hù)保養(yǎng)屋子的工作壓力規(guī)定。
 進(jìn)到的職工穿鞋子套和工作服裝。
 全部進(jìn)到清潔地區(qū)的原材料，專用工具和機器設(shè)備要用IPA和水的化合物擦洗。
 在第三一部分議案實行期內(nèi)，清潔地區(qū)每日得用有過濾系統(tǒng)的洗塵機器設(shè)備除塵。

5．1．4 清潔安裝
 務(wù)必采用清潔對策維持安裝清潔。
 各種構(gòu)件如節(jié)令閘，外擴散體在進(jìn)到施工工地時要清潔而且拆下來包裝。內(nèi)部表層應(yīng)當(dāng)用IPA和水的化合物擦洗。
 清潔安裝全過程中，務(wù)必高度關(guān)注所采用的清潔對策的靠譜水平，針對防護(hù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)備一定要作到及時處理、馬上改正。

5．1．5 最終清潔
 清潔地區(qū)的全部安裝進(jìn)行后，要開展最終清潔。清潔要用IPA和水的化合物擦洗。先清潔吊頂天花板，隨后是墻面，墻面應(yīng)從上向下，最終是路面。
 最終清潔進(jìn)行后，gridline B東邊根據(jù)的地區(qū)將是唯一進(jìn)到凈化室的安全通道。之前的原材料制成品庫房通道將被維護(hù)。
 最終清潔進(jìn)行后，一切進(jìn)到的人都務(wù)必根據(jù)威世半導(dǎo)體材料(西安市)有限責(zé)任公司當(dāng)場主管的準(zhǔn)許。

5．1．6機器設(shè)備、物件進(jìn)到凈化室要求

5．2 凈化車間潔凈度等級按時檢驗規(guī)章制度/精確測量規(guī)范
5.2.1為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達(dá)到加工工藝規(guī)定，務(wù)必按時對清潔房間內(nèi)的潔凈度等級開展檢驗。
5.2.2檢驗檢測設(shè)備：激光器顆粒記數(shù)器
5.2.3檢測周期時間：每星期一上午、中午對各清潔區(qū)域開展一次檢測
5.2.4檢測標(biāo)準(zhǔn)：靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈度檢測
5.2.5數(shù)據(jù)信息搜集整理：將每一次檢測的結(jié)果鍵入中控室的電腦上中存儲，并在每一個季末（或下季度初）給各單位發(fā)該一季度的潔凈度紀(jì)錄數(shù)據(jù)圖表電子版通告給各單位。
5.2.6各清潔區(qū)域清潔級別標(biāo)準(zhǔn)：依照《半導(dǎo)體公司能源管理體系標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定實行。
區(qū)域、系統(tǒng)軟件名字 清潔級別標(biāo)準(zhǔn) 等同于ISO級別 等效于GB級別
K-1系統(tǒng) 片區(qū)區(qū)域
靜態(tài)數(shù)據(jù)一萬級   
K-1系統(tǒng)更新改造前為靜態(tài)數(shù)據(jù)十萬級   CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系統(tǒng) 包裹區(qū)域 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系統(tǒng) 搪錫區(qū)域 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系統(tǒng) 檢測區(qū)域 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系統(tǒng) 電鍍工藝區(qū)域 靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級   CLASS 8．3 CLASS 8．3
目前別的空調(diào)機組 舒適性空調(diào)系統(tǒng)軟件，無清潔規(guī)定   Not Applicable Not Applicable 

5.2.7凈化室用空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件及機器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理方法與相對應(yīng)的安全操作規(guī)程、檢修規(guī)章制度等（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件和凈化室有關(guān)的公共動力裝置的機器設(shè)備、管道等管理方法維護(hù)保養(yǎng)，如，空氣過濾網(wǎng)、空調(diào)、部分油煙凈化器、制冷機組及離心水泵、反滲透設(shè)備、變電設(shè)備、安全性警報設(shè)備等）實行威世半導(dǎo)體材料(西安市)有限責(zé)任公司廠務(wù)部有關(guān)SOP文檔。

5.2.8參照文檔
 FSD-SOP-01   《供電操作指導(dǎo)書及規(guī)范制度》
 FSD-SOP-4-1  《AHU系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-2  《洗氣塔操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-3  《鍋爐操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-4-4  《制冷機操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-06   《廠務(wù)部安全操作規(guī)程》
 FSD-SOP-07   《設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)流程》
 FSD-SOP-08   《消防系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》
 FSD-SOP-12   《廠務(wù)部運行管理制度》
 FSD-SOP-13   《市政動力能源中斷緊急應(yīng)變計劃》
 FSD-SOP-20   《廠務(wù)核心機組應(yīng)急切換操作指導(dǎo)書》
 ATD1210C    《能源管理體系標(biāo)準(zhǔn)》
 JVP1301C    《公共設(shè)施管理規(guī)定》

