半導(dǎo)體無塵車間管理規(guī)章制度梳理,
,
,
, 1．0無塵車間管理的目地,半導(dǎo)體商品生產(chǎn)過程對車間有確立的清潔規(guī)定，為了更好地達(dá)到生產(chǎn)工藝流程必須、確保產(chǎn)品品質(zhì)、生產(chǎn)安全，務(wù)必對凈化室的自然環(huán)境、工作人員、原材料、機(jī)器設(shè)備、生產(chǎn)過程等開展操縱。有關(guān)大量 無塵車間管理請參照： http://www.aozoc.com/news-5/,
, 2．0無塵車間管理的標(biāo)準(zhǔn),2.1        進(jìn)到凈化室的管理，包含對凈化室工作員進(jìn)到、原材料進(jìn)到、各種機(jī)器設(shè)備的搬進(jìn)及其有關(guān)的機(jī)器設(shè)備、管道的維護(hù)保養(yǎng)管理，應(yīng)保證不可將粒子、微生物菌種帶到凈化室。,2.2        實際操作管理技術(shù)性，對清潔房間內(nèi)工作人員用潔凈服的制做、衣著和清理；實際操作工作人員的挪動和姿勢；房間內(nèi)機(jī)器設(shè)備及家裝材料的挑選和清理、滅茵等，盡量地降低、避免清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育等。,2.3        嚴(yán)苛各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理，制訂相對應(yīng)的安全操作規(guī)程，確保各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備按要求一切正常運(yùn)行，包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件、各種水汽電系統(tǒng)軟件、生產(chǎn)制造工藝技術(shù)和安全工器具(夾具工裝)等。以保證 商品生產(chǎn)工藝流程規(guī)定和氣體潔凈室等級。,2.4        清理、殺菌管理，對 凈化室內(nèi)的各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備的清理、滅茵及其方式 、周期時間和查驗作確立的要求，避免、捎除清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育。,2.5        凈化室自然環(huán)境操縱的內(nèi)容包含：空氣過濾、清潔工程建筑、與商品直接接觸的水或汽體或化工品和生產(chǎn)線設(shè)備、安全工器具等的空氣污染物操縱及其微震動、噪音、靜電感應(yīng)的操縱、避免等。,
, 3．0應(yīng)用領(lǐng)域, 半導(dǎo)體企業(yè)全部清潔廠區(qū)及清潔輔助間(包含工作人員凈化處理專室、原材料凈化處理專室和有關(guān)日常生活專室等)、車間內(nèi)管理區(qū)(包含一部分辦公室、值勤、管理和休息室等)和未來新創(chuàng)建、改造、改建的凈化車間以及輔助用地。,
, 4．0專業(yè)術(shù)語：無,
, 5．0管理程序流程,
, 5．1無塵車間凈化室工程施工管理規(guī)章制度,5．1．1情況,5．1．1．1半導(dǎo)體加工制造業(yè)務(wù)必在清潔的自然環(huán)境中開展，在施工現(xiàn)場務(wù)必遵照領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。本文檔列舉了這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功，當(dāng)場的每一位工作人員都務(wù)必遵循。,5．1．1．2圖紙上針對工程施工的清潔基本建設(shè)議案將被申請強(qiáng)制執(zhí)行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業(yè)廠房內(nèi)的地區(qū)。,5．1．1．3凈化室工程施工管理規(guī)章制度現(xiàn)階段關(guān)鍵對于一期主工業(yè)廠房內(nèi)的部分更新改造和改建，中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規(guī)章制度要求的標(biāo)準(zhǔn)開展管理。,5．1．2義務(wù)與責(zé)任,5．1．2．1全部承包單位有義務(wù)保證 她們的職工都掌握這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程，而且在她們疏忽遵循或違背時給與學(xué)習(xí)培訓(xùn)和訓(xùn)煉。被分派到清潔基本建設(shè)地區(qū)的每名職工有責(zé)任和義務(wù)了解并遵循清潔基本建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。,5．1．2．2承包單位承擔(dān)實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設(shè)地區(qū)開展查驗，并填好查驗明細(xì)。承包單位承擔(dān)出示凈化室所需物件，比如：腳套，純棉毛巾，軟墊和工作服。他也承擔(dān)出示每日實行清潔標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員和機(jī)器設(shè)備。,5．1．2．3承包單位修建地區(qū)通道并對其開展管理。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區(qū)工作中的工作人員開展學(xué)習(xí)培訓(xùn)，并維護(hù)保養(yǎng)被容許在這里地區(qū)工作中的工作人員真實身份評定和管理。,5．1．2．8開始環(huán)節(jié)，承包單位應(yīng)在每一個入口分配工作人員（除非是半導(dǎo)體企業(yè)在該入口分配有工作人員）以保證 本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的實行。 ,5．1．2．5反復(fù)違背標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的經(jīng)銷商將被開除。,
