半導(dǎo)體材料無塵車間安全性工作制度

一、無塵車間注意事項(xiàng)

二、無塵車間實(shí)際操作注意事項(xiàng)

三、黃光區(qū)實(shí)際操作注意事項(xiàng)

四、鑷子應(yīng)用注意事項(xiàng)

1. 進(jìn)到試驗(yàn)室后，應(yīng)先帶上手套后，再取鑷子，以防臟污。
2. 只有應(yīng)用整潔的鑷子，才能持取芯片，鑷子一旦掉在地面上或被手碰觸，或因其他緣故而遭環(huán)境污染，務(wù)必拿來清理，即可再應(yīng)用。
3. 鑷子應(yīng)用后，宜放于站點(diǎn)要求處，不能隨意置放，若有獨(dú)特制造用鑷子，應(yīng)用后應(yīng)自主存放，不能和試驗(yàn)室內(nèi)站點(diǎn)之鑷子混和應(yīng)用。
4. 持鑷子應(yīng)采"拿筆式"姿態(tài)挾取芯片。
5. 挾取芯片時(shí)，次序應(yīng)由后往前挾取，放回芯片時(shí)，則由前向后放入，以防劃傷芯片表層。
6. 挾取芯片時(shí)，"長邊" (鋸狀頭)放置芯片正臉，"長邊" (小平頭)放置芯片反面，挾芯片空缺一部分，不能傷到芯片。
7. 禁止將鑷子觸碰酸洗槽或D.I Water不銹鋼水槽中。
8. 鑷子僅可作為挾取芯片用，禁止做其他主要用途。

五、化學(xué)品應(yīng)用注意事項(xiàng)

1. 化學(xué)品的出入須備案，并知會(huì)管理員，并另附化學(xué)物質(zhì)安全資料表（MSDS）于試驗(yàn)室大門口。
2. 應(yīng)用化學(xué)品前，請?jiān)斪x化學(xué)物質(zhì)安全資料表(MSDS)，并告之管理員。
3. 換酸前當(dāng)以穿著耐酸堿塑膠裙，戴上耐酸堿長袖上衣手套，戴著護(hù)鏡，腳著塑膠耐酸堿鞋，始可開展換酸工作中。
4. 不可隨意開啟酸瓶的外蓋，應(yīng)用后馬上卡緊外蓋。
5. 稀釋液酸液時(shí)，干萬還記得加酸強(qiáng)電解質(zhì)，決不可放水于酸。
6. 勿嘗一切化學(xué)品或以味覺來明確器皿內(nèi)之藥物。
7. 未知器皿內(nèi)為哪種藥物時(shí)，切忌搖晃或顛倒該器皿。
8. 全部化學(xué)品之工作均須在自然通風(fēng)優(yōu)良或排氣管之處為此。
9. 實(shí)際操作各類酸液時(shí)需詳讀各操作規(guī)范。
10. 堿類可與堿類一同存于有排風(fēng)機(jī)器設(shè)備的儲(chǔ)藏柜，但決不可與有機(jī)有機(jī)溶劑儲(chǔ)放在一起。
11. 廢酸請放進(jìn)廢酸桶，不能隨意亂倒，更不能與有機(jī)溶液混和。
12. 廢料有機(jī)溶液置放進(jìn)有機(jī)廢液桶內(nèi)，不能隨意亂倒或倒進(jìn)廢酸桶內(nèi)。
13. 勿隨意拆換器皿內(nèi)溶液。
14. 欲自主攜入之溶液請事前告之經(jīng)批準(zhǔn)后才可攜入，假如欲自主攜入之溶液具備危險(xiǎn)因素時(shí)，務(wù)必經(jīng)評定后才可攜入，并請于器皿上清晰標(biāo)出器皿內(nèi)容物及儲(chǔ)存限期。
15. 廢液解決：廢液分酸、堿、鹽酸、有機(jī)、等，分離解決并備案，收購 桶標(biāo)識清晰，廢液桶含有鹽酸等強(qiáng)酸強(qiáng)堿，肯定不能拿手碰觸。
16. 滲水或漏酸處理：滲水或漏酸時(shí)，為保證安全，肯定不能拿手碰觸，先將電源開關(guān)與有關(guān)閘閥關(guān)掉，再以無塵擦拭布或強(qiáng)酸強(qiáng)堿吸附器解決之，并上報(bào)管理員。

