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前 言
ISO(International Organization for Stanclardization)為全世界世界各國(guó)規(guī)范化團(tuán)隊(duì)(ISOvip會(huì)員團(tuán)隊(duì))的協(xié)會(huì),其國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)工作中的進(jìn)行一般是由ISO各技術(shù)性聯(lián)合會(huì)開(kāi)展每一個(gè)vip會(huì)員團(tuán)隊(duì)如對(duì)技術(shù)性聯(lián)合會(huì)的某一課題研究很感興趣,均有權(quán)利變成此技術(shù)性聯(lián)合會(huì)的意味著。一切與ISO保持聯(lián)絡(luò)的國(guó)際經(jīng)濟(jì)組織,不論是政府部門(mén)的,或是非政府的,都能夠參與各項(xiàng)任務(wù)。ISO與國(guó)際性電力技術(shù)聯(lián)合會(huì)(IEC)在電力技術(shù)規(guī)范化的行業(yè)開(kāi)展密切協(xié)作。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)議案是根據(jù)ISO/IEC命令第三一部分的規(guī)章制定的。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)議案經(jīng)技術(shù)性聯(lián)合會(huì)認(rèn)同后送各vip會(huì)員團(tuán)隊(duì)核稿,于己決議。經(jīng)75%的vip會(huì)員團(tuán)隊(duì)網(wǎng)絡(luò)投票贊同后才可以做為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布。應(yīng)留意ISO14644一部分的一些內(nèi)容很有可能涉及到專(zhuān)利,ISO不承擔(dān)評(píng)定相關(guān)某一項(xiàng)或所有專(zhuān)利的事項(xiàng)。SO14644-2國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)由ISO/TC209技術(shù)性聯(lián)合會(huì)(凈化室和有關(guān)可控自然環(huán)境)明確提出。
ISO14644由以下各一部分構(gòu)成,但具備“凈化室和有關(guān)可控自然環(huán)境”的總文章標(biāo)題。
――第一一部分:氣體潔凈室等級(jí)區(qū)劃
――第二一部分:為驗(yàn)證ISO14644-1相符性用的測(cè)試和監(jiān)控技術(shù)規(guī)定
――第三一部分:計(jì)量檢定和測(cè)試方式
――第4一部分:設(shè)計(jì)方案、修建和建成投產(chǎn)
――第5一部分:運(yùn)作
――第六一部分:專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)和界定
――第7一部分:加強(qiáng)型清潔設(shè)備
客戶(hù)留意:第三至第7一部分的文章標(biāo)題應(yīng)與第二一部分另外發(fā)布時(shí),才合理。假如要從工作中考試大綱中刪掉以上一項(xiàng)或多種文章標(biāo)題,則要對(duì)剩下的其他文章標(biāo)題再次多方面序號(hào)。
歸屬于ISO14644的本一部分的附則A和B僅做為參考文獻(xiàn)。
前言
歸屬于ISO14644的本一部分明確提出論述ISO14644-1持續(xù)相符性的方法、程序流程,并要求最少的測(cè)試和檢測(cè)規(guī)定。對(duì)每一項(xiàng)測(cè)試方案來(lái)講,應(yīng)考慮到特殊的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),安裝時(shí)的危險(xiǎn)因素評(píng)定以及避免。