, 5．2無塵車間潔凈度等級按時檢驗規(guī)章制度/精確測量規(guī)范,5.2.1       為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達(dá)到加工工藝規(guī)定，務(wù)必按時對清潔房間內(nèi)的潔凈度等級開展檢驗。,5.2.2       檢驗檢測設(shè)備：激光器顆粒記數(shù)器,5.2.3       檢驗周期時間：每星期一上午、中午對各清潔地區(qū)開展一次檢驗,5.2.4       檢驗標(biāo)準(zhǔn)：靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈度等級檢測,5.2.5       數(shù)據(jù)信息搜集整理：將每一次檢驗的結(jié)果鍵入中控室的電腦上中存儲，并在每一個季末（或下季度初）給各單位發(fā)該一季度的潔凈度等級紀(jì)錄數(shù)據(jù)圖表電子版通告給各單位。,5.2.6       各清潔地區(qū)清潔等級規(guī)范：依照《半導(dǎo)體企業(yè)電力能源管理規(guī)范》規(guī)定實行。,5.2.7       凈化室用空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件及機(jī)器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理與相對應(yīng)的安全操作規(guī)程、檢修規(guī)章制度等（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件和凈化室有關(guān)的公共動力裝置的機(jī)器設(shè)備、管道等管理維護(hù)保養(yǎng)，如，空氣過濾網(wǎng)、空調(diào)、部分油煙凈化器、制冷機(jī)組及離心水泵、反滲透設(shè)備、變電設(shè)備、安全性警報設(shè)備等）實行威世半導(dǎo)體(西安市)有限責(zé)任公司廠務(wù)部有關(guān)SOP文檔。,
, 5．3凈化室工作人員管理規(guī)章制度,5．3．1凈化室的工作人員管理包含：制訂職業(yè)管理工作人員的崗位職責(zé)、凈化室工作人員的準(zhǔn)入條件規(guī)章制度、人員管理文化教育要求、進(jìn)到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理和撤出管理規(guī)章制度等。,5．3．兩人員凈化處理與進(jìn)到,5.3.2.1  在 凈化車間內(nèi)諸多的污染物中，人是關(guān)鍵污染物之一，尤其是工作員在清潔自然環(huán)境中的主題活動，會顯著地提升清潔自然環(huán)境的環(huán)境污染水平。,5.3.2.2  針對高級別清潔地區(qū)，應(yīng)嚴(yán)控進(jìn)到工作人員總數(shù)，并標(biāo)準(zhǔn)開展二次換衣。,5.3.2.3  要得到工作環(huán)境所必須的氣體潔凈室等級或增加空氣過濾網(wǎng)的使用期限，對進(jìn)到凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。,5.3.2.4  為維持凈化室氣體潔凈度等級，應(yīng)盡量避免進(jìn)到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進(jìn)入凈化室的工作人員務(wù)必嚴(yán)苛地按照規(guī)定程序流程開展人身安全凈化處理。,5.3.2.5  本人衣服褲子物件所有放進(jìn)特定的木柜里，除掉畫妝，換掉特定的服飾，按氣體潔凈室等級相對應(yīng)的脫衣服次序脫衣服，放到要求的衣櫥內(nèi)。,5.3.2.6  進(jìn)到脫衣服室，在更衣凳前將真皮皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放到鞋架內(nèi)，嚴(yán)禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進(jìn)到更衣間。,5.3.2.7  若企業(yè)中后期發(fā)展趨勢必須高些清潔等級規(guī)定的清潔地區(qū)（指高過ISO Class7等級）進(jìn)到前，必須設(shè)定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒（先用清潔洗潔劑清洗，再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風(fēng)干）。,5.3.2.8  但凡交叉式環(huán)境污染的媒體，要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設(shè)備和高凈化處理包裝制品等。要按照規(guī)定戴手套和護(hù)指。,
,全文來源于：http://www.aozoc.com/, 半導(dǎo)體無塵車間管理規(guī)章制度梳理,