六、有機(jī)化學(xué)服務(wù)中心實(shí)際操作

1.   實(shí)際操作時(shí)需依要求，戴上橡皮擦膠手套及防護(hù)口罩。
2.   不能將塑料盒子放進(jìn)酸洗槽或清理槽中。
3.   加上一切溶液前，盡量事前確定器皿內(nèi)有機(jī)溶劑即可加上。
4.   在有機(jī)化學(xué)服務(wù)中心工作中時(shí)要培養(yǎng)優(yōu)良工作姿勢，上半身應(yīng)防止前伸至有機(jī)化學(xué)槽及清理槽之上邊，一方面可避免 風(fēng)險(xiǎn)產(chǎn)生，另一方面亦降低環(huán)境污染機(jī)遇。
5.   有機(jī)化學(xué)站不實(shí)際操作時(shí)，有蓋者應(yīng)隨時(shí)隨地將蓋上妥，清理不銹鋼水槽之水電源開關(guān)合上。
6.   化學(xué)品濺到衣服褲子、肌膚、面部、雙眼時(shí)，應(yīng)即自來水清洗濺傷位置15分鐘以     上，且務(wù)必皮膚的顏色恢復(fù)過來截止，并馬上分配搶救解決。
7.   化工品泄露時(shí)要迅速反應(yīng)，并做適度解決，若有必須撤出時(shí)要依標(biāo)示撤出。
8.   各有機(jī)化學(xué)服務(wù)中心上應(yīng)用之橡皮擦膠手套，防止碰觸各機(jī)器設(shè)備及操作臺(tái)，以及它器材等物，一般實(shí)際操作請帶無塵手套。

七、RCA Method

1.   DI Water                   5min
2.   H2SO4:H2O2=3:1             煮10~20min 75~85℃，去金屬材料、有機(jī)、油
3.   DI Water                   5min
4.   HF:H2O                    10~30sec，去當(dāng)然空氣氧化層(Native Oxide)
5.   DI Water                   5min
6.   NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5      煮10~20min 75~85℃，去金屬材料有機(jī)
7.   DI Water                   5min
8.   HCl:H2O2:H2O=1:1:6         煮10~20min  75~85 ℃  去正離子
9.   DI Water                   5min
10.  Spin Dry

八、清理常見問題

1. 有冰則先續(xù)水╋H2O2最終倒╋數(shù)據(jù)比為容積比。
2. 有機(jī)與強(qiáng)酸強(qiáng)堿肯定不能混和╋實(shí)際操作服務(wù)平臺(tái)也盡量分離應(yīng)用。
3. 強(qiáng)酸強(qiáng)堿溶液等制冷后倒進(jìn)收購 槽╋并以DI Water沖玻璃茶杯5 min。
4. 酸堿空罐以水清洗后╋并依塑料瓶子╋玻璃瓶子分離放置戶外收購 筒。
5. 鹽酸會(huì)浸蝕骨骼╋若遇到馬上用葡萄酸鈣放水擦抹，再用清水清洗整潔，并就診。遇到其他酸堿則馬上以DI Water很多清洗。
6. 清洗后之Wafer盡可能放到DI Water中防止環(huán)境污染。
7. 簡單清洗步驟為1-2-9-10；清洗SiO2步驟為1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。
8. 除去正光阻步驟為1-2-10，或滲入ACE中以超聲波震蕩。
 9. 每一個(gè)玻璃茶杯或槽都是有特殊得裝的水溶液╋蝕刻加工、清洗、電鍍工藝、有機(jī)化學(xué)絕不可以混合。
10. 廢水收購 分酸、堿、鹽酸、電鍍工藝、有機(jī)化學(xué)五種，分離收購 并紀(jì)錄，亂倒前先查驗(yàn)廢料兼容模式表，明確準(zhǔn)確無誤再亂倒。

應(yīng)用操作步驟
1. 最先開啟控制板控制面板上的【電加熱運(yùn)行】、【充壓荷蘭風(fēng)車運(yùn)行】、【浴塵室運(yùn)行】、【排氣管荷蘭風(fēng)車運(yùn)行】等電源開關(guān)。
留意:
＊ 溫控器及濕度控制器可由淡黃色鈕調(diào)節(jié)，一般溫控為20℃ DB ，環(huán)境濕度操縱為50% RH。
＊ 左邊的控制板控制面板上工作電壓轉(zhuǎn)換開關(guān) 為【RU】，電流量轉(zhuǎn)換開關(guān) 為【T】。右邊的控制板控制面板上工作電壓轉(zhuǎn)換開關(guān) 為【RS】，電流量轉(zhuǎn)換開關(guān) 為【OFF】。
2. 將箱型空調(diào)系統(tǒng)機(jī)的排風(fēng)每關(guān)開啟，等排風(fēng)平穩(wěn)后再將冷氣機(jī)暖氣開關(guān)開啟，這時(shí)鮮紅色燈光節(jié)閃爍，表明一切正常運(yùn)行。
留意:
＊ 冷氣機(jī)的啟動(dòng)次序?yàn)橹评鋲嚎s機(jī)【NO.2】。
＊ 溫度調(diào)整為表針偏向鮮紅色暖氣片【5】。
＊ 分離電源開關(guān)AIR VALVE 為【ON】。
3. 凈化車間應(yīng)用結(jié)束后，要先將箱形空調(diào)系統(tǒng)行政機(jī)關(guān)閉，按【終止】鍵就可以。
4. 再將控制板控制面板上的【電加熱運(yùn)行】、【充壓荷蘭風(fēng)車運(yùn)行】、【浴塵室運(yùn)行】、【排氣管荷蘭風(fēng)車運(yùn)行】等電源開關(guān)依次關(guān)掉。
 
