電子產(chǎn)業(yè)，尤其快速發(fā)展趨勢的亞微米加工工藝對生產(chǎn)制造場地氣體潔凈度等級規(guī)定尤其高，在對潔凈度等級的明確提出更高腰

求層面，電子工業(yè)是推動(dòng)前行驅(qū)動(dòng)力。集成電路芯片光刻技術(shù)的規(guī)格是促進(jìn)凈化室規(guī)定往前發(fā)展趨勢的決策要素，技

術(shù)越發(fā)展，規(guī)格就越小，假如落在集成電路芯片上的顆粒超過最少規(guī)格的1%--2%,便會使集成電路芯片變成廢料，

金屬粒子、正離子、病菌全是生產(chǎn)制造廢料的罪魁禍?zhǔn)住怏w潔凈度等級的優(yōu)劣立即危害電源電路生產(chǎn)制造的良品率。與此同時(shí)，對微

電子設(shè)備的作用規(guī)定越高，投資總額越來越大，就對品質(zhì)水準(zhǔn)的規(guī)定愈來愈嚴(yán)苛，電子工業(yè)變成全世界越

來越大的產(chǎn)業(yè)部門，預(yù)估再近年來，電子器件激光器最少的光刻技術(shù)規(guī)格可做到0.5微米。微電路儲存量可以達(dá)到64千兆網(wǎng)卡，

全世界絕大多數(shù)新建的凈化室都用以微電子技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)，每一年修建和應(yīng)用花費(fèi)可以達(dá)到萬美元。

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