5．3 凈化室工作人員管理方案
5．3．1 凈化室的員工管理包含：制訂職業(yè)管理者的崗位職責(zé)、凈化室工作人員的準(zhǔn)入條件規(guī)章制度、人員管理文化教育要求、進(jìn)到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理方法和撤出管理方案等。

5．3．2 工作人員凈化處理與進(jìn)到
5.3.2.1在凈化車間內(nèi)諸多的污染物中，人是關(guān)鍵污染物之一，尤其是工作員在清潔自然環(huán)境中的主題活動，會顯著地提升清潔自然環(huán)境的環(huán)境污染水平。
5.3.2.2針對高級別清潔區(qū)域，應(yīng)嚴(yán)控進(jìn)到工作人員總數(shù)，并標(biāo)準(zhǔn)開展二次換衣。
5.3.2.3要得到工作環(huán)境所必須的氣體潔凈度級別或增加空氣過濾網(wǎng)的使用期限，對進(jìn)到凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。
5.3.2.4為維持凈化室氣體潔凈度，應(yīng)盡量避免進(jìn)到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進(jìn)入凈化室的工作人員務(wù)必嚴(yán)苛地按照規(guī)定程序流程開展人身安全凈化處理。
5.3.2.五個人衣服褲子物件所有放進(jìn)特定的木柜里，除掉畫妝，換掉特定的服飾，按氣體潔凈度級別相對應(yīng)的脫衣服次序脫衣服，放到要求的衣櫥內(nèi)。
5.3.2.6進(jìn)到脫衣服室，在更衣凳前將真皮皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放到鞋架內(nèi)，嚴(yán)禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進(jìn)到更衣間。
5.3.2.7若企業(yè)中后期發(fā)展趨勢必須高些清潔級別規(guī)定的清潔區(qū)域（指高過ISO Class7級別）進(jìn)到前，必須設(shè)定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒（先用清潔洗潔劑清洗，再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風(fēng)干）。
5.3.2.8但凡交叉式環(huán)境污染的媒體，要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設(shè)備和高凈化處理包裝制品等。要按照規(guī)定戴手套和護(hù)指。

5．3．3  凈化室工作員注意事項
5.3.3.1進(jìn)到凈化室的工作人員應(yīng)嚴(yán)格遵守人身安全凈化處理規(guī)章制度、線路和程序流程，所有人不可隨便變更。在清潔房間內(nèi)務(wù)必按照規(guī)定著衣、戴帽子、脫鞋。
5.3.3.2進(jìn)到清潔級別一萬級及其高過千級的清潔區(qū)域，務(wù)必最少歷經(jīng)二次換衣?？上葟囊淮胃麻g進(jìn)到，開展更鞋、脫外套、換潔凈服、佩戴口罩、遮陽帽（或清潔臉罩）后，歷經(jīng)過道進(jìn)到二次更衣間，開展二次換衣、更鞋、戴防靜電腕帶、佩戴口罩、戴帽，確定拆換結(jié)束后，進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室開展風(fēng)淋室后，才可以進(jìn)到千級及其高過千級的清潔區(qū)域。
5.3.3.3禁止不通過風(fēng)淋室而立即走旁通閥門進(jìn)到凈化室。旁通閥門只容許工作人員出到清潔間外及其產(chǎn)生緊急狀況時的出入。
5.3.3.3.1不銹鋼風(fēng)淋室應(yīng)用注意事項
A.不銹鋼風(fēng)淋室是工作員進(jìn)到凈化處理區(qū)域前開展人身安全凈化處理的專業(yè)設(shè)備，它能將身體表層吸咐著的浮塵用髙速氣旋吹去，使工作員沒有污染物進(jìn)到凈化處理區(qū)域，并能使凈化處理區(qū)域和非凈化處理區(qū)域具有氣閘功效。
B.不銹鋼風(fēng)淋室設(shè)置和情況：不銹鋼風(fēng)淋室在交付使用前務(wù)必進(jìn)行調(diào)節(jié)和設(shè)置，使之維持全自動風(fēng)淋室情況。
C.不銹鋼風(fēng)淋室應(yīng)用
 使用人不用按一切鍵就可以開關(guān)門進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室內(nèi)，總數(shù)每一次限制三人,把門關(guān)好就可以全自動風(fēng)淋室,風(fēng)淋室時轉(zhuǎn)動人體360度, 等候離心風(fēng)機停止工作之后蜂長鳴，內(nèi)門開門鎖，客戶出不銹鋼風(fēng)淋室。
 按“照明燈具開”鍵就可以開啟房間內(nèi)照明燈具。
 不銹鋼風(fēng)淋室的全智能對所做設(shè)置有記憶力作用,關(guān)掉不銹鋼風(fēng)淋室開關(guān)電源再度開啟開關(guān)電源時不銹鋼風(fēng)淋室處在之前實際操作的最終設(shè)置情況。
 嚴(yán)禁一線使用人對機器設(shè)備的標(biāo)值設(shè)置開展變更，數(shù)據(jù)信息變更務(wù)必由技術(shù)專業(yè)的管理者開展。
 嚴(yán)禁使用人粗暴對不銹鋼風(fēng)淋室的門（紅外線磁力鎖）強制推拉門而毀壞機器設(shè)備。
 風(fēng)淋設(shè)備若因錯誤操作而毀壞，應(yīng)用單位應(yīng)按實體現(xiàn)毀壞緣故，并馬上報障。
一線員工在應(yīng)用全過程中發(fā)覺情況出現(xiàn)異常，應(yīng)該馬上通告主管機構(gòu)開展解決；并停用不銹鋼風(fēng)淋室。