汽體氣瓶
應(yīng)用操作步驟
1.      用門把反方向開啟汽體氣瓶究竟，將【OUTLET】開啟PURGE關(guān)掉。
2.      由灰黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)節(jié)汽體氣瓶的工作壓力(psi)，順時(shí)針為提升，反方向方位為降低。
3.      將N2氣瓶調(diào)節(jié)為40psi（白光房間內(nèi)為20psi）,AIR氣瓶調(diào)節(jié)為80psi（白光房間內(nèi)為60psi）。
4.      汽體氣瓶應(yīng)用結(jié)束后，用門把順時(shí)針方向關(guān)掉汽體氣瓶究竟，將【OUTLET】關(guān)掉【PURGE】開啟將管道內(nèi)的汽體排出來后將【PURGE】關(guān)掉。 

超純水系統(tǒng)
應(yīng)用操作步驟
1.   閘閥操縱
(1)    閘閥(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V17、V19應(yīng)維持開全。
(2)    閘閥V5、V7、V11、V18、V21應(yīng)維持全關(guān)。
(3)    閘閥V9、V20為變壓功效，不能開全或全關(guān)。
(4)    閘閥中V5為砂濾機(jī)之BY-PASS，V15為U.V燈之BY-PASS，V18為DI桶之BY-PASS，V21為RO膜之BY-PASS。
2.   全自動(dòng)造水
流程1：如上【閘閥操縱】將各球閘閥電源開關(guān)精準(zhǔn)定位。
流程2：控制柜上，各轉(zhuǎn)換開關(guān) 維持在【OFF】部位。
流程3：將控制柜上【系統(tǒng)軟件運(yùn)行】電源開關(guān)轉(zhuǎn)換至【ON】部位。
流程4：繼電器1 激話先做前期排出。
流程5：繼電器2 激話造水。
流程6：這時(shí)，PUMP1、PUMP2依次激話，系統(tǒng)軟件一切正常造水，RO產(chǎn)水量經(jīng)濟(jì)管理路進(jìn)到儲(chǔ)純凈水桶(TANK)，當(dāng)水滿時(shí)控制柜上高液位儀顯示燈亮，系統(tǒng)軟件全自動(dòng)關(guān)機(jī)，并且于儲(chǔ)純凈水桶水位線降低至低液位儀時(shí)再激話造水。
3.   系統(tǒng)軟件自來水
將控制柜上之【晚間循環(huán)系統(tǒng)-停-自來水】轉(zhuǎn)換開關(guān) 轉(zhuǎn)換至【自來水】，這時(shí)PUMP3攪拌泵浦激話，TANK內(nèi)之純凈水經(jīng)幫浦運(yùn)輸至U.V、DI桶及高精密過慮后，供當(dāng)場各應(yīng)用點(diǎn)應(yīng)用。
4.   晚間循環(huán)系統(tǒng)
控制柜上之【晚間循環(huán)系統(tǒng)-停-自來水】轉(zhuǎn)換開關(guān) ，關(guān)鍵在相互配合每日下班了或持續(xù)假日終止供電后管道之環(huán)境衛(wèi)生考慮到，其流程為:
(1)   終止供電59分鐘后，系統(tǒng)軟件再全自動(dòng)供電1分鐘。
(2)   自此每過59分鐘供電循環(huán)系統(tǒng)1分鐘至晚間循環(huán)系統(tǒng)【?！拷刂?。
5.   系統(tǒng)軟件探測
本系統(tǒng)軟件中附帶各類氣壓表、蒸汽流量計(jì)及導(dǎo)電性度計(jì)，做為系統(tǒng)軟件運(yùn)行之操縱，其作用以下:
氣壓表1：砂濾機(jī)滲水工作壓力
氣壓表2：RO滲水工作壓力
氣壓表3：RO排水管道工作壓力
氣壓表4：DI滲水工作壓力
氣壓表5：供電流回壓
蒸汽流量計(jì)1：RO排水流量
蒸汽流量計(jì)2：RO產(chǎn)水總流量
此外，控制箱(主機(jī)房)附帶二段式LED導(dǎo)電性度顯示器，原水及產(chǎn)水各自轉(zhuǎn)換表明。
6.   服務(wù)器維護(hù)
HF-RD系統(tǒng)軟件，應(yīng)按時(shí)升級之耗品:
(1)   砂濾機(jī)應(yīng)按時(shí)逆時(shí)。
(2)預(yù)濾應(yīng)每1-2個(gè)月升級。
(3)膜管應(yīng)視其污泥負(fù)荷及產(chǎn)水量做必需之清理或升級。
(4)環(huán)氧樹脂陽離子樹脂視比阻值升級。
(5)高精密過慮約每2-4個(gè)月升級。
7.  常見故障清除
現(xiàn)       象 很有可能要素 清除方式
系統(tǒng)軟件關(guān)機(jī)、系統(tǒng)軟件無法激活 1.  外開關(guān)電源出現(xiàn)異常2.  系統(tǒng)軟件運(yùn)行電源開關(guān)未按住3.  系統(tǒng)軟件電路故障4.  電機(jī)/液壓柱塞泵常見故障 1.  查驗(yàn)系統(tǒng)軟件電路2.  按住系統(tǒng)軟件運(yùn)行電源開關(guān)3.  通告生產(chǎn)商4.  升級電機(jī)/液壓柱塞泵
低產(chǎn)水量 1.  膜管排放量太高2.  工作壓力不夠3.  膜管堵塞 1.  調(diào)節(jié)放水閥V92.  清理膜管或升級膜管
低比電阻器 1.  環(huán)氧樹脂作用降低2.  RO污泥負(fù)荷降低 1.   拆換環(huán)氧樹脂2.   拆換RO膜組
 
