OLED 元器件是在清潔房間內(nèi)開展生產(chǎn)制造的，潔凈室工程品質(zhì)優(yōu)劣，決策著生產(chǎn)流水線良品率的高矮，從而危害生產(chǎn)成本。

我企業(yè)修建了一個(gè)OLED 試驗(yàn)線潔凈室工程，文中將系統(tǒng)軟件詳細(xì)介紹該潔凈室工程管理方法的關(guān)鍵點(diǎn)。

1 項(xiàng)目概況

該新項(xiàng)目主工業(yè)廠房生產(chǎn)制造地區(qū)為雙層混凝土結(jié)構(gòu)框架剪力墻及門式鋼架構(gòu)造，混泥土平屋面選用軟性高分子材料防水卷材平屋面, 鋼架結(jié)構(gòu)平屋面選用機(jī)械設(shè)備固定不動(dòng)的防水卷材平屋面方法，一層層高4.8 m，二逐層高六.4 m，一層技術(shù)性下隔層與二層廠區(qū)中間的混凝土樓板選用華夫板方法，運(yùn)用華夫板上的打洞達(dá)到雙層中間的送風(fēng)，華夫板上設(shè)定導(dǎo)電率防靜電地板，機(jī)器設(shè)備依據(jù)加工工藝規(guī)定布局在防靜電地板或華夫板上。

2 設(shè)備合理布局

一層關(guān)鍵包含的作用屋子為技術(shù)性下隔層，送風(fēng)夾道，沿下隔層地區(qū)四周布局有過廳、脫鞋區(qū)、一更、化工品供貨、特種氣體供貨、廢水搜集、污水提高站、制冷冷卻循環(huán)水站、純凈水打磨拋光間、真室內(nèi)空間、配電站、原材料儲(chǔ)存間、制成品儲(chǔ)存間等。

二層是大進(jìn)深的加工工藝廠區(qū)，布局生產(chǎn)線設(shè)備。該層與技術(shù)性下隔層中間的構(gòu)造混凝土樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上邊安裝空架防靜電地板，以達(dá)到送風(fēng)的規(guī)定；生產(chǎn)制造設(shè)備層的裝修吊頂安裝離心風(fēng)機(jī)過濾器模塊（FFU），以達(dá)到生產(chǎn)制造層凈化處理規(guī)定。

二層關(guān)鍵凈化處理區(qū)包含的地區(qū)有 PVD/CVD、光刻技術(shù)間、掩膜清理、引入間、RTA、ELA、CVD、基鋼板清理間、小塊激光切割、蒸鍍、片區(qū)、UV 硬底化、基鋼板激光切割間、探頭、列陣檢驗(yàn)間、緩沖間、有車庫、FMM庫、QA、送風(fēng)夾道等，關(guān)鍵凈化處理區(qū)周邊的其他作用屋子包含有潔凈空調(diào)機(jī)房、電氣設(shè)備室、高低壓配電室、檢修間、材料庫等。在關(guān)鍵凈化處理廠區(qū)的兩邊設(shè)計(jì)方案送風(fēng)、管路立井，產(chǎn)生凈化室內(nèi)空氣的循環(huán)系統(tǒng)控制回路。而且在工程建筑的兩側(cè)各設(shè)計(jì)方案好幾部室內(nèi)樓梯，產(chǎn)生各層對(duì)戶外的消防疏散安全通道為達(dá)到凈化處理生產(chǎn)制造的微振規(guī)定，二層的混凝土樓板――華夫板擬選用偏厚的破孔混凝土樓板構(gòu)造，華夫表面刷環(huán)氧樹脂膠建筑涂料，為達(dá)到生產(chǎn)工藝流程的靈便布局并提升 凈化處理總面積的應(yīng)用高效率，生產(chǎn)制造工作人員經(jīng)主通道過廳進(jìn)到脫鞋區(qū)，再進(jìn)到一次換衣，根據(jù)職工專用型室內(nèi)樓梯進(jìn)到二層二次更衣間，再根據(jù)不銹鋼風(fēng)淋室進(jìn)到廠區(qū)。