D.不銹鋼風(fēng)淋室一切正常/出現(xiàn)異常情況的定義：
1.不銹鋼風(fēng)淋室一切正常復(fù)位自查：開啟開關(guān)電源實際操作控制面板LED電子數(shù)碼顯示時間照亮，另外電腦上控制板做一次檢測，二門是不是關(guān)掉，帶門開了則等候閉店，假如二門都關(guān)掉則全自動進(jìn)到一切正常運行狀態(tài)。

2.一切正常運行狀態(tài)
 假如系統(tǒng)軟件處在不運行狀態(tài)：按電源總開關(guān)鍵使系統(tǒng)軟件處在運行狀態(tài)，LED被照亮。
 依照明開/關(guān)則不銹鋼風(fēng)淋室燈被照亮或滅掉，工作人員可依據(jù)必須循環(huán)系統(tǒng)挑選。
 系統(tǒng)軟件處在一切正常等候運行狀態(tài)時，不銹鋼風(fēng)淋室的雙扇門處在關(guān)掉未鎖情況。

3.出現(xiàn)異常情況：噴頭發(fā)生很弱風(fēng)力、門不可以一切正常關(guān)掉或打開、開關(guān)電源實際操作控制面板無表明。

5.3.3.3 .2 出入不銹鋼風(fēng)淋室步驟原理：
 進(jìn)到：當(dāng)內(nèi)門(紅外線磁力鎖)被開啟時，內(nèi)門（紅外線磁力鎖）全自動鎖閉。假如客戶進(jìn)到不銹鋼風(fēng)淋室，歷經(jīng)紅外感應(yīng)器，離心風(fēng)機將全自動工作中一定時間，這時內(nèi)外門均鎖閉，離心風(fēng)機停止工作之后蜂長鳴，內(nèi)門開門鎖，客戶出不銹鋼風(fēng)淋室。開關(guān)門、閉店全部全過程完畢。
 撤出：當(dāng)外門被開啟時內(nèi)門全自動鎖閉，客戶閉店后，則內(nèi)外門均開門鎖，客戶能夠從任意門出不銹鋼風(fēng)淋室。開關(guān)門、閉店，全部全過程完畢。
5.3.3.4工作工作人員在清潔房間內(nèi)工作中時，姿勢要輕。嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程，不允許蹦跳、玩耍及叫喊，未作多余的姿勢，未作高發(fā)塵和大幅的姿勢。
5.3.3.5工作工作人員在清潔房間內(nèi)工作中時，盡量減少工作人員集聚狀況。若某些工序無獨特合作要求，別的工序職工嚴(yán)禁集聚、看熱鬧與自身工序工作中無關(guān)緊要的別的工序一切正常工作中事情。
5.3.3.6為不影響氣旋，在工區(qū)上下游側(cè)不可放物件，生產(chǎn)制造實際操作一般應(yīng)在凈化工作臺或氣旋的上下游開展。
5.3.3.7不允許將與生產(chǎn)制造不相干和非常容易粉塵的物件帶到凈化室，禁止在清潔房間內(nèi)抽煙、飲食搭配和開展非生產(chǎn)性主題活動。
5.3.3.8身患下列幾類病癥的職工是不適合進(jìn)到凈化室的：呼吸道病癥（如比較嚴(yán)重的咳嗽有痰等，病人除開會散播病原菌、病毒感染外，還會繼續(xù)因干咳而造成很多的污穢顆粒物滲入清潔的空氣中）、皮膚疾?。ㄈ顼@著蛻皮、掉白屑的過敏性皮炎等）；對于以上情況若采用了靠譜的附加人凈對策時是能夠進(jìn)到凈化室的。