光罩指向機(jī)
應(yīng)用操作步驟
曝光機(jī)介紹
在半導(dǎo)體材料制造中，施膠光阻后的集成ic，需經(jīng)UV紫外線直射曝出顯影液，此臺(tái)曝光機(jī)為OAI 200系列產(chǎn)品，融合光罩指向、UV紫外線曝出顯影液、UV紫外線精確測量設(shè)備及光罩夾緊設(shè)備。
OAI 200系列產(chǎn)品為一新手入門型光罩指向儀，能夠 手動(dòng)式實(shí)際操作變更各類應(yīng)用主要參數(shù)，如快門速度、曝出抗壓強(qiáng)度及曝出輸出功率這些。針對中高級的圖形界限有非常好的顯影液實(shí)際效果，此系列產(chǎn)品較大 可應(yīng)用四?的集成ic，較大 的曝出輸出功率為1KW。

曝光機(jī)應(yīng)用流程
1.     查驗(yàn)N2氣瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉及其白光室的N2閥、空氣閥是不是有打開。打開曝光機(jī)下邊延伸線的鮮紅色總閘，再打開曝光機(jī)、光學(xué)顯微鏡。
2.     接好隧道施工式排風(fēng)電機(jī)開關(guān)電源，開展曝光機(jī)排風(fēng)流程，并查驗(yàn)曝光機(jī)上邊汞燈座后邊進(jìn)氣口是不是有進(jìn)氣口。假如排風(fēng)量細(xì)微或是無進(jìn)氣口，則沒法打開汞燈的開關(guān)電源〈會(huì)出現(xiàn)警報(bào)聲音〉。明確進(jìn)氣口有進(jìn)氣口后，才可打開曝光機(jī)下邊的汞燈直流開關(guān)電源ON/OFF電源開關(guān)。
3.     按著汞燈直流開關(guān)電源之START鍵，約1~3秒左右，這時(shí)電流會(huì)升高〈意味著汞燈照亮，逐漸耗費(fèi)電流量〉，立刻排掉功能鍵，汞燈即被照亮。
4.     汞燈照亮后，最少須關(guān)機(jī)30分鐘，使Lightsource系統(tǒng)軟件平穩(wěn)。倘若汞燈沒法照亮，請不要作一切修復(fù)姿勢。
5.     待系統(tǒng)軟件平穩(wěn)后，把直流開關(guān)電源上的工作電壓、電流填到記錄表里，每一次打燈應(yīng)用都需要備案做為記錄。
6.     擰開光罩工裝夾具之鏍絲，光罩之正臉〈不銹鋼面〉朝下，對準(zhǔn)三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖上鏍絲以固定不動(dòng)光罩。

留意：
＊ MASK Holder 務(wù)必放下時(shí)才可以放置光罩。轉(zhuǎn)動(dòng)【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder冉冉升起或放下。
＊ 先用N2吹光罩和MASK Holder，光罩正臉朝下，對準(zhǔn)黑框鐵框，手勿觸碰光罩，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，鎖住邊上2個(gè)鐵刃邊。
＊ 查驗(yàn)放置集成ic的環(huán)形底座CHUNK是不是有比光罩低些，避免 光罩扎壞集成ic。
7.     扳起【MASK FRAME UP/DOWN】鍵，使MASK Holder升高，放置集成ic到CHUNK上，將【SUB VAC.】鍵扳至ON，使真空吸住集成ic，扳下【MASK FRAME UP/DOWN】鍵，使MASK Holder放下。
8.     轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)邊鈕(Ball Lock Button)為Unlock，順時(shí)針漸漸地轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)鈕(Z knob)，使集成ic底座升高，直至傳動(dòng)系統(tǒng)傳動(dòng)帶覺得已繃緊就可以，隨后反方向轉(zhuǎn)動(dòng)Z Knob約15格，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)邊鈕(Ball Lock Button)為Lock。