凈化室空調(diào)機(jī)組由 MAU（新風(fēng)系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件） FFU  干風(fēng)機(jī)盤管一同組成。廠區(qū)裝修吊頂由離心風(fēng)機(jī)過慮模塊（FFU）與金屬材料裝修吊頂架構(gòu)構(gòu)成，F(xiàn)FU 視各生產(chǎn)制造機(jī)器設(shè)備必須之級(jí)別均布，普及率隨生產(chǎn)工藝流程要求而定。新風(fēng)系統(tǒng)由 MAU（新風(fēng)系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件）集中化運(yùn)輸后與房間內(nèi)的循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)混和，經(jīng)FFU 充壓、過慮后送進(jìn)廠區(qū)。生產(chǎn)制造區(qū)域內(nèi)機(jī)器設(shè)備、工作人員、照明燈具、排架結(jié)構(gòu)等冷負(fù)載均由干風(fēng)機(jī)盤管擔(dān)負(fù)。清潔室內(nèi)濕度及正壓力操縱由 MAU 承擔(dān)。MAU 供排風(fēng)量要求約 50000CMH×2 1 臺(tái)，凈化室循環(huán)系統(tǒng)排風(fēng)量約773000 CMH。新風(fēng)系統(tǒng)通道附屬不織布手工過濾網(wǎng)及庫板隔斷制動(dòng)氣室于新風(fēng)系統(tǒng)制冷機(jī)組通道前，增加關(guān)鍵過濾網(wǎng)使用壽命。

在化工品庫、汽體間設(shè)定單獨(dú)的空調(diào)機(jī)組,新風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)解決后送進(jìn)房間內(nèi)，隨后根據(jù)通風(fēng)系統(tǒng)全部排至戶外，氣體不循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)用。

加工工藝通風(fēng)系統(tǒng)：在加工工藝生產(chǎn)過程中會(huì)造成含酸、堿、溶劑、高熔點(diǎn)有機(jī)化學(xué)、危害等有機(jī)廢氣。為維護(hù)生產(chǎn)制造工作人員的身心健康，降低對(duì)辦公環(huán)境及工業(yè)區(qū)周邊氣體的環(huán)境污染，各自設(shè)計(jì)方案了相對(duì)應(yīng)的部分通風(fēng)系統(tǒng)、整屋通風(fēng)系統(tǒng)及有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)軟件。為清除加工工藝廠區(qū)工藝技術(shù)等釋放的發(fā)熱量所設(shè)計(jì)方案的部分通風(fēng)系統(tǒng)、整屋通風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)系統(tǒng)不需解決可立即排進(jìn)空氣。為清除加工工藝廠區(qū)工藝技術(shù)釋放的含酸、堿、溶劑、高熔點(diǎn)有機(jī)化學(xué)、危害等有機(jī)廢氣的部分通風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)須先經(jīng)過有機(jī)廢氣凈化塔等有機(jī)廢氣處理設(shè)備解決，做到我國環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)后才可以排進(jìn)空氣。加工工藝通風(fēng)系統(tǒng)排煙風(fēng)機(jī)排風(fēng)量設(shè)置約 S T R 4 0 0 C M H × 1 1 臺(tái)；G E X - D18000CMH×1 1臺(tái)；EX-W & GEX-H 12300CMH×1臺(tái)，備用機(jī)與 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1臺(tái)；ORG 4 000 CMH×1 1 臺(tái)，全部加工工藝排煙風(fēng)機(jī)均帶軟啟動(dòng)器。

防、排風(fēng)系統(tǒng)：針對(duì)超過300 m2的地面上屋子、長短超過 40 m的疏散走道、長短超過20 m的內(nèi)過道設(shè)定消消火栓系統(tǒng)。以高寬比為50 cm的擋煙垂壁區(qū)劃防煙分區(qū)，較大 防煙分區(qū)的總面積為500 m2。消防排煙風(fēng)機(jī)的排風(fēng)量為 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密閉式屋子設(shè)定機(jī)械設(shè)備排風(fēng)系統(tǒng)時(shí)，另外設(shè)定機(jī)械設(shè)備送風(fēng)系統(tǒng)軟件，補(bǔ)排風(fēng)量為排煙系統(tǒng)量的50%。消防救援窗以及前處理室、消防安全電梯前室或合用前室設(shè)定防排煙系統(tǒng)設(shè)備。

3 清潔級(jí)別規(guī)定

關(guān)鍵凈化處理區(qū) 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助地區(qū) 0.3ìm、ISO 6. 5。其工藝流程環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)見表1 。