凈化室和有關(guān)可控自然環(huán)境用以將氣體飄浮粒子環(huán)境污染操縱在適合的水準(zhǔn)上,以保證 環(huán)境污染比較敏感主題活動(dòng)的進(jìn)行。操縱飄浮粒子的環(huán)境污染有益于以下領(lǐng)域的商品和生產(chǎn)制造全過(guò)程:航空航天、微電子技術(shù)、制藥業(yè)、醫(yī)療機(jī)械、保健產(chǎn)品、食品類(lèi)和其他。在設(shè)計(jì)方案,制定技術(shù)性標(biāo)準(zhǔn),應(yīng)用和操縱凈化室和其他可控自然環(huán)境層面,除開(kāi)考慮到氣體飄浮粒子潔凈室等級(jí)外,也要計(jì)以及它要素。
在一些狀況下,相關(guān)政府可明確提出補(bǔ)償性現(xiàn)行政策或限定。在這里狀況下,可對(duì)規(guī)范測(cè)試程序流程作適度調(diào)節(jié)。
1 范疇
歸屬于ISO14644的本一部分,規(guī)定按時(shí)測(cè)試清潔或潔凈區(qū),以驗(yàn)證ISO14644-1的持續(xù)相符性,進(jìn)而明確氣體飄浮粒子潔凈室等級(jí)。
在ISO14644-1中,依據(jù)上述規(guī)定,明確提出凈化室或潔凈區(qū)級(jí)別測(cè)試,還要求了額外測(cè)試,也應(yīng)依照歸屬于ISO14644的本一部分各類(lèi)規(guī)定多方面進(jìn)行。對(duì)依據(jù)客戶(hù)意向選用的選擇項(xiàng)測(cè)試,還要多方面評(píng)定。
歸屬于ISO14644的本一部分也要求了凈化室和潔凈區(qū)(下稱(chēng)設(shè)備)的檢測(cè)規(guī)定。為一定的氣體飄浮粒子潔凈室等級(jí),出示ISO14644-1持續(xù)相符性的依據(jù)。
2 要求論文參考文獻(xiàn)
依據(jù)文中的論文參考文獻(xiàn),以下要求文檔含有的各類(lèi)條文可變成歸屬于ISO14644的本一部分的各類(lèi)條文。喪失時(shí)效性的論文參考文獻(xiàn),及其它的事后變更,或重做,或在其中一切一種出版發(fā)行,均不可多方面運(yùn)用??墒菤w屬于ISO14644的本一部分協(xié)議書(shū)多方激勵(lì)尋找選用最新版的以上各種各樣文檔的概率,對(duì)未標(biāo)明時(shí)效性的論文參考文獻(xiàn),應(yīng)選用要求論文參考文獻(xiàn)的最新版,ISO和IEC的領(lǐng)導(dǎo)小組都儲(chǔ)存有現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)合理國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)明細(xì)表。
ISO14644-1:1999,凈化室和有關(guān)可控自然環(huán)境――第一一部分氣體潔凈室等級(jí)區(qū)劃
ISO14644-3:<注1>,凈化室和有關(guān)可控自然環(huán)境――第三一部分:計(jì)量檢定和測(cè)試方式
3 專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)和界定
為了更好地應(yīng)用歸屬于ISO14644的本一部分,故在ISO14644-1中明確提出專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)和界定,并在下文中多方面運(yùn)用。
3.1 通用性專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)
3.1.1 再評(píng)定(requalification)
依照該設(shè)備的級(jí)別,進(jìn)行該設(shè)備的,ISO14644-1合乎性驗(yàn)證測(cè)試次序,在其中包括對(duì)已選中的予測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)展驗(yàn)證。
<注1>已予發(fā)布
3.1.2 測(cè)試(test)
依照要求方式測(cè)量一項(xiàng)設(shè)備或其一部分的特性所進(jìn)行的操作流程。
3.1.3 檢測(cè)(monitoring)
根據(jù)選用要求方式和方案開(kāi)展測(cè)試以獲得一項(xiàng)設(shè)備的特性數(shù)據(jù)信息而進(jìn)行的檢測(cè)。
注:該項(xiàng)信息內(nèi)容可運(yùn)用于尋找實(shí)際操作情況的趨于和出示操作流程適用。