留意：
＊ Z knob 每格約15 microns。
＊ 反方向方位轉(zhuǎn)動(dòng)Z knob，會(huì)使放置集成ic底座降低，其目地是為了更好地作對準(zhǔn)時(shí)，讓集成ic和光罩有一絲的間距，使集成ic與光罩不容易立即磨擦。
＊ 若不必對準(zhǔn)時(shí)，可以不應(yīng)用反方向方位轉(zhuǎn)動(dòng)Z knob。
＊ 轉(zhuǎn)動(dòng)Z knob時(shí)，無論順時(shí)針方向或反方向旋轉(zhuǎn)，當(dāng)傳動(dòng)帶跑偏時(shí)，意味著集成ic底座已和光罩觸碰，這時(shí)不能反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，而造成內(nèi)部地腳螺栓松動(dòng)。
＊ CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST一般為15A~20 A中間，且電流量越小傳動(dòng)帶越松。
9.     挪動(dòng)光學(xué)顯微鏡座，至光罩上邊，作集成ic與光罩的對準(zhǔn)校準(zhǔn)。如須調(diào)節(jié)集成ic的部位，可應(yīng)用集成ic底座旁的調(diào)整桿，校準(zhǔn)集成ic座X、Y及θ。
10.
100 SEC
1000 SEC
RESET
EXPOSE
SEC