4 工程施工關(guān)鍵剖析

4.1 基本建設(shè)全過程務(wù)必遵照凈化室基本建設(shè)四項(xiàng)原則

（1）不帶到。

（2）不造成。

（3）不累積。

（4）迅速除去。

不帶到，便是不向凈化室拉人一切塵土，務(wù)必保證 下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）高效送風(fēng)口與構(gòu)造不造成塵土泄露。

（2）維持凈化室正壓力。

（3）工作人員經(jīng)換衣脫鞋、風(fēng)淋室后才可進(jìn)到凈化室。

（4）原材料與機(jī)器設(shè)備經(jīng)清理后才可進(jìn)到凈化室。不造成，便是沒有凈化室造成一切塵土，務(wù)必保證 下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）工作人員需穿潔凈服。

（2）不應(yīng)用非常容易造成塵土的原材料與機(jī)器設(shè)備。

（3）不開展多余的挪動(dòng)。

（4）不帶到無用具。不累積，便是沒有凈化室累積一切塵土，必

須保證 下列標(biāo)準(zhǔn)：

（1）不使機(jī)器設(shè)備角和四周清理艱難。

（2）凈化室盡可能不曝露通風(fēng)風(fēng)管和管路。

（3）遵循規(guī)范化凈化處理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去清潔房間內(nèi)塵土，必

須保證以下幾個(gè)方面：

（1）提升通氣率。

（2）在挨近造成塵土的地區(qū)設(shè)定氣水分離器。

（3）選用適合的氣旋方式以防止塵土粘在商品上。

4.2 根據(jù)之上標(biāo)準(zhǔn)，凈化室工程施工重點(diǎn)工作

搞好凈化室氣密性阻隔，將凈化室與外部徹底防護(hù)，保證 外部空氣污染物不可以進(jìn)到凈化室范疇，在宣布內(nèi)裝排架結(jié)構(gòu)沒完成前，先做臨時(shí)性防護(hù)設(shè)備。

創(chuàng)建三級(jí)清潔管控，保證 工程施工各環(huán)節(jié)合乎相對(duì)應(yīng)凈化處理管控規(guī)范。

架空地板開孔率測(cè)算及填料、盲板遍布。為確保華夫板送風(fēng)勻稱，從送風(fēng)夾道向另一側(cè)盲板的遍布率下降以均衡氣旋，避免短路故障。

保證 內(nèi)裝排架結(jié)構(gòu)的密封性，潔凈區(qū)外場(chǎng)墻面、現(xiàn)澆板務(wù)必維持嚴(yán)實(shí)，禁止外氣泄露進(jìn)到凈化室。保證 送風(fēng)夾道的密閉式，包含干風(fēng)機(jī)盤管墻的密閉式及送風(fēng)夾道圍護(hù)結(jié)構(gòu)構(gòu)造的密封性，以確保干盤管的橫斷面風(fēng)力、排風(fēng)量規(guī)定，另外避免氣旋短路故障，沒經(jīng)干盤管直接進(jìn)入靜壓箱。

進(jìn)到二級(jí)清潔管控環(huán)節(jié)，盡早在潔凈室內(nèi)創(chuàng)建正壓，方式 是利用新風(fēng)發(fā)電機(jī)組為房間內(nèi)出示新風(fēng)，創(chuàng)建正壓，在新風(fēng)機(jī)外界的新風(fēng)吸進(jìn)口增設(shè)無防布過慮新風(fēng)，以增加新風(fēng)機(jī)身初、中效過濾器的使用期限。

潔凈室工程施工進(jìn)行后，歷經(jīng)調(diào)節(jié)、檢驗(yàn)，潔凈室各類數(shù)據(jù)信息均合乎設(shè)計(jì)方案指標(biāo)值。

5 總結(jié)

根據(jù)對(duì)本新項(xiàng)目工程施工實(shí)踐活動(dòng)的小結(jié)，認(rèn)證了新項(xiàng)目清潔管理方法關(guān)鍵的準(zhǔn)確性，潔凈室工程施工管理，要嚴(yán)苛遵照潔凈室基本建設(shè)四項(xiàng)原則，可保證 潔凈室建設(shè)工程的取得成功。