3.2 相關(guān)經(jīng)常水平的專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)
3.2.1 持續(xù)的(Continuous)迄今一直產(chǎn)生的升級(jí)。
3.2.2 頻數(shù)(frequent)在沒(méi)有超出要求的一個(gè)小時(shí)實(shí)際操作間隔時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生的變更
3.2.3 6個(gè)月(6month)
在均值間距未超出183天的合理應(yīng)用期限內(nèi)造成的變更,但不包括超出190天的間距。
3.2.4 12個(gè)月(12month)
在均值間距未超出366天的合理應(yīng)用期限內(nèi)造成的變更,但不包括超出400天的間距。
3.2.5 24個(gè)月(24month)
在均值間距未超出731天的合理應(yīng)用期限內(nèi)造成的變更,但不包括超出800天的間距。
4 持續(xù)相符合性的認(rèn)證
4.1 標(biāo)準(zhǔn)
是不是合乎為此項(xiàng)設(shè)備要求的氣體潔凈度等級(jí)(ISO級(jí))的持續(xù)相符合性,是在進(jìn)行特殊實(shí)驗(yàn),并依據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果撰寫(xiě)文檔后才得到驗(yàn)證的。數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)可用以表明設(shè)備的情況和明確實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行頻數(shù)。http://www.aozoc.com/
4.2 持續(xù)相符合性的檢測(cè)
為了更好地得到是不是合乎ISO要求等級(jí)持續(xù)相符合性的結(jié)果,在表1中列舉規(guī)范測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)以及較大 間隔時(shí)間。
表1 驗(yàn)證顆粒濃度值限制值相符合性的檢測(cè)一覽表
級(jí)別 |
較大 間隔時(shí)間 |
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) |
≤ISO5級(jí) |
6月 |
IO14644-1:1999附則B |
> ISO5級(jí) |
12月 |
IO14644-1:1999附則B |
注:顆粒數(shù)檢測(cè)一般是在動(dòng)態(tài)性標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行的,但也可依照ISO要求級(jí)別在靜態(tài)數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行。 |
4.2.2 假如應(yīng)用方提出要求,可按表2列出各類(lèi)驗(yàn)證相符合性,但每一項(xiàng)該類(lèi)檢測(cè)的規(guī)定均要由小區(qū)業(yè)主和經(jīng)銷(xiāo)商簽訂協(xié)議書(shū)多方面明確。
表2 全部級(jí)別額外檢測(cè)一覽表
檢測(cè)主要參數(shù) |
較大 間隔時(shí)間 |
測(cè)試代碼 |
氣體壓力或氣量(a) |
12個(gè)月 |
ISO14644-3:―第B.4條文 |
氣體壓力差(b) |
12個(gè)月 |
ISO14644-3:―第B.5條文 |
注:這類(lèi)檢測(cè)應(yīng)按以ISO要求級(jí)別在動(dòng)態(tài)性和空態(tài)標(biāo)準(zhǔn)下多方面進(jìn)行。 |
||
注:(a)氣體總流量既可按空氣速率精確測(cè)量技術(shù)性測(cè)量,也可按氣體流量計(jì)量技術(shù)性測(cè)量。 注:(b)該項(xiàng)檢測(cè)不可運(yùn)用于非全封閉式的潔凈區(qū)。 |
4.2.3 除開(kāi)表1和表2列出的一切正常的檢測(cè)外,在考慮到合適于該設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)下,可由小區(qū)業(yè)主和經(jīng)銷(xiāo)商彼此協(xié)議書(shū)加上別的測(cè)試報(bào)告,如附則A內(nèi)列出的一些測(cè)試報(bào)告。