5．3．4 凈化室工作人員撤出時要留意的事宜
5.3.4.1為了更好地避免再度進(jìn)到和來回工作對凈化室導(dǎo)致交叉式環(huán)境污染按照規(guī)定的次序撤出凈化室。
5.3.4.2凈化室工作人員在工作半途和工作結(jié)束在撤出到換衣區(qū)以前不可脫下潔凈服，進(jìn)到更衣間先脫凈化室用鞋，放到要求的場地。
5.3.4.3必需時把鞋脫掉前洗手消毒，把鞋脫掉后再摘下遮陽帽，放到要求處。
5.3.4.4脫潔凈服時不必碰觸木地板、餐桌和別的物件，針對潔凈服一般自下高于一切脫（自下高于一切就是指先把鞋脫掉、再脫衣服、再除去遮陽帽和防護(hù)口罩），用衣服架掛在要求的住所。
5.3.4.5脫下潔凈服之后，如要再進(jìn)凈化室時，仍需按進(jìn)到凈化室的次序開展人凈。
5.3.4.6撤出10K以及下列級別凈化室時不用歷經(jīng)氣體吹淋。立即走旁通閥門撤出10K凈化室是容許的。
5.3.4.7不可以穿潔凈服尿尿及進(jìn)到機電設(shè)備間、庫房等非清潔區(qū)域。

5．4．潔凈服管理方案 
潔凈服的管理方法包含：潔凈服購置和制做(含原材料挑選)、潔凈服應(yīng)用管理方法、潔凈服的清理要求等。 
5．4．1 潔凈服購置和制做 
5.4.1.1 潔凈服務(wù)必采用由技術(shù)專業(yè)生產(chǎn)廠家制做的合格產(chǎn)品。 
5.4.1.2 潔凈服務(wù)必達(dá)到加工工藝對清潔/抗靜電等的所有規(guī)定。  

5．4．2 潔凈服應(yīng)用管理方法基本準(zhǔn)則 
5.4.2.1 工作人員進(jìn)到凈化室最先由本人潔凈服專用型柜或收納整理處取下潔凈服，若潔凈服并未開封市，需細(xì)心割開包裝取出服飾，不沾帶包裝料碎渣。 
5.4.2.2 穿衣服時，不必使衣服褲子碰觸木地板、餐桌、桌椅等物件，不必臟污衣袖和褲腳衣擺，姿態(tài)要維持站立，按從上到下次序穿衣服［戴帽子→穿衣（分體潔凈服先上衣后牛仔褲子）→穿鞋］，必需時需設(shè)定專用的穿衣臺。 
5.4.2.3 戴兜帽和遮陽帽時要把秀發(fā)所有遮擋住，頭頂部牢牢地地包在兜帽內(nèi)。 
5.4.2.4 若不穿清潔鞋而采用替代腳套的臨時性對策，穿鞋套時要把褲腳衣擺牢牢地地裹在腳套內(nèi)。 
5.4.2.5 在沒有違背潔服應(yīng)用管理方法基本準(zhǔn)則前提條件下，生產(chǎn)流水線可優(yōu)化出好用的和可執(zhí)行性強的實際要求。  

5．4．3 潔凈服的清理要求 
5.4.3.1 潔凈服的清理若采用外委方式，清潔公司應(yīng)取西天取經(jīng)調(diào)查達(dá)標(biāo)的技術(shù)專業(yè)清潔公司。 
5.4.3.2 潔凈服的清潔液不可對潔凈服的特性有影響；潔凈服的布料清理后不允許有起絲、掉渣。 
5.4.3.3 清理后的衣服抗靜電紡織物特性不可被毀壞，若被毀壞，應(yīng)立即損毀或退級應(yīng)用，退級應(yīng)用應(yīng)該有顯著標(biāo)識且禁止在有抗靜電規(guī)定的地區(qū)內(nèi)應(yīng)用。 
5.4.3.4 清理進(jìn)行的潔凈服應(yīng)開展靠譜包裝后運輸及儲放，防止與外部的交叉式環(huán)境污染。  