 
留意：
＊ 曝出分秒有二種設(shè)置，一種為1000SEC，一種為100SEC。當(dāng)按住1000SEC時(shí)，電子計(jì)數(shù)器較大 可設(shè)999秒的快門速度；按住100SEC時(shí)，電子計(jì)數(shù)器較大 可設(shè)99.9秒的快門速度。
＊ 再設(shè)置曝出分秒時(shí)要先精確測量汞燈的色度，先按LAMP TEST再按著把手里的按鍵挪動(dòng)底座至曝光機(jī)左方底，后然將OAI 306 UV POWERMETER放置于CHUNK上就可以，結(jié)束后按RESET，并且可以多測好多個(gè)不一樣的部位，收看汞燈的色度是不是勻稱，所測出的企業(yè)為mw/cm2 ，乘時(shí)間(SEC)即變可mJ的企業(yè)。
11. 設(shè)置好曝出分秒后，就可以開展曝出的程序流程。轉(zhuǎn)動(dòng)【CONTACT VAC.】至ON，【N2 PURGE】至ON， 則芯片和光罩中間會(huì)造成一絲的真空泵。
留意:
＊【CONTACT VAC ADJUST】的范疇一般為鮮紅色-25kpa 上下。
12. 按著把手里的按鍵，這時(shí)底座才可挪動(dòng)，挪到曝光機(jī)左方底，放寬按鍵，則曝光機(jī)會(huì)全自動(dòng)開展曝出的姿勢。
13. 曝出進(jìn)行后，就可以將底座移回曝光機(jī)右方。扳動(dòng)扳動(dòng)【N2 PURGE】為OFF。再扳動(dòng)【CONTACT VAC.】至OFF，儀器設(shè)備會(huì)充氮破光罩與芯片間的真空泵，便捷使用人取出芯片。
14. 反方向轉(zhuǎn)動(dòng)Z knob，下降芯片底座至最低值。松掉光罩固定不動(dòng)的黑框鐵框，拉起【MASK VAC.】鈕，就可以消除MASK Holder的真空泵，光罩就可以取下。
15. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】為UP，使MASK Holder冉冉升起。扳動(dòng)【SUB VAC.】為OFF，應(yīng)用芯片夾取下芯片，再扳【MASK FRAME UP/DOWN】為DOWN。
16. 如須開展再一次的曝出，則可反復(fù)以上流程。
17. 進(jìn)行全部的曝出程序流程后，先關(guān)閉光學(xué)顯微鏡燈源發(fā)生器，再關(guān)閉汞燈直流開關(guān)電源?！搓P(guān)了燈一小時(shí)內(nèi)不能再打開汞燈，已增加汞燈使用壽命〉
18. 先關(guān)隧道施工式排風(fēng)電機(jī)開關(guān)電源，關(guān)閉曝光機(jī)的電源開關(guān)【SYSTEM ON/OFF】為OFF，再關(guān)閉曝光機(jī)下邊的延伸線總閘。待曝光機(jī)制冷后，最終再關(guān)閉墻壁N2閥及空氣閥。
熱蒸鍍機(jī)
應(yīng)用操作步驟
A.啟動(dòng)流程
1. 開設(shè)備反面的總電源總開關(guān)。
2. 開冷卻循環(huán)水，先要激話D.I Water 系統(tǒng)軟件。
3. 開RP，熱機(jī)2分鐘。
4. 開三向閥切至F.V的部位，等2分鐘。
5. 開DP，熱機(jī)30分鐘(熱機(jī)另外就可以開展Sample 之清理與裝車，以省時(shí)省力)。
B.裝車
1. 開Vent，進(jìn)氣口以后馬上關(guān)掉。
2. 開Chamber。
3.  Loading Sample、Boat及金屬材料。
4. 以Shutter遮擋Sample。
5. 關(guān)Chamber，閉店時(shí)盡量留意門是不是密封性，因設(shè)備破舊，一般 須拿手卡緊門的右上方。
C.真空包裝
1. 初抽
  (1) 三向閥切至R.V部位(最好是每過數(shù)分鐘就轉(zhuǎn)換到F.V一下，以防DP內(nèi)的幫浦燃?xì)夥肿訑U(kuò)散進(jìn)到chamber中)。
  (2) 真空計(jì)VAP-5表明至5?10-2 torr時(shí)三向閥切至F.V，等30秒。
2. 細(xì)抽
  (1) M.V ON，記錄時(shí)間。
  (2) ION GAUGE ON，壓下Fil 引燃鎢絲(必須小于10-3 Torr下列才抽氣進(jìn)行)。
D.蒸鍍
1. 壓力約2?10-5 Torr時(shí)，逐漸添加液態(tài)氮。
2. 壓力小于2?10-6 Torr時(shí)，紀(jì)錄壓力及抽氣時(shí)間并關(guān)閉ION GAUGE。
3.  Heater Power ON (明確Power調(diào)節(jié)鈕歸零)。
4. 挑選BOAT1 or BOAT2。
5. 蒸鍍逐漸，留意電流量需漸漸地提升。
留意:
 ＊ 電鍍金時(shí)，儀表盤上電流量約100A，鍍Al時(shí)電流量可略微小些，約70~80A。
＊ 當(dāng)BOAT高燒傳出彩光時(shí)，應(yīng)該馬上關(guān)掉觀景窗，以防金屬材料粘附在觀景窗的夾層玻璃上。
＊ 空鍍幾秒鐘將待鍍金屬表層 清整潔后就可以開啟Shutter，逐漸蒸鍍。
 ＊ 蒸鍍進(jìn)行后，馬上關(guān)掉Heater Power，等10~15分鐘讓BOAT制冷及蒸鍍后的金屬材料制冷，防止馬上和氣體觸碰而空氣氧化，才可vent破真空泵。
E.破真空泵
1. Substrate Hold溫度必須降至常溫下。
2. ION GAUGE 【POWER】OFF。
3. M.V OFF。
4. DP OFF 制冷30~60分鐘。
5. 開Vent(進(jìn)氣口后馬上關(guān)掉)。
6. 開Chamber，取下Sample及BOAT。
7. 關(guān)Chamber，留意把門關(guān)嚴(yán)。
 