半導(dǎo)體無塵車間管理規(guī)章制度梳理

1．0無塵車間管理的目地

半導(dǎo)體商品生產(chǎn)過程對車間有確立的清潔規(guī)定，為了更好地達(dá)到生產(chǎn)工藝流程必須、確保產(chǎn)品品質(zhì)、生產(chǎn)安全，務(wù)必對凈化室的自然環(huán)境、工作人員、原材料、機(jī)器設(shè)備、生產(chǎn)過程等開展操縱。有關(guān)大量無塵車間管理請參照：http://www.aozoc.com/news-5/

2．0無塵車間管理的標(biāo)準(zhǔn)

2.1        進(jìn)到凈化室的管理，包含對凈化室工作員進(jìn)到、原材料進(jìn)到、各種機(jī)器設(shè)備的搬進(jìn)及其有關(guān)的機(jī)器設(shè)備、管道的維護(hù)保養(yǎng)管理，應(yīng)保證不可將粒子、微生物菌種帶到凈化室。

2.2        實際操作管理技術(shù)性，對清潔房間內(nèi)工作人員用潔凈服的制做、衣著和清理；實際操作工作人員的挪動和姿勢；房間內(nèi)機(jī)器設(shè)備及家裝材料的挑選和清理、滅茵等，盡量地降低、避免清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、滯留、繁殖等。

2.3        嚴(yán)苛各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理方法，制訂相對應(yīng)的安全操作規(guī)程，確保各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備按要求一切正常運(yùn)行，包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件、各種水汽電系統(tǒng)軟件、生產(chǎn)制造工藝技術(shù)和安全工器具(夾具工裝)等。以保證 商品生產(chǎn)工藝流程規(guī)定和氣體潔凈室等級。

2.4        清理、殺菌管理方法，對凈化室內(nèi)的各種機(jī)器設(shè)備、設(shè)備的清理、滅茵及其方式 、周期時間和查驗作確立的要求，避免、捎除清潔房間內(nèi)細(xì)顆粒物、微生物菌種的造成、滯留、繁殖。

2.5        凈化室自然環(huán)境操縱的內(nèi)容包含：空氣過濾、清潔工程建筑、與商品直接接觸的水或汽體或化工品和生產(chǎn)線設(shè)備、安全工器具等的空氣污染物操縱及其微震動、噪音、靜電感應(yīng)的操縱、避免等。

3．0應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體公司全部清潔廠區(qū)及清潔輔助間(包含工作人員凈化處理專室、原材料凈化處理專室和有關(guān)日常生活專室等)、生產(chǎn)車間內(nèi)工業(yè)園區(qū)(包含一部分辦公室、值勤、管理方法和休息室等)和未來新創(chuàng)建、改造、改建的凈化車間以及輔助用地。

4．0專業(yè)術(shù)語：無

5．0管理流程

5．1潔凈車間潔凈室工程施工管理方案

5．1．1情況

5．1．1．1半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)務(wù)必在清潔的自然環(huán)境中開展，在施工現(xiàn)場務(wù)必遵照領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。本文檔列舉了這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功，當(dāng)場的每一位工作人員都務(wù)必遵循。

5．1．1．2圖紙上針對工程施工的清潔基本建設(shè)議案將被申請強(qiáng)制執(zhí)行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業(yè)廠房內(nèi)的地區(qū)。

5．1．1．3凈化室工程施工管理方案現(xiàn)階段關(guān)鍵對于一期主工業(yè)廠房內(nèi)的部分更新改造和改建，中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規(guī)章制度要求的標(biāo)準(zhǔn)開展管理方法。

5．1．2義務(wù)與責(zé)任

5．1．2．1全部承包單位有義務(wù)保證 她們的職工都掌握這種標(biāo)準(zhǔn)和程序流程，而且在她們疏忽遵循或違背時給與學(xué)習(xí)培訓(xùn)和訓(xùn)煉。被分派到清潔基本建設(shè)地區(qū)的每名職工有責(zé)任和義務(wù)了解并遵循清潔基本建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)和程序流程。

5．1．2．2承包單位承擔(dān)實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設(shè)地區(qū)開展查驗，并填好查驗明細(xì)。承包單位承擔(dān)出示凈化室所需物件，比如：腳套，純棉毛巾，軟墊和工作服。他也承擔(dān)出示每日實行清潔標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員和機(jī)器設(shè)備。

5．1．2．3承包單位修建地區(qū)通道并對其開展管理方法。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區(qū)工作中的工作人員開展學(xué)習(xí)培訓(xùn)，并維護(hù)保養(yǎng)被容許在這里地區(qū)工作中的工作人員真實身份評定和管理方法。

5．1．2．8開始環(huán)節(jié)，承包單位應(yīng)在每一個入口分配工作人員（除非是半導(dǎo)體公司在該入口分配有工作人員）以保證 本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的實行。 

5．1．2．5反復(fù)違背標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標(biāo)準(zhǔn)和程序流程的經(jīng)銷商將被開除。

5．2凈化車間潔凈度等級按時檢驗規(guī)章制度/精確測量規(guī)范

5.2.1       為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達(dá)到加工工藝規(guī)定，務(wù)必按時對清潔房間內(nèi)的潔凈度等級開展檢驗。