5．5 凈化室貨運物流/清潔房間內(nèi)機器設(shè)備及安全工器具管理方案 
5．5．1 物流信息管理包含：進(jìn)到凈化室的原材料準(zhǔn)入條件規(guī)章制度，原材料的清除和清理要求、廢料管理方案等。  

5.5.1.1 為避免空氣污染物帶到凈化室(區(qū))，全部送進(jìn)凈化室(區(qū))的各種各樣原材料、原輔材料、機器設(shè)備、安全工器具包裝制品等均需按要求開展外包裝盒清除、吹凈，合理地消除外表層的粒子。 
5.5.1.2 在凈化車間內(nèi)依據(jù)氣體潔凈室等級、商品生產(chǎn)制造的規(guī)定設(shè)定必需的原材料凈化處理設(shè)備，包含外包裝盒清除室，氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)等。  (參照凈化室：http://www.aozoc.com/)
5.5.1.3 原材料在外包裝盒清除室拆卸外包裝盒、裝進(jìn)清潔器皿內(nèi)或當(dāng)外包裝盒不可以拆卸時，對其擦洗消除灰塵或選用別的消除空氣污染物的方法對機器設(shè)備、器皿專用工具開展清理解決，并使清除前后左右的原材料以一定標(biāo)示給予差別。 
5.5.1.4 清潔地區(qū)的專用資金周轉(zhuǎn)小轎車、資金周轉(zhuǎn)盒務(wù)必有清楚的標(biāo)示，和非清潔資金周轉(zhuǎn)小轎車有顯著的區(qū)別標(biāo)志，嚴(yán)禁互用。 
5.5.1.5 對清除外包裝盒后的原材料應(yīng)歷經(jīng)氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)才可以進(jìn)到凈化室(區(qū))，氣閘室或不銹鋼傳遞窗(柜)的功效與工作人員凈化處理用氣閘室類似，用以維持凈化室的氣體潔凈度等級和清潔房間內(nèi)務(wù)必的工作壓力。 
5.5.1.6 不銹鋼傳遞窗(柜)應(yīng)達(dá)到以下規(guī)定。兩邊門邊設(shè)窗，能看到內(nèi)部和兩邊；保證 兩邊門不可以另外打開（可根據(jù)兩邊門邊設(shè)連鎖加盟設(shè)備或根據(jù)嚴(yán)格要求來完成）；不銹鋼傳遞窗內(nèi)規(guī)格可融入運送原材料的尺寸及凈重，密封性好并必須的抗壓強度；依據(jù)主要用途的不一樣可設(shè)定室內(nèi)燈、除菌設(shè)備。  