F.待機(jī)
1. 關(guān)F.V。
2. 開R.V，抽至0.01 Torr以后關(guān)掉。
3. 開F.V，30秒后三向閥切至關(guān)掉之部位。
4. RP OFF。
5. 關(guān)總開關(guān)電源。
6. 關(guān)冷卻循環(huán)水。
7. 關(guān)N2。
留意：
＊ 蒸鍍時(shí)，電流量應(yīng)遲緩擴(kuò)大，且不能很大，以防金屬材料在一瞬間很多汽化，使薄厚不易控制。
＊ 若延續(xù)別人應(yīng)用，液態(tài)氮可以少灌一點(diǎn)兒，約三分之一筒就可以。
空氣氧化爐體
應(yīng)用操作步驟
空氣氧化爐體介紹
    本試驗(yàn)室所選用之空氣氧化爐體為Lenton LTF 1200水準(zhǔn)管形式火爐，可放2英?硅晶圓，加溫區(qū)超過50cm，最高溫度可以達(dá)到1200°C并可持續(xù)24小時(shí)r，較大 工作溫度為1150°C，溫度控制方法選用PID全智能全自動(dòng)溫控器。
目地
    將硅集成ic裸露在高溫且含氧量的自然環(huán)境中一段時(shí)間后，我們可以在硅集成ic的表層生長發(fā)育一層與硅的粘合力優(yōu)良，且電荷合乎大家規(guī)定的導(dǎo)體和絕緣體-SiO2。
留意:
＊ 在打開氧化爐以前，務(wù)必先明確【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)掉的狀態(tài)。Switch在有開關(guān)電源供貨時(shí)【l】可能發(fā)亮，而氧化爐也將逐漸加溫。
＊ 假如溫度保護(hù)設(shè)備是好的，請明確報(bào)警點(diǎn)的設(shè)定于現(xiàn)階段的應(yīng)用全過程中為適當(dāng)?shù)?。假如超溫保護(hù)設(shè)備是好的，蜂嗚器會(huì)有聲音，在逆相操縱實(shí)際操作中有報(bào)警一致的程序流程。
＊ 為了更好地改進(jìn)石英玻璃管或軸套發(fā)熱量的撞擊，其加溫速度較大 不可以超出3°C per min。
＊ 為了更好地降低熱外流，務(wù)必明確恰當(dāng)?shù)牟僮髁鞒?，適度的應(yīng)用絕緣層栓和放射性遮掩能夠 密封性石英玻璃管。
＊ 在實(shí)際操作氧化爐時(shí)不要在較大 溫度下關(guān)掉氧化爐，以增加氧化爐的使用壽命。
操作流程:
1. 查驗(yàn)前一次實(shí)際操作是不是有出現(xiàn)異常難題產(chǎn)生，并填好操作記錄。
2. 查驗(yàn)機(jī)器設(shè)備狀態(tài)
(1) 操作面板狀態(tài)：應(yīng)用前先明確【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)掉的狀態(tài)。
(2) 加溫控制板: Lenton LTF 1200溫度>400°C，前后左右段爐溫度差?40°C。
(3) 汽體操縱:H2【OFF】，O2 【OFF】。
3. 將集成ic遲緩的推摻燒管中。
4. 開啟墻壁H2、O2之電源開關(guān)和主機(jī)房的氣罐減壓閥。
5. 設(shè)定預(yù)置汽體（H2 、O2）總流量值及溫度控制。
6. 按住【HEAT】Switch 為【l】，這時(shí)溫度控制將從控溫(400°C)漸漸地加溫至規(guī)范制造溫度1100°C，提溫速度較大 不可以超出3°C per min。
7.     待溫度控制降至控溫后將集成ic取下。
8.     關(guān)掉H2、O2 。
9.     關(guān)掉爐體后端開發(fā)H2之電源開關(guān)及墻壁之電源開關(guān)和主機(jī)房的氣罐減壓閥。
10. 查驗(yàn)爐體是不是進(jìn)行待機(jī)姿勢。
11. 填好操作記錄之終結(jié)時(shí)間和出現(xiàn)異常維護(hù)及表明。
 
絲網(wǎng)印刷機(jī)
應(yīng)用操作步驟
1. 最先將PUMP的電源線插頭插進(jìn)絲網(wǎng)印刷機(jī)后邊的電源插頭。
2. 將絲網(wǎng)印刷機(jī)的電源插頭插進(jìn)110V的電源插頭，隨后按住【POWER】鍵。
3. 設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)速比及時(shí)間，本型號為二段式加快的Spin Coating，右側(cè)為第一段加快，左側(cè)為第二段加快。
4. 依不一樣規(guī)格的板材，可拆換不一樣的轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤做施膠的姿勢。
5. 按住【PUMP】鍵，這時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤會(huì)吸起板材，隨后將光阻依螺旋形從板材管理中心勻稱且漸漸地的往外抹開到適度的量，在做光阻涂開姿勢時(shí)可首先用N2將轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤周邊及板材吹整潔。
6. 蓋上絲網(wǎng)印刷機(jī)的維護(hù)蓋，以避免 光阻迸濺絲網(wǎng)印刷機(jī)外。
7. 按住【START】鍵，絲網(wǎng)印刷機(jī)便逐漸做施膠的姿勢。
8. 施膠結(jié)束后，開啟維護(hù)蓋，按住【PUMP】鍵轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤會(huì)放寬板材，便能夠 將板材取下。
 
暖風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)烘干箱
應(yīng)用操作步驟
1. 該設(shè)備應(yīng)用工作電壓110V/60HZ。
2. 確定工作電壓后，將電源插頭插進(jìn)110V的電源插座。
3. 開啟【POWER】電源開關(guān)，這時(shí)溫度表PV即表明箱里具體溫度。
4. 最先按【SET】鍵? ，SV會(huì)一直閃動(dòng)這時(shí)就可以逐漸設(shè)定溫度，而SV的外掛字幕窗會(huì)呈現(xiàn)高亮度，在高亮度的部位可設(shè)定需要的溫度，只需再按【SET】鍵? 高亮度會(huì)隨著挪動(dòng)，在高亮度的地區(qū)就可以設(shè)定溫度。
5. 按移位鍵▲表明溫度往上增長，按下沉鍵?則溫度向下下降。
6. 當(dāng)進(jìn)行之上設(shè)定溫度以后(SV仍閃動(dòng)不斷)這時(shí)只需按一次【ENT】鍵SV即呈現(xiàn)剛剛所設(shè)定的溫度(PV表明具體溫度)。
7. 加溫?zé)?/span>OUT表明燈亮?xí)r表明設(shè)備已經(jīng)加溫中，而抵達(dá)設(shè)定點(diǎn)時(shí)OUT會(huì)一閃一爍(一切正常狀況)。
8. AT燈亮?xí)r表明溫度正全自動(dòng)運(yùn)算中。
9. ALM-1鮮紅色燈亮?xí)r表明溫度超溫(溫度會(huì)全自動(dòng)減溫)。
    10. ALM-2鮮紅色燈亮?xí)r表明溫度過低(溫度會(huì)全自動(dòng)升溫)。
    11. 溫度范疇:40℃~210℃。