5.2.2       檢驗檢測設(shè)備：激光器顆粒記數(shù)器

5.2.3       檢驗周期時間：每星期一上午、中午對各清潔地區(qū)開展一次檢驗

5.2.4       檢驗標(biāo)準(zhǔn)：靜態(tài)數(shù)據(jù)潔凈度等級檢測

5.2.5       數(shù)據(jù)信息搜集整理：將每一次檢驗的結(jié)果鍵入中控室的電腦上中存儲，并在每一個季末（或下季度初）給各單位發(fā)該一季度的潔凈度等級紀(jì)錄數(shù)據(jù)圖表電子版通告給各單位。

5.2.6       各清潔地區(qū)清潔等級規(guī)范：依照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定實行。

地區(qū)、系統(tǒng)軟件名字	清潔級別規(guī)范	等同于ISO等級	等效于GB級別
K-1系統(tǒng)片區(qū)地區(qū)	靜態(tài)數(shù)據(jù)一萬級   K-1系統(tǒng)更新改造前為靜態(tài)數(shù)據(jù)十萬級	CLASS 7 CLASS 8	CLASS 7 CLASS 8
K-2系統(tǒng)包封地區(qū)	靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級	CLASS 8．3	CLASS 8．3
K-3系統(tǒng)搪錫地區(qū)	靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級	CLASS 8．3	CLASS 8．3
K-4系統(tǒng)檢測地區(qū)	靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級	CLASS 8．3	CLASS 8．3
K-8系統(tǒng)電鍍工藝地區(qū)	靜態(tài)數(shù)據(jù)三十萬級	CLASS 8．3	CLASS 8．3
目前別的空調(diào)機(jī)組	舒適性空調(diào)系統(tǒng)軟件，無清潔規(guī)定	Not Applicable	Not Applicable

5.2.7       凈化室用空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件及機(jī)器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)管理方法與相對應(yīng)的安全操作規(guī)程、檢修規(guī)章制度等（包含空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件和凈化室有關(guān)的公共動力裝置的機(jī)器設(shè)備、管道等管理方法維護(hù)保養(yǎng)，如，空氣過濾網(wǎng)、空調(diào)、部分油煙凈化器、制冷機(jī)組及離心水泵、反滲透設(shè)備、變電設(shè)備、安全性警報設(shè)備等）實行威世半導(dǎo)體材料(西安市)有限責(zé)任公司廠務(wù)部有關(guān)SOP文檔。

5．3凈化室工作人員管理方案

5．3．1凈化室的員工管理包含：制訂職業(yè)管理者的崗位職責(zé)、凈化室工作人員的準(zhǔn)入條件規(guī)章制度、人員管理文化教育要求、進(jìn)到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理方法和撤出管理方案等。

5．3．兩人員凈化處理與進(jìn)到

5.3.2.1  在凈化車間內(nèi)諸多的污染物中，人是關(guān)鍵污染物之一，尤其是工作員在清潔自然環(huán)境中的主題活動，會顯著地提升清潔自然環(huán)境的環(huán)境污染水平。

5.3.2.2  針對高級別清潔地區(qū)，應(yīng)嚴(yán)控進(jìn)到工作人員總數(shù)，并標(biāo)準(zhǔn)開展二次換衣。

5.3.2.3  要得到工作環(huán)境所必須的氣體潔凈室等級或增加空氣過濾網(wǎng)的使用期限，對進(jìn)到凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。

5.3.2.4  為維持凈化室氣體潔凈度等級，應(yīng)盡量避免進(jìn)到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進(jìn)入凈化室的工作人員務(wù)必嚴(yán)苛地按照規(guī)定程序流程開展人身安全凈化處理。

5.3.2.5  本人衣服褲子物件所有放進(jìn)特定的木柜里，除掉畫妝，換掉特定的服飾，按氣體潔凈室等級相對應(yīng)的脫衣服次序脫衣服，放到要求的衣櫥內(nèi)。

5.3.2.6  進(jìn)到脫衣服室，在更衣凳前將真皮皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放到鞋架內(nèi)，嚴(yán)禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進(jìn)到更衣間。

5.3.2.7  若企業(yè)中后期發(fā)展趨勢必須高些清潔等級規(guī)定的清潔地區(qū)（指高過ISO Class7等級）進(jìn)到前，必須設(shè)定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒（先用清潔洗潔劑清洗，再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風(fēng)干）。

5.3.2.8  但凡交叉式環(huán)境污染的媒體，要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設(shè)備和高凈化處理包裝制品等。要按照規(guī)定戴手套和護(hù)指。

全文來源于：http://www.aozoc.com/