5．5．2 清潔房間內(nèi)機器設(shè)備及安全工器具管理方法包含：機器設(shè)備及安全工器具的搬進(jìn)管理方法，清理和清理要求，機器設(shè)備及安全工器具的撤出管理方法等。 
5.5.2.1 工藝技術(shù)進(jìn)到清潔地區(qū)前，應(yīng)事前確立運送線路，消除機器設(shè)備運送安全通道上的阻礙物，包含對主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板的拆裝，并做好隔離防護(hù)對策，盡量防止毀壞清潔地區(qū)的自然環(huán)境；若機器設(shè)備搬進(jìn)很有可能對生產(chǎn)制造導(dǎo)致環(huán)境污染，應(yīng)提早分配部分停工相互配合機器設(shè)備搬進(jìn)。 
5.5.2.2 隔離防護(hù)的設(shè)備務(wù)必保證 嚴(yán)實靠譜，可以合理操縱空氣污染物的外擴散，并留意監(jiān)管其完好無損情況，若有損壞，立即修復(fù)使嚴(yán)實完好無損。 
5.5.2.3 機器設(shè)備進(jìn)到清潔地區(qū)前，務(wù)必先在緩沖區(qū)域（或緩沖地帶）開展完全的清理和擦洗。 
5.5.2.4 在開展機器設(shè)備、原材料運送的全過程中，要嚴(yán)苛開展清潔操縱，機器設(shè)備進(jìn)生產(chǎn)車間前留意在清潔緩沖區(qū)域（或臨時性緩存過道）的有關(guān)清理工作中。特別是在留意不可穿潔凈服經(jīng)機器設(shè)備、原材料安全通道門到室外，這般歷經(jīng)交叉式環(huán)境污染過的衣服褲子、腳套、遮陽帽再度無一切對策又進(jìn)到凈化室，會導(dǎo)致凈化室交叉式環(huán)境污染。 
5.5.2.5 在機器設(shè)備、原材料運送期內(nèi)應(yīng)盡量防止妥協(xié)接納很有可能發(fā)生的自然環(huán)境振蕩，對工作人員、機器設(shè)備、原材料凈化處理管控應(yīng)嚴(yán)苛開展操縱。一定要嚴(yán)控空氣污染物外擴散，尤其是交叉式環(huán)境污染的狀況，不然會出現(xiàn)高效送風(fēng)口（HEPA）的環(huán)境污染損害，及其附加的清潔清除花費。 
5.5.2.6 如下圖所顯示，在凈化室準(zhǔn)許入口設(shè)定清潔緩存/管控間，一切進(jìn)到清潔房間內(nèi)的物件務(wù)必歷經(jīng)緩沖間。 
5.5.2.7 物件進(jìn)到凈化室的步驟。 
戶外預(yù)清理→傳到緩沖區(qū)域→緩沖區(qū)域內(nèi)最后清理→傳到清潔房間內(nèi) 
 最先，戶外、緩沖間（或臨時性緩存過道）、清潔房間內(nèi)都有一支搬運組（共三組）候命，這三組工作人員依據(jù)分別的自然環(huán)境身穿不一樣的服飾：戶外身穿一般工作服裝，緩沖間內(nèi)身穿清理的服飾并配戴腳套，清潔房間內(nèi)身穿詳細(xì)的潔凈服，含有防護(hù)口罩和膠手套等，這三組人互不可以進(jìn)到其他人的工作中地區(qū)。 
 當(dāng)有機器設(shè)備、物件必須運送時，最先戶外組工作人員對物件開展預(yù)清理，隨后開啟緩沖間室兩側(cè)的門（或機器設(shè)備預(yù)埋出入外門），將物件傳到緩沖區(qū)域。務(wù)必確保，在開啟緩沖間戶外邊門（或機器設(shè)備預(yù)埋出入外門）時，凈化室側(cè)的門處在關(guān)掉情況。 
 緩沖區(qū)域（或臨時性緩存過道）的那組工作人員對物件開展最后的清理，并且用整潔的清潔布檢驗達(dá)標(biāo)后，開啟凈化室側(cè)的門，將物件傳到清潔房間內(nèi)。這般才標(biāo)準(zhǔn)的完成了物件傳輸和清理的全過程。 
5.5.2.8 機器設(shè)備搬進(jìn)進(jìn)行并到位后，立即清理機器設(shè)備地區(qū)的臟物、拆卸隔離防護(hù)對策、修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板，并對機器設(shè)備搬進(jìn)地區(qū)及周邊地區(qū)開展完全的清理和清理，使達(dá)到清潔。 
5.5.2.9 拆卸隔離防護(hù)對策應(yīng)留意操縱防止交叉式環(huán)境污染，修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板應(yīng)確保排架結(jié)構(gòu)的密封性，密封性裝飾條要確保合理密封性，膠密縫應(yīng)修復(fù)嚴(yán)實整平。 
5.5.2.10 中小型安全工器具搬進(jìn)管理方法必須達(dá)到物流信息管理規(guī)定。 
5.5.2.11 大中型安全工器具搬進(jìn)管理方法可參考工藝技術(shù)搬進(jìn)管理方法規(guī)定實行。 
5.5.2.12 機器設(shè)備自身的清理和清理由生產(chǎn)制造單位及維護(hù)保養(yǎng)單位開展要求的定編及實行，但其穩(wěn)定性務(wù)必達(dá)到清潔規(guī)定。 
5.5.2.13 機器設(shè)備和大中型安全工器具的撤出與搬進(jìn)管理方法相近，也應(yīng)事前確立運送線路，消除機器設(shè)備運送安全通道上的阻礙物，包含對主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板的拆裝，并做好隔離防護(hù)對策，盡量防止毀壞清潔地區(qū)的自然環(huán)境；若機器設(shè)備撤出很有可能對生產(chǎn)制造導(dǎo)致環(huán)境污染，應(yīng)提早分配部分停工相互配合機器設(shè)備撤出。 
5.5.2.14 機器設(shè)備和大中型安全工器具撤出后，立即清理機器設(shè)備地區(qū)的臟物、拆卸臨時性隔離防護(hù)對策、修復(fù)主題活動清潔圍護(hù)結(jié)構(gòu)板，并對機器設(shè)備撤出地區(qū)及周邊地區(qū)開展完全的清理和清理，使達(dá)到清潔。  