4.2.4 假如設(shè)備配置用以持續(xù)或頻數(shù)檢測(cè)氣體飄浮顆粒濃度值,及其出自于應(yīng)用的必須而檢測(cè)氣體工作壓力時(shí),能延長(zhǎng)表1列出的較大 間隔時(shí)間,但獲得的持續(xù)或頻數(shù)檢測(cè)結(jié)果仍不可超出要求限制值。
4.2.5 對(duì)這些規(guī)定額外檢測(cè)的設(shè)備,假如設(shè)備配置有相對(duì)應(yīng)檢測(cè)主要參數(shù)的持續(xù)頻數(shù)檢測(cè)儀表盤(pán),則表2列出的較大 間隔時(shí)間可給予增加,但獲得的持續(xù)或頻數(shù)檢測(cè)結(jié)果仍應(yīng)在要求限制值內(nèi)。
4.2.6 檢測(cè)選用的各種各樣儀表盤(pán)均應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)生產(chǎn)操作過(guò)程多方面校準(zhǔn)。
4.2.7 假如檢測(cè)結(jié)果均在要求限制值范疇內(nèi),則該設(shè)備是合乎持續(xù)相符合性標(biāo)準(zhǔn)的。假如某一項(xiàng)檢測(cè)結(jié)果超出要求限制值范疇,則該設(shè)備未做到相符合性規(guī)定,經(jīng)采用改動(dòng)對(duì)策后,要再次多方面驗(yàn)證。
4.2.8 歷經(jīng)以下每一項(xiàng)事宜后即要再次對(duì)設(shè)備多方面評(píng)定:
a)采用改動(dòng)對(duì)策,改正不符的標(biāo)準(zhǔn)。
b)比較嚴(yán)重背馳現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)特性技術(shù)性標(biāo)準(zhǔn)如變動(dòng)運(yùn)作等級(jí)。說(shuō)白了比較嚴(yán)重背馳應(yīng)在小區(qū)業(yè)主和經(jīng)銷(xiāo)商中間的協(xié)議書(shū)中多方面明確。
c)風(fēng)系統(tǒng)軟件的重特大常見(jiàn)故障危害該設(shè)備運(yùn)作。說(shuō)白了重特大常見(jiàn)故障應(yīng)在小區(qū)業(yè)主和經(jīng)銷(xiāo)商中間的協(xié)議書(shū)中多方面明確。
d)比較嚴(yán)重危害設(shè)備運(yùn)作的獨(dú)特檢修(即變更終端設(shè)備過(guò)濾裝置)。說(shuō)白了比較嚴(yán)重危害,應(yīng)在小區(qū)業(yè)主和經(jīng)銷(xiāo)商中間的協(xié)議書(shū)中多方面明確。
4.3 檢測(cè)
4.3.1 應(yīng)按書(shū)面形式方案進(jìn)行氣體飄浮顆粒濃度值和其他主要參數(shù)的常規(guī)檢測(cè)。
注:一般解決動(dòng)態(tài)性下的設(shè)備開(kāi)展檢測(cè)。
4.3.2 應(yīng)依據(jù)與設(shè)備運(yùn)用相關(guān)的危害性點(diǎn)評(píng)(參考附則B)制定氣體飄浮顆粒檢測(cè)方案,方案的內(nèi)容應(yīng)包含予先明確的最少程度的抽樣點(diǎn),每一次抽樣的最少氣量,精確測(cè)量的延遲時(shí)間,在每一抽樣點(diǎn)上精確測(cè)量的頻次(按要求),數(shù)次精確測(cè)量的間隔時(shí)間,粒度或顆粒數(shù),顆粒數(shù)達(dá)標(biāo)限制值,必需時(shí),還包含顆粒數(shù)的臨界值,危害和偏差的限制值范疇。
注1:假如方案要求對(duì)氣體飄浮顆??倲?shù)和氣體壓力差都需要作持續(xù)和頻數(shù)的檢測(cè),則規(guī)定顆粒數(shù)檢測(cè)表作變更即增加檢測(cè)的間隔時(shí)間(參考4.2.4和4.2.5)。
注2:也可按以上一樣方法進(jìn)行其他特點(diǎn)(如溫度和環(huán)境濕度)的檢測(cè)。