十、進(jìn)到凈化車間注意事項(xiàng)

1. 進(jìn)到凈化車間前，務(wù)必知會(huì)管理員，并根據(jù)基本上訓(xùn)煉。

2. 進(jìn)到凈化車間禁止吸煙，吃(飲)食，外界臟物(如報(bào)章，雜丈，簽字筆...等)不能攜入，并禁止嘻鬧飛奔及團(tuán)圓東拉西扯。

3. 進(jìn)到凈化車間前，需要在要求之住所把鞋脫掉，將鞋置於鞋架內(nèi)，外套置於衣櫥內(nèi)，個(gè)人用品置於個(gè)人柜里，柜里不能置放食材。

4. 進(jìn)到凈化車間須先在更衣間，將防護(hù)口罩，潔凈帽，無塵衣及其腳套按照規(guī)定依程序流程衣冠整潔，再經(jīng)不銹鋼風(fēng)淋室洗塵，并爬行除灰毛毯(洗塵室木地板上)終能進(jìn)到。

5. 佩戴口罩時(shí)，應(yīng)將防護(hù)口罩戴在鼻部以上，以將口鼻腔遮住?標(biāo)準(zhǔn)，以防吸氣時(shí)環(huán)境污染芯片。

6. 穿著無塵衣，潔凈帽前應(yīng)先梳理服飾及其頭?，以防著上無塵衣后，不可梳理又感不適感。

7. 整頓儀態(tài)后，先帶潔凈帽，潔凈帽的配戴標(biāo)準(zhǔn)系:

(1)頭務(wù)必徹底遮蓋在帽內(nèi)，不可露出。

(2)潔凈帽下擺要平散於肩下以上，穿上工作中衣后，方不至于下解決出，外露肩頭頸。

8. 潔凈帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應(yīng)尺?穩(wěn)盛，才不至于有褲腿或袖子過短而外露肌膚之虞，穿衣服時(shí)要留意帽下擺應(yīng)保整平之情況，無塵衣不能反穿。

9. 穿著無塵衣后，才著腳套，拉上腳套并將腳套平整，的確蓋在褲腿以上。

10. 戴手套時(shí)要防止以光手觸碰膠手套之手掌心及手指尖處(避免 鉀離子環(huán)境污染)，戴上膠手套后，應(yīng)將膠手套之手腕子置於袖子內(nèi)，以阻隔污染物。

11. 無塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并爬行除灰毯，終能進(jìn)到凈化車間。

12. 無論進(jìn)到或離去凈化車間，須按照規(guī)定在更衣間脫無塵衣，不能在其他地區(qū)?之，尤不能在凈化車間內(nèi)邊走邊脫。

13. 無塵衣，腳套等，應(yīng)按時(shí)清理，有損壞，開線時(shí)，應(yīng)即換新。

14. 脫掉無塵衣時(shí)，其次序與穿著時(shí)反過來。

15. 脫掉之無塵衣應(yīng)吊好，并放於更衣室內(nèi)頂層木柜中;腳套應(yīng)放置於吊好的無塵衣下邊。

16. 更衣室內(nèi)20尺柜中，除開放置無塵衣等要求物品外，不可放置別的物品。

17. 除要求打印紙張及物品外，其他物品一概不可攜入無塵車間。

18. 無塵衣等不可攜出無塵車間，用畢放置於要求住所。

19. 防護(hù)口罩與膠手套可視性情況自主存放或多次重復(fù)應(yīng)用。

20. 任何東西進(jìn)到無塵車間，務(wù)必用灑精擦洗乾凈。

21. 一切機(jī)器設(shè)備的進(jìn)到，請知會(huì)管理員，在無塵車間外擦洗乾凈，即可進(jìn)到。

22. 未通過培訓(xùn)之儀器設(shè)備，嚴(yán)禁應(yīng)用，若遇緊急狀況，得依應(yīng)急解決流程作適度解決，比如關(guān)掉水、電、汽體等電源開關(guān)。

23. 無塵車間內(nèi)肯定不能動(dòng)火作業(yè)，以防出現(xiàn)意外。

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