5．6  凈化室清理、清理和殺菌管理方案 
5．6．1凈化車間及凈化車間過道清理操作流程見下表： 

5．6．1-（A）凈化車間清理操作流程 
專用工具 吸塵機、抗靜電塵推、長塑料軟管、毛刷、簸箕、 
抗靜電塵推碎布、滑軌、人字梯、抗靜電去塵布 
耗品抗靜電去塵劑、抗靜電清潔液。 
清理位置 

1、 生產(chǎn)車間墻； 
2、 窗門、鐵皮文件柜、路面 

具體步驟方式  
1、  用滑軌相互配合去塵布，由上而下，開展墻面清理，對環(huán)境污染偏重的部分用掉塵布沾取小量純抗靜電清潔液擦 ，用掉塵布揩拭整潔。 
2、  用滑軌不方便的部分，運用人字梯按跟上面一樣的操作步驟清理墻壁（如木柜的上邊）。 
3、  墻壁清理結(jié)束后，用吸塵機加塑料軟管汲取工廠地面的煙塵，吸塵機應(yīng)置生產(chǎn)車間的過道上，塑料軟管進(jìn)生產(chǎn)車間，除塵扒頭應(yīng)從左往右，先遠(yuǎn)后近的地區(qū)開展除塵，除塵的地區(qū)不可以有間距，以防漏吸（脫鞋套）。 
4、  除塵結(jié)束后，用塵推依照除塵的操作步驟開展，部分環(huán)境污染偏重的地區(qū)運用去塵布沾取小量純抗靜電去塵劑，用濕去塵布清理，隨后用干抗靜電去塵布揩干。 
5、  窗門里側(cè)、木柜等配件的清理用掉塵布相互配合抗靜電清潔液先弄之后開展清除。 
6、  梳理專用工具，按時將吸塵機塵盒拆換（地址：生產(chǎn)車間外）。 
7、  生產(chǎn)車間內(nèi)須收購 的廢棄物置放在抗靜電車?yán)?，從生產(chǎn)車間北門運到制成品庫大門口（通告外場清潔員策應(yīng)），并歸類集中化至制成品庫位。 
8、  生產(chǎn)車間廢棄物實際清除程序流程見后附文檔。 
備注名稱 之上常用專用工具及耗品均應(yīng)合乎威世企業(yè)規(guī)定要求。 


5．6．1-（B）凈化車間過道操作流程 
專用工具 抗靜電塵推、擦地機、吸水器、長塑料軟管、掃把、人字梯、抗靜電去塵布、抗靜電塵推碎布 
耗品 抗靜電蠟、抗靜電清潔液、抗靜電去塵劑 
清理 位置 1、墻壁；2、窗門；3、消防設(shè)備；4、路面 
具體步驟方式  
1、A)用滑軌相互配合去塵布，由上而下，由左向右，開展墻面清理，對環(huán)境污染偏重的部分用純抗靜電清潔液，用掉塵布揩拭整潔。 
   B)用滑軌不方便的部分，運用人字梯按跟上面一樣的操作步驟清理墻壁；針對熟石膏墻墻面用吸塵機由上而下汲取塵土。 
2、用掉潮塵布相互配合抗靜電清潔液先弄之后，由左至右開展清除。 
3、用無塵擦拭布由上方、兩側(cè)及里面所有擦洗整潔，梳理好安防設(shè)備并查驗有沒有毀壞，完好無損后把手關(guān)掉； 
4、用抗靜電塵推由一側(cè)，先后推塵清理。 
拋光打蠟程序流程 用上蠟水優(yōu)先起蠟，用吸塵吸水機吸凈殘蠟，用清理拖把脫干后拖凈路面，等路面完全吹干，再打靜電地板蠟（具體做法和流程詳細(xì)5．6．2條）。 
備注名稱 之上常用專用工具及耗品均應(yīng)合乎企業(yè)規(guī)定要求。已經(jīng)清理的地區(qū)應(yīng)設(shè)定標(biāo)示牌，且清理工作中不可與威世職工的一切正常工作中矛盾。 