4.3.3 假如檢測(cè)結(jié)果超過(guò)要求范疇,該設(shè)備即被評(píng)定為不具備相符合性,并應(yīng)采取有效的改動(dòng)對(duì)策,采取有效的改動(dòng)對(duì)策后,慶再次進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)(參考4.2和附則A),以明確該設(shè)備是不是做到相符合性規(guī)定。假如做到相符合性規(guī)定,便可修復(fù)檢測(cè)。
4.3.4 應(yīng)依照現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)生產(chǎn)作法校準(zhǔn)檢測(cè)常用的各種各樣儀表盤(pán)。
4.4 定編文檔
進(jìn)行評(píng)定和檢測(cè)每一項(xiàng)設(shè)備是不是具備持續(xù)相符合性后,應(yīng)將評(píng)定和檢測(cè)結(jié)果記下來(lái),并遞交全方位的結(jié)果匯報(bào),經(jīng)各類(lèi)檢測(cè)后做到或未做到相符合性的表明也一并遞交。
檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容:
a)檢測(cè)企業(yè)的名字和詳細(xì)地址;
b)實(shí)際操作工作人員簽字和檢測(cè)進(jìn)行日期;
c)歸屬于ISO14644的總部所引入的參考文獻(xiàn),即ISO14644-2:2000;
d)被檢測(cè)設(shè)備準(zhǔn)確的詳細(xì)地址(必需時(shí),包含相鄰地區(qū)的參照標(biāo)準(zhǔn))和所有抽樣點(diǎn)特殊序號(hào)及坐標(biāo)圖;
e)該設(shè)備的特殊技術(shù)性標(biāo)準(zhǔn),它包含ISO級(jí)別和被考慮到的粒度,相關(guān)的占有情況,氣體總流量和氣體壓力差;
f)選用的檢測(cè)儀表和校對(duì)的認(rèn)證;
g)檢測(cè)結(jié)果,包含全部抽樣點(diǎn)坐標(biāo)處的顆粒試著數(shù)據(jù)信息;
h)以上持續(xù)相符合性實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)信息。
假如依照4.2.4和4.2.5條文要增加較大 間隔時(shí)間,則持續(xù)或頻數(shù)檢測(cè)的結(jié)果還要變成文檔的構(gòu)成部分。
4.4.2 定編每一項(xiàng)設(shè)備的檢測(cè)文檔也應(yīng)合乎檢測(cè)方案要求。
4.5 紀(jì)錄
應(yīng)按所屬處的品質(zhì)管理程序儲(chǔ)存紀(jì)錄。
紀(jì)錄應(yīng)合乎相關(guān)的規(guī)章制度規(guī)定。
附則A
(材料)
選擇項(xiàng)檢測(cè)
除開(kāi)表1和表2列出的各種各樣要求的檢測(cè)外,表A1列舉各種各樣選擇項(xiàng)檢測(cè),并可將其納入測(cè)試報(bào)告模板。
表A1――選擇項(xiàng)檢測(cè)一覽表
檢測(cè)主要參數(shù) |
級(jí)別 |
提議較大 間隔時(shí)間 |
測(cè)試代碼 |
已安裝過(guò)濾裝置泄露檢測(cè) |
所有級(jí)別 |
24個(gè)月 |
ISO14644-3:―B.6條文 |
氣旋流形檢測(cè) |
所有級(jí)別 |
24個(gè)月 |
ISO14644-3:―B.7條文 |
自?xún)糇饔脮r(shí)間 |
所有級(jí)別 |
24個(gè)月 |
ISO14644-3:―B.13條文 |
環(huán)境污染泄露 |
所有級(jí)別 |
24個(gè)月 |
ISO14644-3:―B.14條文 |
附則B
(材料)
危害凈化室或潔凈區(qū)檢測(cè)和檢測(cè)危險(xiǎn)因素評(píng)定的技術(shù)規(guī)范
與特殊凈化室或潔凈區(qū)運(yùn)用相關(guān)的危害性評(píng)定將對(duì)以下各類(lèi)造成危害:
a)檢測(cè)方案;
b)數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)的表述;
c)得到數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)后采用的行動(dòng);
d)對(duì)表2被測(cè)主要參數(shù)的挑選;
e)對(duì)表A.1被測(cè)主要參數(shù)的挑選。