5．6．2  路面拋光打蠟的方式 和程序流程 
5．6．2．1 必須提前準(zhǔn)備的設(shè)備和專用工具、清潔液： 
 洗地車；吸塵機；研磨拋光機；大規(guī)模工作需配置洗地機  
   拖布、蠟拖、拖布扭干器、水推
   除蠟劑、中性化多用途清潔液
 除蠟墊（灰黑色）、清理墊（鮮紅色、乳白色）、打磨拋光墊（乳白色） 
5．6．2．2 假如路面早已打了蠟，且蠟面已無光澤或是早已損壞發(fā)生斑駁陸離和掉下來，在拋光打蠟前就必須對凈化室路面先開展除蠟。 
除蠟的方式 及步驟以下： 
用拖布將除蠟劑勻稱涂在蠟的表層，功效五分鐘后見到奶白色泡沫塑料愈來愈多，就可以用配有除蠟墊的洗地車清理路面 → 用洗地車清理路面直到看不見蠟層，假如蠟層偏厚，一次很有可能除不干凈，必須再用除蠟劑除第二次，用吸塵吸水機將水吸走 → 用拖布和冷水將路面拖試整潔，一定要多拖拭幾次，保證 路面不會再帶有除蠟劑的殘余液，以防危害再次拋光打蠟的實際效果 
5．6．2．3 假如路面沒有打了蠟，可立即用兌有多用途清潔液的水溶液（按1：40的占比加上），用配有洗地氈的洗地車清理路面，隨后將路面拖拭整潔，待路面徹底干躁后逐漸拋光打蠟。 
5．6．2．4 拋光打蠟的程序流程 
提前準(zhǔn)備： 
將適當(dāng)?shù)念I(lǐng)地蠟倒進(jìn)拖布扭干器中，將蠟拖自來水潮濕并扭干。 → 依照由邊向內(nèi)由里到外的標(biāo)準(zhǔn)，讓蠟拖按∞形運作，留意蠟拖每一次沾蠟不能過多也不能太少，勻稱擦抹，不必漏抹。 → 三十分鐘后確定安全性干躁后再按一樣的作法打面蠟2遍。干躁的規(guī)范：不粘手，不粘腳。 → 徹底干躁后可進(jìn)到打磨拋光的程序流程：應(yīng)挑選轉(zhuǎn)速比1500轉(zhuǎn)之上的研磨拋光機和20#乳白色打磨拋光墊開展打磨拋光，打磨拋光時要漸漸地運作，打磨拋光后這時的色度沒有做到最亮，24小時后再做一次打磨拋光其色度可做到90。 

5．6．3  凈化車間垃圾清運程序流程 
5．6．3．1 保潔服務(wù)工作人員在運輸清潔區(qū)域內(nèi)的廢棄物前，通告保衛(wèi)人員，在保衛(wèi)人員的監(jiān)管下執(zhí)行將清潔區(qū)域內(nèi)的廢棄物運輸?shù)膶嶋H操作。 
5．6．3．2 生產(chǎn)車間內(nèi)的清潔員從生產(chǎn)車間內(nèi)把配有廢棄物的垃圾箱置放專用型抗靜電車，從生產(chǎn)車間北門運到原料庫大門口。 
5．6．3．3 將廢棄物亂倒至原料庫大門口的臨時性垃圾池的垃圾箱內(nèi)。 
5．6．3．4 通告外場清潔員策應(yīng)。（注：每天早上8點清倒一次，中午4點清倒一次） 
5．6．3．5 外場清潔員將生產(chǎn)車間內(nèi)的垃圾箱拉出原料庫位邊門，將垃圾清倒進(jìn)已準(zhǔn)備好的資金周轉(zhuǎn)垃圾箱內(nèi)。 
5．6．3．6 生產(chǎn)車間內(nèi)的垃圾箱再次進(jìn)到生產(chǎn)車間內(nèi)，務(wù)必清理整潔后（包含垃圾箱底端車轱轆），再放入特定部位。 
5．6．3．7 外場清潔員把資金周轉(zhuǎn)垃圾箱運到生產(chǎn)車間外的垃圾池開展清除。 
5．6．3．8 凈化車間垃圾清運常見問題 
 需傾倒垃圾時，原料庫位門與內(nèi)門不可以另外開啟。
 外場工作人員不可以進(jìn)到生產(chǎn)車間，生產(chǎn)車間工作人員不可以擺脫戶外。 
 車輛不可以內(nèi)外穿梭，只有清運貨箱。
5．6．4  凈化室清理、清理和殺菌管理方案參照文檔： 
承擔(dān)清洗服務(wù)的單位，應(yīng)依據(jù)企業(yè)具體情況制訂清洗服務(wù)方案，確立實際的清理內(nèi)容、周期時間、次數(shù)及其相匹配產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。本文檔未作關(guān)鍵點敘述處，可執(zhí)行程序《FSD-SOP-19 清潔服務(wù)內(nèi)容及質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》及《FSD-SOP-21 清潔工作化學(xué)用品管理規(guī)定》規(guī)定。  

5．7 凈化室凈化室安全工作 
凈化室安全工作，早已包含在《FSD-SOP-8-2 消防火警處理規(guī)程》內(nèi)，必須嚴(yán)格遵守。  

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